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- [发明专利]微粒涂布设备及方法-CN202310216058.9在审
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迈克·维鲁夫
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迈克·维鲁夫
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2023-03-08
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2023-09-12
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C23C14/22
- 本发明涉及一种涂布微粒的涂布设备、涂布微粒的方法以及相应的用途。所述涂布设备包括涂布室和布置于涂布室中的涂布装置。该涂布装置包括含轴线的中空体、微粒源和微粒槽以及至少一个涂布源,中空体内壁围绕中空体轴线形成微粒轨迹。涂布源适于沿垂直于中空体轴线的方向发射涂布材料。涂布装置还包括旋转装置和清洁装置,旋转装置适于使中空体绕其轴线旋转,清洁装置以相对于中空体静止的方式布置于中空体内部并适于从中空体内壁清除附着的涂布材料。
- 微粒布设方法
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