专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]方法-CN201280064885.0有效
  • K.P.拉姆齐 - 英尼奥斯欧洲股份公司
  • 2012-12-20 - 2014-08-27 - C08F10/00
  • 本发明涉及一种聚合方法,具体地讲,涉及包括多个处理步骤的聚合方法,其中使用惰性气体或提供惰性气体作为备用,各所述处理步骤基于在处理步骤中对惰性气体流量的需要来分配等级,所述聚合方法的特征在于,在失去正常操作条件的情况下,控制系统基于所述等级分配可用惰性气体的供应。
  • 方法
  • [发明专利]具有惰性气体环境的模片键合装置-CN201610341324.0有效
  • 刘少荣;洪健益;欧玉璋;黎永钊;李敏;吴世源 - 先进科技新加坡有限公司
  • 2016-05-20 - 2019-04-30 - H01L21/67
  • 一种模片键合装置包括:第一惰性气体容器,该第一惰性气体容器具有第一惰性气体浓度;以及封闭在所述第一惰性气体容器内的第二惰性气体容器,该第二惰性气体容器具有第二惰性气体浓度。第二惰性气体浓度比第一惰性气体浓度高。该模片键合装置还包括:键合头,该键合头位于所述第二惰性气体容器中用于接收待键合模片;以及第三惰性气体容器,该第三惰性气体容器具有与所述第一惰性气体容器和所述第二惰性气体容器分离并且能够定位基板以键合模片的惰性气体环境所述键合头操作成在所述第二惰性气体容器内的第一位置和所述第三惰性气体容器内的第二位置之间移动所述模片,以将所述模片键合到位于所述第三惰性气体容器中的所述基板上。
  • 具有惰性气体环境模片键合装置
  • [发明专利]基于轻质惰性气体引射的高超声速弹体表面减阻降热方法-CN202211311911.7在审
  • 赵瑞;左政玄;杨光;李宇 - 北京理工大学
  • 2022-10-25 - 2023-01-24 - G06F30/15
  • 本发明公开的基于轻质惰性气体引射的高超声速弹体表面减阻降热方法,属于航空航天领域。本发明实现方法为:在弹体前端部分位置处设置轻质惰性气体引射区域,根据三维NS方程和壁面动量守恒方程求解出引射壁面处的密度、压力、壁面引射速度,并设置轻质惰性气体引射边界条件;在满足高超声速来流条件下且满足构建的引射边界条件下,在弹体引射区域主动向外进行轻质惰性气体质量引射,利用轻质惰性气体使得弹体表面密度降低,减小弹体表面处速度梯度,降低引射区和引射区下游的摩擦阻力;引射出的轻质惰性气体还能够将飞行器表面激波外推,使得激波更加远离弹体表面
  • 基于惰性气体高超声速弹体表面减阻降热方法
  • [发明专利]形成含二氧化硅的层的原子层沉积方法-CN200480027215.7有效
  • 李丽;李伟民;G·S·桑德霍 - 微米技术有限公司
  • 2004-09-08 - 2006-11-01 - C23C16/40
  • 在对于向衬底上化学吸附含硅的第一物种单层有效的条件下,向该室中流入三甲基硅烷并且向该室中流入第一惰性气体。第一惰性气体在第一速率下流动。在形成第一物种单层后,在对于氧化剂与化学吸附的第一物种反应和在衬底上形成含二氧化硅的单层有效的条件下,向该室中流入氧化剂并且向该室中流入第二惰性气体。第二惰性气体在低于第一速率的第二速率下流动。依次重复所述的a)三甲基硅烷和第一惰性气体的流动和b)氧化剂和第二惰性气体的流动,从而有效地在衬底上形成含二氧化硅的层。关注其它的实施和方面。
  • 形成二氧化硅原子沉积方法
  • [发明专利]一种晶圆表面颗粒清洗双旋喷嘴-CN201910397648.X有效
  • 彭博;李檀 - 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
  • 2019-05-14 - 2023-05-26 - B05B7/04
  • 本发明涉及一种晶圆表面颗粒清洗双旋喷嘴,包括喷嘴外壳及内芯,内芯上开设有液体通道及惰性气体旋转内、外环腔,惰性气体旋转内、外环腔分别连通有惰性气体空间,惰性气体空间开设于内芯上或由内芯与喷嘴外壳内壁之间形成;内芯上开设有用于连通惰性气体空间与惰性气体旋转内环腔以及用于连通惰性气体空间与惰性气体旋转外环腔的布风孔,惰性气体空间内的惰性气体通过布风孔呈旋转状向惰性气体旋转内、外环腔内进气;喷嘴外壳上分别开设有向惰性气体旋转内、外环腔通入惰性气体惰性气体进气口。本发明通过改变惰性气体旋转方向产生双螺旋或同向螺旋气流及控制惰性气体加速度,同时配合清洗化学液流量,可以达到既对晶圆损伤小,又可以高效清洗晶圆的目的。
  • 一种表面颗粒清洗喷嘴
  • [实用新型]精炼炉开口密封结构-CN202022725555.6有效
  • 刘晓峰;刘渝;陈露涛;张朝映 - 重庆钢铁股份有限公司
  • 2020-11-23 - 2021-07-06 - F16J15/14
  • 本实用新型提供一种精炼炉开口密封结构,包括用于通入惰性气体惰性气体管道,炉体上开设有开口,所述惰性气体管道绕开口设置,所述惰性气体管道上均匀开设有若干出气孔;当所述惰性气体管道内通入惰性气体后,惰性气体从出气孔出去形成气幕以隔绝炉体外部空气从开口进入由于本方案中惰性气体管道分布设置在开口内,当惰性气体通入到惰性气体管道内时,惰性气体形成气幕封闭开口,避免外界空气从开口进入到炉内而影响钢水质量。
  • 精炼炉开口密封结构
  • [发明专利]气体回收设备-CN96110281.0无效
  • 野沢成祯;富田伸二 - 缔酸株式会社
  • 1996-07-16 - 1997-05-21 - F25J3/08
  • 本发明的气体回收设备有一CVD装置,它包括具有惰性气体供应通道以及清洗气体供应通道的气体输入部分,这些通道都与CVD装置相连;还设有废气排放部分,废气循环部分,冷却部分以及回收部分;稀释惰性气体包括沸点低于清洗气体气体;供应成分与稀释惰性气体相同的液态冷惰性气体的供应部分、由冷惰性气体的汽化热冷却的惰性气体循环部分以及惰性气体排放部分构成冷却部分;惰性气体排放部分连接惰性气体供应通道。
  • 气体回收设备
  • [实用新型]具有惰性气体压缩罐的吹瓶机-CN201520540525.4有效
  • 张本汉 - 信丰正天伟电子科技有限公司
  • 2015-07-24 - 2015-12-09 - B29C49/58
  • 本实用新型公开了一种具有惰性气体压缩罐的吹瓶机,所述吹瓶机包括吹瓶机主机,还包括换向阀,所述换向阀的惰性气体出口以及空气出口连接至所述吹瓶机主机的进气接管,所述换向阀的惰性气体入口以及空气入口分别连接至惰性气体压缩罐和空气压缩罐;在所述空气入口与所述空气压缩罐之间设置有空气阀门,在所述惰性气体入口与所述惰性气体压缩罐之间设置有惰性气体阀门。本实用新型,当所述惰性气体阀门打开并且关闭空气阀门时,惰性气体经过换向阀后在惰性气体出口流出至吹瓶机进行吹瓶;当关闭惰性气体阀门并打开空气阀门时,惰性气体出口密封,空气进入换向阀后在空气出口流出至吹瓶机
  • 具有惰性气体压缩吹瓶机

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