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- [发明专利]旋转清洗装置-CN201410335934.0在审
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中西优尔
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株式会社迪思科
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2014-07-15
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2015-01-21
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B08B3/02
- 提供一种旋转清洗装置,其在旋转清洗时,能够防止清洗时被污染的喷雾和清洗水再次附着到晶片。旋转清洗装置(1)具备:保持晶片的保持工作台(10);保持工作台旋转部(15);清洗水喷射构件(50);收纳保持工作台的腔(30);从腔内将气体排出的导管(45);风扇部件(20),其形成为圆环形状,并覆盖从保持工作台的表面位置到腔的开口部为止的围绕保持工作台的外周空间;以及使风扇部件旋转的风扇部件旋转部(25),风扇部件利用风扇部件旋转部进行旋转,由此在保持工作台的上部从风扇部件的圆环形状内周部向风扇部件的外周部产生空气流动,将清洗时的清洗水和喷雾排出到风扇部件的外部并导入至导管
- 旋转清洗装置
- [发明专利]旋转清洗枪-CN201610395448.7在审
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王浦勋;秦祥朋;王存正
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青岛炬荣工程科技有限公司
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2016-06-03
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2016-08-17
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B05B3/02
- 本发明公开了旋转清洗枪,主要涉及水下清洗领域。包括壳体,所述壳体内设置中心管,所述中心管的一端设置旋转中心体,所述旋转中心体上设置反冲推进出水管,所述反冲推进出水管上设置空化喷嘴,所述壳体上设有水流调节罩,所述壳体远离水流调节罩的一端设置水射流保护器,所述壳体的底部设置手柄,所述手柄内设置连接管,所述连接管远离中心管的一端设置进水开关,所述进水开关远离连接管的一端设置旋转接头。本发明的有益效果在于:它能够快速清洗小面积不规则区域内的附着海生物等污染物,能够降低劳动强度,能够提高清洗效率,保证清洗效果,能够减少清洗过程中的噪音与反冲力,安全性高,能够便于工作人员的长时间操作。
- 旋转清洗
- [发明专利]旋转清洗装置-CN202010079693.3在审
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前岛信;大波豪;中塚敦
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株式会社迪思科
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2020-02-04
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2020-08-21
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H01L21/67
- 提供旋转清洗装置,其确保干燥的被清洗物不会再次沾湿。旋转清洗装置(1)具有:能够水平移动的喷嘴(60),其喷射清洗水与空气的混合液;飞散防止罩(5),其围绕工作台(30),以便使欲从旋转的工作台飞散的混合液向下方流动;以及单元(16),其使防止罩升降。防止罩包含:环状的围绕板(51),其形成为剖面从能够供工作台通过的开口(50)呈逐渐展开状倾斜;侧板(52),其包围围绕板,在工作台升降方向上延伸;以及上板(53),其将侧板和围绕板连接,该旋转清洗装置还具有飞散防止部(7),在从喷嘴喷射空气而使清洗后的被清洗物外周缘(Wd)干燥时,为了使上板的上表面上所积存的水不飞溅,该飞散防止部使空气的势力不作用于上板的上表面上所积存的水。
- 旋转清洗装置
- [发明专利]旋转清洗装置-CN201510456325.5有效
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陈桂粦
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陈桂粦
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2015-07-29
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2017-06-27
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B08B3/04
- 本发明涉及一种旋转清洗装置,包括工作台、第一驱动电机、第二驱动电机和水泵;工作台上呈环形依次设置有供料转盘、清洗箱、烘干箱和收料转盘;供料转盘与第一驱动电机连接,收料转盘与第二驱动电机连接;每一清洗箱和烘干箱分别具有对应设置的进口与出口;每一清洗箱内部分别设置有第一传动辊和第二传动辊,第一传动辊和第二传动辊相互贴合,第一传动辊连接有第三驱动电机;水泵具有抽水口和喷水口,每一清洗箱分别具有进水口,且每一清洗箱外侧分别设置有回收槽,回收槽具有一出水口,出水口连接于水泵的抽水口,每一进水口连接于水泵的喷水口;第一清洗箱内设置有搅拌机构。本发明减少了旋转清洗装置的占用空间,有效降低了极耳的生产成本。
- 旋转清洗装置
- [发明专利]旋转清洗装置-CN201110178916.2有效
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香西宏彦;山村英司
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株式会社迪思科
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2011-06-29
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2012-01-11
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H01L21/00
- 本发明提供旋转清洗装置,其具备:旋转工作台,其对晶片进行吸附保持并旋转;清洗液供给构件;清洗液接收容器,其具有围绕旋转工作台的环状外周侧壁、环状内周侧壁和底壁;驱动构件,其在清洗位置和退避位置之间移动清洗液供给构件;以及排气构件,其与清洗液接收容器的底壁连接,其特征在于,清洗液供给构件包括:旋转轴,其与驱动构件连接;臂,其与旋转轴一体连结并沿着水平方向伸长;以及清洗液喷嘴,其形成于臂的末端并向保持于旋转工作台的晶片喷射清洗液,在环状外周侧壁形成有在清洗液供给构件定位于退避位置时收纳清洗液供给构件的收纳开口部,在清洗液供给构件配设有封闭罩,在清洗液供给构件收纳于收纳开口部时封闭罩封闭收纳开口部。
- 旋转清洗装置
- [发明专利]旋转清洗装置-CN201110327856.6无效
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凑浩吉;植村信一郎
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株式会社迪思科
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2011-10-25
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2012-05-16
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B08B3/02
- 本发明提供一种旋转清洗装置,其能够通过更简单的结构来产生下降流。旋转清洗装置(1)具备:用于保持工件的旋转工作台(30);以铅直方向为旋转轴来使旋转工作台(30)旋转的马达(42);向保持于旋转工作台(30)的工件供给清洗液的清洗液供给喷嘴(50);用于收纳旋转工作台(30)的外壳(20);以及与马达(42)连接的叶片(36A),在旋转工作台(30)旋转时,叶片(36A)通过马达(42)而同时旋转,以使外壳(20)内产生下降流。
- 旋转清洗装置
- [实用新型]旋转清洗枪-CN201620545242.3有效
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王浦勋;秦祥朋;王存正
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青岛炬荣工程科技有限公司
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2016-06-03
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2016-10-26
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B05B3/02
- 本实用新型公开了旋转清洗枪,主要涉及水下清洗领域。包括壳体,所述壳体内设置中心管,所述中心管的一端设置旋转中心体,所述旋转中心体上设置反冲推进出水管,所述反冲推进出水管上设置空化喷嘴,所述壳体上设有水流调节罩,所述壳体远离水流调节罩的一端设置水射流保护器,所述壳体的底部设置手柄,所述手柄内设置连接管,所述连接管远离中心管的一端设置进水开关,所述进水开关远离连接管的一端设置旋转接头。本实用新型的有益效果在于:它能够快速清洗小面积不规则区域内的附着海生物等污染物,能够降低劳动强度,能够提高清洗效率,保证清洗效果,能够减少清洗过程中的噪音与反冲力,安全性高,能够便于工作人员的长时间操作
- 旋转清洗
- [实用新型]旋转清洗装置-CN201921856386.0有效
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夏辉梁;陈凡文;李俊
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宜昌英汉超声电气有限公司
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2019-10-31
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2020-06-23
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B08B3/12
- 旋转清洗装置,包括机架,机架一侧设有清洗池,在机架上安装有升降装置,在升降装置上安装旋转装置;升降装置包括升降气缸和安装在机架上多根第一导杆,各根第一导杆上均设有第一导套,提升架与各第一导套连接,升降气缸活塞杆与提升架固定连接;旋转装置包括与提升架固定连接在支撑架,支撑架上端安装有电机和轴连接有转轴,电机输出轴通过第一传力机构与转轴传动连接,在支撑架下端轴连接有夹具,转轴两端通过第二传力机构与夹具传动连接。本实用新型要解决的技术问题是提供旋转清洗装置,能够保持缸体在旋转状态下被清洗,提高清洗效果。
- 旋转清洗装置
- [实用新型]旋转清洗装置-CN201921192386.5有效
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闵元元;梁长江;张欣欣;刘展波;熊盼龙;彭勇军
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深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司
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2019-07-26
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2020-04-28
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B08B3/10
- 本实用新型公开了一种旋转清洗装置,包括,主篮体;旋转篮,设置于主篮体内;转动机构,设置于所述主篮体侧面,转动连接所述旋转篮;清洗篮,套设于所述旋转篮内部,用于放置清洗工件;卡篮机构,设置于所述主篮体侧面,用于将所述清洗篮卡固于所述旋转篮;回位机构,设置于所述主篮体侧面,用于回位所述卡篮机构,将所述旋转篮和清洗篮分开。本方案的清洗篮配合旋转篮采用转动清洗的方式清洗高颗粒的工件,保证在清洗过程中不会出现滑动摩擦,不会划伤工件表面,更好的保护清洗工件,提高清洗质量;卡篮机构卡紧清洗篮和旋转篮,通过旋转篮带动清洗篮一同旋转,来实现工件的转动清洗,结构简单,清洗效率高。
- 旋转清洗装置
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