专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]具有清洁功能的研磨装置-CN201920232303.4有效
  • 吴振维;王海宽;吴龙江;林宗贤 - 德淮半导体有限公司
  • 2019-02-20 - 2020-03-20 - B08B3/12
  • 该实用新型涉及一种具有清洁功能的研磨装置,包括:吸盘,用于吸附待研磨的晶圆;清洗喷头,用于朝向吸盘喷淋清洗;超声波发射器,用于朝向吸盘表面发射超声波;金属氧化物放置腔,设置于清洗喷头内,用于放置金属氧化物,且金属氧化物放置腔的腔壁设置有通孔,用于供清洗通过。本实用新型的具有清洁功能的研磨装置具有清洗喷头和超声波发射器,在所述清洗喷头内设置金属氧化物放置腔,使自清洗喷头喷出的清洗中夹带金属氧化物,以氧化沉积的疏水性硅残渣为亲水性,并在超声波的共同作用下,优化吸盘的清洗效果。
  • 具有清洁功能研磨装置
  • [发明专利]清洗清洗方法-CN201210019335.9有效
  • 宫下雅之;久次米孝信;山本雅士;伊达和哉 - 斯泰拉化工公司
  • 2012-01-20 - 2012-08-08 - C11D7/60
  • 本发明涉及一种清洗清洗方法。本发明的目的是提供对于表面附着有氧化铈的被清洗物,能够将该氧化铈以铈离子的形式溶解而清洗除去的清洗以及使用该清洗清洗方法。一种清洗,其特征在于,该清洗除去被清洗物表面残留的氧化铈,该清洗含有(1)氟化氢和(2)铵盐,所述铵盐是选自氯化铵、硝酸铵、硫酸铵、四甲基氯化铵、四甲基硝酸铵和四甲基硫酸铵中的至少1种。
  • 清洗方法
  • [发明专利]锂复合金属氧化物的制造方法-CN201880014933.2有效
  • 佐藤雄一;中尾公保;前田裕介 - 住友化学株式会社;株式会社田中化学研究所
  • 2018-03-28 - 2022-01-18 - C01G53/00
  • 本发明的锂复合金属氧化物的制造方法是至少包含镍的锂复合金属氧化物的制造方法,其包括下述工序:第一清洗工序,该第一清洗工序以第一清洗对锂复合金属氧化物进行清洗;以及第二清洗工序,该第二清洗工序以第二清洗对由上述第一清洗工序得到的清洗物进行清洗,其中,上述第一清洗为包含含有碱金属的化合物的碱性清洗,上述第二清洗为包含含有碱金属的化合物与不含有碱金属的碱性化合物中的至少一个的碱性清洗,上述第一清洗中的碱金属相对于上述第一清洗的总质量的浓度比上述第二清洗中的碱金属相对于上述第二清洗的总质量的浓度高
  • 复合金属氧化物制造方法
  • [发明专利]清洗生成装置及方法-CN202010000721.8在审
  • 白靖宇 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2020-01-02 - 2020-05-19 - H01L21/67
  • 本发明实施例提供了一种清洗生成装置和方法,在清洗生成装置的液体存储室中存储混合后的化学原液;所述化学原液至少包括:第一溶液、去离子水、第二溶液;第一溶液和第二溶液均为酸性溶液;通过清洗生成装置的第一管道将所述混合后的化学原液输送至所述清洗生成装置的第三管道;在清洗生成装置的气体发生器中产生具有氧化性的气体;通过清洗生成装置的第二管道将所述气体输送至所述第三管道;将所述混合后的化学原液和所述气体在所述第三管道中混合,生成用于清洗晶圆的清洗。如此,能够提供氧化性强的清洗、达到良好的清洗效果;同时,清洗中的混合后的化学原液可以持续使用,化学原液不需要频繁更换,清洗效率高。
  • 清洗生成装置方法

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