|
钻瓜专利网为您找到相关结果 6992687个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]光固化性组合物及半导体装置的制造方法-CN201780047436.8有效
-
德永光;远藤贵文;桥本圭祐;坂本力丸
-
日产化学株式会社
-
2017-07-31
-
2022-08-23
-
C08G59/14
- 本发明的课题是提供用于在基板上形成具有平坦化性的被膜的光固化性组合物,其对图案的填充性高,能够形成不发生热收缩的涂膜。解决手段是一种光固化性组合物,其包含:包含光分解性含氮结构和/或光分解性含硫结构、和烃结构的至少1个化合物;以及溶剂。上述化合物为分子内具有1个以上光分解性含氮结构和/或光分解性含硫结构的化合物。上述化合物为光分解性含氮结构和/或光分解性含硫结构、和烃结构存在于同一分子内的化合物,或者上述化合物为光分解性含氮结构和/或光分解性含硫结构、和烃结构分别存在于不同分子间的化合物的组合。光分解性含氮结构包含通过紫外线照射而产生的反应性含氮官能团或反应性含碳官能团,光分解性含硫结构为包含通过紫外线照射而产生的有机硫自由基、或碳自由基的结构。
- 光固化组合半导体装置制造方法
|