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- [实用新型]一种晶圆生产加工专用初次氧化装置-CN202022527135.7有效
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李传银
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苏州市永辰芯微电子有限公司
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2020-11-05
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2021-09-17
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C30B33/00
- 本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用初次氧化装置，包括初次氧化装置主体，所述初次氧化装置主体的内部顶端安装有氧化组件，所述初次氧化装置主体的内部底端安装有操作板槽，所述初次氧化装置主体的前表面底部通过铰链转动连接有防护门，所述初次氧化装置主体的两侧均一体式成型有边板，所述边板的内部开设有滑槽；通过在初次氧化装置主体的后表面设计滑板和在滑板的内部设计弹性垫与清洁刷，避免初次氧化装置放置在一定的位置处后表面易落入较多的灰尘，不便于对后表面清洁，可以手持手持头带动滑块在滑槽的内部滑动，通过滑块滑动带动滑板在初次氧化装置主体的后表面滑动，此时通过滑板带动清洁刷接触于初次氧化装置主体的后表面滑动。
- 一种生产加工专用初次氧化装置
- [发明专利]直接接触高温热解吸-CN201380066068.3在审
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奥利·艾欧
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赛瓦特拉公司
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2013-12-30
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2015-08-26
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F23G7/14
- 本发明提供一种用于处理受污染物的直接接触高温热解吸设备(100)，包括：通过直接接触进行解吸使致污物从受污染物中释放的解吸装置(3)；用于对至少部分致污物进行氧化的氧化装置(5)；用于将释放后的致污物从解吸装置(3)往下游输送至氧化装置(5)的管道装置(202)；以及位于解吸装置(3)与氧化装置(5)之间的抽风装置(200)，用于在管道装置(202)中解吸装置(3)与抽风装置(200)之间产生负压以将释放后的致污物从解吸装置
- 直接接触温热解吸
- [实用新型]一种连续催化氧化水处理装置-CN202021753999.4有效
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吴天月;葛来香
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德里克环境科技（江苏）有限公司
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2020-08-20
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2021-04-30
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C02F9/08
- 本实用新型涉及水处理技术领域，公开了一种连续催化氧化水处理装置，包括一级氧化装置；所述一级氧化装置的上方开设又进水口，所述一级氧化装置的内部设置有紫外线灯管，所述一级氧化装置的一侧设置有催化装置，所述催化装置远离一级氧化装置的一侧连接有第一进水口；本实用新型设置有一级氧化装置，一级氧化装置内部竖直方向上设置有多个紫外线灯管，而出水口又设置在底部，从进水口进入的水经过多个紫外线灯管的氧化，并且出水口设置在底部，在紫外线光的照射下，氧化剂与水中的污染物在催化剂的表面发生反应，可以使得排出的水均是经过充分的紫外线光的照射，与紫外线光接触的更加充分，从而提高降解速率。
- 一种连续催化氧化水处理装置
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