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- [发明专利]三氯氢硅的合成装置-CN201810029719.6有效
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张凯兴;万宁宁;李珑;齐元红;杨少军;王正坤;刘新岗;张正龙
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新特能源股份有限公司
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2018-01-12
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2021-01-22
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C01B33/107
- 本发明公开了一种三氯氢硅的合成装置,包括:硅粉干燥罐,用于加入硅粉,通入非氧化性气体作为硅粉的推料介质推送硅粉;硅粉加料过渡罐,用于通入非氧化性气体作为硅粉的推料介质推送硅粉;硅粉缓冲罐,用于缓冲硅粉,通入氯化氢作为硅粉的推料介质推送硅粉;三氯氢硅合成反应器,用于由硅粉缓冲罐加入的硅粉与通入的氯化氢反应生成三氯氢硅。本发明中三氯氢硅的合成装置中的硅粉缓冲罐,采用氯化氢作为硅粉的推料介质推送硅粉,可省去传统三氯氢硅合成工艺中配套的除氮装置,本发明提高了三氯氢硅合成反应器中反应得到的合成气中的三氯氢硅的分压,从而使得后续的合成气的分离提纯过程中进行冷凝时,三氯氢硅冷凝更加完全,三氯氢硅的收率提高。
- 三氯氢硅合成装置
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