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- [发明专利]一种分波段固晶找晶方法-CN202110749606.5在审
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张跃春;罗元明;李肖山
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先进光电器材(深圳)有限公司
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2021-07-02
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2021-10-08
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H01L21/66
- 本发明公开了一种分波段固晶找晶方法,包括以下步骤,获得晶圆,对晶圆进行电性检测获得该晶圆的电性检测数据;对晶圆的电性检测数据进行转换,将晶圆上晶粒的波段分布范围分成若干个区间,每个区间对应一个字母,且任意两个区间对应的字母不同,获得晶圆的晶粒分类映射图;获得晶圆的图像,晶粒在晶圆上呈矩阵排列,以晶圆的几何中心为原点建立坐标系,获得晶粒分布图;对晶粒分布图进行分析,对每一行晶粒进行判断获得晶粒集中分布图;封装设备根据晶粒集中分布图从晶圆上吸取晶粒本发明提供的分波段固晶找晶方法提高了封装设备吸取目标类型晶粒的精度和效率,利于提升半导体产品的质量及生产效率。
- 一种波段固晶找晶方法
- [实用新型]找晶平台-CN202020402241.X有效
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胡新荣
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深圳新益昌科技股份有限公司
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2020-03-25
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2020-09-25
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H01L21/68
- 本申请提供了一种找晶平台。找晶平台包括:晶圆支撑机构,包括基板、用于支撑晶框的环形座、用于定位晶框的弧形板、用于朝向弧形板抵持晶框固定的顶推组件和支撑环形座转动的转动组件;以及,移动平台,包括用于驱使基板沿第一方向移动的第一驱动组件和用于驱动第一驱动组件沿第二方向移动的第二驱动组件本申请的找晶平台采用顶推组件与弧形板配合夹紧晶框,固定晶框的顶推组件和弧形板结构简单,装载和定位效率更高,有利于降低成本。
- 平台
- [实用新型]一种取晶固晶装置-CN201721069351.3有效
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向军
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江苏新智达新能源设备有限公司
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2017-08-24
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2018-03-02
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种取晶固晶装置,包括固晶板、固晶置料台和蘸针板,待操作的料片放置在固晶置料台上,还包括固晶纵向丝杆、固晶纵向滑块、固晶纵向电机、固晶竖向丝杆、固晶竖向滑块和固晶竖向电机,固晶纵向丝杆沿纵向水平固定设置在固晶板的上方,固晶纵向滑块安装在固晶纵向丝杆上,固晶纵向丝杆在固晶纵向电机的驱动下转动并带动固晶纵向滑块沿纵向移动,通过蘸针板在固晶板和固晶置料台之间自动化操作,实现了取晶和固晶的工作,不需要人工额外操作,减轻了操作人员的劳动强度,大大提高了取晶固晶的效率。
- 一种取晶固晶装置
- [实用新型]绑头固晶装置及固晶机-CN202121460772.5有效
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胡新平;梁志宏
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深圳新益昌科技股份有限公司
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2021-06-29
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2021-11-30
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H01L21/67
- 本申请提供了一种绑头固晶装置及固晶机;绑头固晶装置包括两套固晶绑头、驱动两套固晶绑头分别升降的固晶升降模块、驱动两套固晶绑头纵向移动的固晶纵移模块、驱动固晶纵移模块横向移动的固晶横移模块和支撑固晶横移模块的固晶支座本申请通过设置两套固晶绑头,通过固晶升降模块驱动固晶绑头升降,而固晶纵移模块驱动两套固晶绑头纵向移动,两套固晶绑头分别通过升降模块驱动,从而也可以分别取放固晶,以提升固晶效率,并外,两套固晶绑头可以实现晶片的取放接力,以缩短每个固晶绑头的移动距离,提升效率,保证固晶精度;另外,使用固晶横移模块驱动固晶纵移模块横向移动,进而可以带动两套固晶绑头横向移动,以进一步提升效率。
- 绑头固晶装置固晶机
- [实用新型]一种环形固晶机-CN202321102172.0有效
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邓应铖;陆元鹏;吴勇
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深圳市卓兴半导体科技有限公司
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2023-05-10
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2023-09-26
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H01L21/67
- 本实用新型属于固晶机领域,尤其涉及一种环形固晶机,包括:机架;固晶支架,且所述固晶支架上设置有环形轨道;固晶平台,所述固晶平台设置在所述机架上,取晶台,所述取晶台的数量为两个,且所述取晶台分别位于所述环形轨道下方;固晶装置,所述固晶装置设置在所述环形轨道上,且所述固晶装置与所述环形轨道滑动连接。本实用新型通过设置环形轨道,环形轨道上设置有固晶装置,固晶装置能够沿环形轨道的周向方向运动,当固晶装置移动至取晶台上方时,固晶装置将取晶台上的晶元取出,当固晶装置移动至固晶平台上方时,固晶装置将其取得的晶元放至到基板上对应位置
- 一种环形固晶机
- [实用新型]一种可移动式灯带固晶炉-CN202122881107.X有效
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姜宇;方玲玲
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深圳市量维智能有限公司
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2021-11-23
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2022-07-22
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H01L33/48
- 本实用新型涉及灯带固晶设备领域,尤其涉及一种可移动式灯带固晶炉。固晶炉本体、轨道组件、移动轮组件。固晶炉设置有两个固晶通道,当固晶机需要停机时,固晶炉横向移动,使灯带进入相邻的固晶通道。设置有轨道组件、移动轮组件,固晶炉可以通过移动轮组件在轨道组件的导向下纵向或横向移动,当固晶机需要停机时,固晶炉横向移动,使灯带进入相邻的固晶通道;当固晶机与固晶炉之间生产节拍不一致时,固晶炉纵向移动,调节固晶机与固晶炉之间的距离,进而调节灯带的缓存量,进而对固晶机与固晶炉之间生产的节拍差异进行缓冲。
- 一种移动式灯带固晶炉
- [发明专利]一种固晶方法及固晶机-CN202111139330.5有效
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曾逸;杨林
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深圳市卓兴半导体科技有限公司
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2021-09-28
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2021-12-31
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H01L21/50
- 本发明提供了一种固晶方法及固晶机,该固晶方法包括:取晶步骤:控制摆臂摆动至取晶位,通过顶针将蓝膜上的晶元顶到摆臂吸嘴上,然后摆臂摆动至转接位;移动控制步骤:控制直线固晶头直线移动至转接位;转接步骤:当摆臂吸嘴和直线固晶头均位于转接位时,控制固晶吸嘴吸取摆臂吸嘴上的晶元;固晶步骤:首先控制直线固晶头直线移动至固晶位,然后控制直线固晶头的固晶吸嘴将晶元固晶到电路板上。本发明的有益效果是:本发明通过摆臂吸嘴和直线固晶头在转接位将晶元做了一次接力,缩短了直线固晶头的移动行程,采用本发明的固晶方法和固晶机不仅可以固更大的电路板,而且极大的提高了晶元的搬运速度,产生更高的效率
- 一种方法固晶机
- [实用新型]晶圆转移装置及固晶机-CN202121508643.9有效
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邓应铖;曾逸
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深圳市卓兴半导体科技有限公司
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2021-07-02
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2021-12-14
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H01L21/687
- 本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体涉及一种晶圆转移装置及固晶机,固晶机包括晶圆转移装置,晶圆转移装置包括供晶机构、固晶机构以及转移机构,供晶机构具有取晶部,固晶机构具有固晶部,转移机构包括转盘及固定在转盘上的多个吸取组件,取晶部和固晶部均位于转盘的工作范围内,多个吸取组件围绕转盘的旋转轴线设置,转盘能够转动,以使得多个吸取组件依次经过取晶部和固晶部,且当其中一个吸取组件位于取晶部时,相对的另外一个吸取组件位于固晶部。该晶圆转移装置,在晶圆的转移过程中,通过转盘上的多个吸取组件相互配合,实现取晶、固晶协同操作,一边取晶一边固晶,有效提高了晶圆的转移效率,从而提高了固晶速度,降低了固晶成本。
- 转移装置固晶机
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