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- [发明专利]过热水蒸汽生成装置-CN201510609217.7有效
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外村徹;藤本泰広;木村昌义
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特电株式会社
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2015-09-22
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2019-05-14
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F22B1/28
- 本发明提供一种过热水蒸气生成装置，能够在短时间内生成过热水蒸气并抑制能量消耗。具体所述过热水蒸气生成装置包括：水蒸气生成部(10)，对水进行感应加热或通电加热而生成水蒸气；过热水蒸气生成部(20)，被供给由水蒸气生成部(10)生成的水蒸气，对所述水蒸气进行感应加热或通电加热而生成过热水蒸气；以及开关阀(40)，设置在水蒸气生成部(10)和过热水蒸气生成部(20)之间，切换向过热水蒸气生成部(20)供给或停止供给水蒸气，开关阀(40)对供给或停止供给水蒸气进行切换，由此所述过热水蒸气生成装置从待机状态切换为供给状态，所述待机状态是水蒸气生成部(10)生成水蒸气的状态且停止供给水蒸气的状态，所述供给状态是向过热水蒸气生成部(20)供给水蒸气的状态。
- 过热水蒸气生成装置
- [实用新型]过热水蒸气生成装置-CN201520738160.6有效
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外村徹;藤本泰広;木村昌义
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特电株式会社
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2015-09-22
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2016-01-13
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F22B1/28
- 本实用新型提供一种过热水蒸气生成装置，能够在短时间内生成过热水蒸气并抑制能量消耗。具体所述过热水蒸气生成装置包括：水蒸气生成部(10)，对水进行感应加热或通电加热而生成水蒸气；过热水蒸气生成部(20)，被供给由水蒸气生成部(10)生成的水蒸气，对所述水蒸气进行感应加热或通电加热而生成过热水蒸气；以及开关阀(40)，设置在水蒸气生成部(10)和过热水蒸气生成部(20)之间，切换向过热水蒸气生成部(20)供给或停止供给水蒸气，开关阀(40)对供给或停止供给水蒸气进行切换，由此所述过热水蒸气生成装置从待机状态切换为供给状态，所述待机状态是水蒸气生成部(10)生成水蒸气的状态且停止供给水蒸气的状态，所述供给状态是向过热水蒸气生成部(20)供给水蒸气的状态。
- 过热水蒸气生成装置
- [发明专利]过热水蒸气生成装置及使用其的处理方法-CN201610892073.5有效
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外村徹;北野孝次;藤本泰広
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特电株式会社
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2016-10-12
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2020-05-19
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F22G1/16
- 本发明提供过热水蒸气生成装置及使用其的处理方法，能够防止使用过热水蒸气处理被处理物时在被处理物上产生结露，所述过热水蒸气生成装置包括：感应加热方式或通电加热方式的水蒸气生成部(2)，从水生成水蒸气；感应加热方式或通电加热方式的过热水蒸气生成部(3)，从水蒸气生成过热水蒸气；水蒸气供给流道(L2)，向过热水蒸气生成部(3)供给由水蒸气生成部(2)生成了的水蒸气；以及气体供给流道(L3)，向过热水蒸气生成部(3)供给其它气体，所述过热水蒸气生成装置能切换为第一状态或第二状态，所述第一状态是向过热水蒸气生成部(3)供给水蒸气的状态，所述第二状态是向过热水蒸气生成部(3)供给其它气体的状态。
- 过热水蒸气生成装置使用处理方法
- [实用新型]过热水蒸气生成装置-CN201621117150.1有效
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外村徹;北野孝次;藤本泰広
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特电株式会社
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2016-10-12
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2017-06-13
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F22G1/16
- 本实用新型提供过热水蒸气生成装置，能够防止使用过热水蒸气处理被处理物时在被处理物上产生结露，所述过热水蒸气生成装置包括感应加热方式或通电加热方式的水蒸气生成部(2)，从水生成水蒸气；感应加热方式或通电加热方式的过热水蒸气生成部(3)，从水蒸气生成过热水蒸气；水蒸气供给流道(L2)，向过热水蒸气生成部(3)供给由水蒸气生成部(2)生成了的水蒸气；以及气体供给流道(L3)，向过热水蒸气生成部(3)供给其它气体，所述过热水蒸气生成装置能切换为第一状态或第二状态，所述第一状态是向过热水蒸气生成部(3)供给水蒸气的状态，所述第二状态是向过热水蒸气生成部(3)供给其它气体的状态。
- 过热水蒸气生成装置
- [发明专利]氢生成装置、燃料电池系统以及氢生成装置的运转方法-CN201080003894.X有效
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行正章典;森田纯司;中村彰成
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松下电器产业株式会社
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2010-03-30
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2011-12-07
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C01B3/38
- 本发明涉及氢生成装置、燃料电池系统以及氢生成装置的运转方法。在本发明的氢生成装置以及具备该装置的燃料电池系统的停止处理动作停止后的补压动作中，从原料气体中析出碳的可能性比以往技术受到了抑制。本发明的氢生成装置具备：具有切断原料供给的功能的原料供给器(102、103)；具有切断水蒸气供给的功能的水蒸气供给器(104、105)；具有重整催化剂(109)并使用从原料供给器提供的原料和从水蒸气供给器提供的水蒸气来生成含氢气体的重整器(108)；至少切断重整器的下游的气体路径的关闭装置(116)；控制器(140)，在停止时，在重整器内包含氢的状态下，切断来自于原料供给器的原料供给和来自于水蒸气供给器的水蒸气供给的同时关闭上述关闭装置，并对于该关闭后伴随重整器的温度下降而产生的重整器的内部压力的降低，在重整器内包含氢的状态下，执行从水蒸气供给器提供水蒸气的补压动作。
- 生成装置燃料电池系统以及运转方法
- [发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201780053402.X有效
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松井则政
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株式会社斯库林集团
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2017-07-12
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2023-10-20
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H01L21/306
- 为了实现该目的，基板处理装置具备：处理槽，收容磷酸水溶液，且对已浸渍于该磷酸水溶液中的基板施加蚀刻处理；水蒸气供给机构，供给水蒸气；非活性气体供给机构，供给非活性气体；混合机构，从水蒸气供给机构被供给水蒸气，并且从非活性气体供给机构被供给非活性气体，且混合所供给来的水蒸气和非活性气体以生成混合气体；气泡产生器，从混合机构被供给混合气体，并且将所供给来的混合气体吹出至磷酸水溶液中以产生混合气体的气泡；以及流量调整机构，调整水蒸气供给机构所供给的水蒸气的流量和非活性气体供给机构所供给的非活性气体的流量，以使混合气体的湿度成为目标湿度。
- 处理装置方法
- [发明专利]蚀刻装置及蚀刻方法-CN202111420780.1在审
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邻嘉津彦
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株式会社爱发科
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2021-11-26
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2022-07-01
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H01L21/311
- 本发明供给一种能够提高衬底面内氧化硅膜的蚀刻量均匀性的蚀刻装置及蚀刻方法。本发明的蚀刻装置使用包含氟化氢和氨的处理气体来蚀刻氧化硅膜，其具有腔室、气体供给部、水蒸气供给部以及控制部。所述气体供给部构成为能够向所述腔室供给所述处理气体或所述处理气体的前体气体。所述水蒸气供给部构成为能够向所述腔室供给水蒸气。在蚀刻处理时，所述控制部以向所述腔室供给所述处理气体或所述前体气体、和所述水蒸气的方式控制所述气体供给部和所述水蒸气供给部。
- 蚀刻装置方法
- [实用新型]海水淡化装置-CN201320731033.4有效
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李佳珊
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李佳珊
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2013-11-19
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2014-04-30
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C02F1/04
- 本实用新型提供一种海水淡化装置包括空气集热器组、蒸发塔、水蒸气引出管以及海水供给管，空气集热器组为4-6个串联的空气集热器，空气集热器组的热空气出口管接蒸发塔底部，海水供给管接蒸发塔顶部并通过位于蒸发塔顶部内的布水装置将海水喷淋而下，水蒸气引出管接蒸发塔顶部，水蒸气引出管套在海水供给管外且它们之间形成水蒸气通道，海水供给管的海水进口接海水泵，套在一起的水蒸气引出管和海水供给管均向下倾斜设置，水蒸气引出管和海水供给管的最高点为与蒸发塔连接点，水蒸气引出管的出口接空气泵，空气泵的出口接空气集热器组的冷空气进口，水蒸气引出管的出口还接凝结水排出管，凝结水由凝结水排出管排出收集获得淡水。
- 海水淡化装置
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