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[发明专利]光纤子组件到光电装置的基于视觉的被动对准-CN201580033706.0有效
发明人： S.李;G.L.克洛茨;M.K.巴诺斯基;R.R.瓦兰斯 -专利权人：纳米精密产品股份有限公司
申请日： 2015-05-26 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：一种基于视觉的被动对准方法以光学对准将光纤的输入/输出光学耦合至支撑在基板上的光电部件。支撑光纤的光具座经由光学透明对准块物理地和光学地耦合至安装在基台上的光电装置。透明对准块具有用于对准限定在光具座上的光学基准与对准块的第一组光学基准以及用于对准限定在基台上的光学基准与对准块的第二组光学基准。
光纤组件光电装置基于视觉被动对准

[发明专利]晶圆半导体产品、掩膜版以及光刻机-CN202110317708.X在审
发明人：潘钙;王国峰;杨忠武 -专利权人：北海惠科半导体科技有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆半导体产品、掩膜版以及光刻机，所述晶圆半导体产品包括光学对准场以及多个管芯曝光场；所述光学对准场包括至少一个光学对准目标标记、至少一个第一精细对准目标标记、以及多个管芯；其中，所述光学对准目标标记的对位精度低于所述精细对准目标标记的对位精度，所述管芯与所述光学对准目标标记之间间距不小于一预设的安全距离。由于在光学对准场内除开对准目标标记区域的空白区域内也布置有效管芯，光学对准目标标记与其相邻的管芯之间间距不小于一预设的安全距离，这样避免了管芯和光学对准目标标记的相互影响，在保证光学对准场的对准功能实现的前提下
半导体产品掩膜版以及光刻

[发明专利]一种用于光学系统中光路组件对准装置-CN201811617825.2有效
发明人：郭永飞;康玉思;谭向全;王忠素;吴清文;张旭升;盛展翊 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光学系统中光路组件对准装置。用于光学系统中光路组件对准装置包括：基座，前对准用光学系统，光学组件安装座，后对准用光学系统，以及位移台；前对准用光学系统和后对准用光学系统分别安装在基座上，用于对前光路组件和后光路组件进行成像；光学组件安装座上设置有前光路组件和后光路组件；光学组件安装座设置在位移台上，并可随位移台运动；通过调整前光路组件和后光路组件，可使前光路组件和后光路组件对准。本发明公开的用于光学系统中光路组件对准装置能实现光路组件的精密对准。
一种用于光学系统中光路组件对准装置

[发明专利]一种对准系统-CN201010286110.0有效
发明人：杜聚有 -专利权人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2010-09-17 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种对准系统，包括光源模块，提供对准系统所需的对准光束，所述对准光束至少具有两个传播方向；光学条纹形成装置，接收上述不同方向的对准光束，形成第一光学条纹；光学模块，接收第一光学条纹，形成具有和下述对准标记相同的周期和方向的第二光学条纹，并接收所述第二光学条纹照射到下述对准标标记后形成的衍射光束；对准标记，具有一定的周期，至少向两个方向排列，其能接收第二光学条纹，并使其发生衍射；光电探测器，设置在光学模块和光学条纹形成装置之间，接收并测量上述衍射光束的强度，利用光强变化反映的位相信息确定对准位置。
一种对准系统

[发明专利]光学元件的运动耦合-CN202080045520.8在审
发明人：亚历山大·松 -专利权人：脸谱科技有限责任公司
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本文提供了用于在光学组件中使用的光学元件的方面。光学元件可以包括光学衬底、光学部件(例如，透镜)和多个对准特征。光学部件被配置为接收光，并且被包括在光学衬底的中间区域中。对准特征被包括在光学衬底的表面上的外围区域中。对准特征被配置为接触被包括在光学组件的另一光学元件中的相对应的多个对准特征，以在光学元件和另一光学元件之间提供运动耦合，从而用于将光学部件对准。
光学元件运动耦合

[发明专利]双面对准装置及其对准方法-CN200910199445.6有效
发明人：蔡巍;徐兵;陈跃飞;张春莲;王端秀 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2009-11-26 - 公布日： 2011-06-01 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种双面对准装置及其方法。双面对准装置包括掩模对准装置、硅片前表面对准装置和硅片后表面对准装置。掩模对准装置包括掩模照明光学系统、掩模成像光学系统和图像传感器，实现掩模标记对准；硅片前表面对准装置包括上述掩模照明光学系统、掩模成像光学系统和图像传感器，借助于投影物镜实现硅片前表面标记对准和工件台基准标记对准；硅片后表面对准装置包括底部照明光学系统、底部成像光学系统、上述掩模成像光学系统和图像传感器，借助于投影物镜实现硅片后表面标记对准。本发明的双面对准装置及其对准方法，降低了双面对准系统的设计成本及复杂度。
双面对准装置及其方法

[发明专利]一种用于光学系统中光路组件的对准方法-CN201811617565.9有效
发明人：郭永飞;康玉思;谭向全;王忠素;吴清文;张旭升 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光学系统中光路组件的对准方法，包括步骤：调整前对准用光学系统和后对准用光学系统同轴；调整光学组件安装座使其前端面与前对准用光学系统保持垂直，后端面与后对准用光学系统保持垂直；将前光路组件和后光路组件分别粗略安装在光学组件安装座的前端面和后端面上；调整光路组件在光学组件安装座上的位置，直至对准；固定光路组件在光学组件安装座上的位置。所本发明公开的用于光学系统中光路组件的对准方法能实现光路组件的精密对准。
一种用于光学系统中光路组件对准方法

[发明专利]晶圆半导体产品及其制作方法-CN202110317624.6在审
发明人：王国峰;潘钙;杨忠武 -专利权人：北海惠科半导体科技有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆半导体产品及其制作方法，所述晶圆半导体产品包括光学对准场以及多个管芯曝光场，所述光学对准场包括至少一个光学对准目标标记；所述多个管芯曝光场，呈点阵式的排列在晶圆半导体产品上除所述光学对准场以外的区域；其中，每一所述管芯曝光场包括多个管芯以及第二精细对准目标标记；所述光学对准目标标记的对位精度低于所述第二精细对准目标标记的对位精度，所述光学对准场的个数仅为一个。通过减少光学对准场的数量，减少了光学对准场的数量，在相同晶圆面积下可布设更多的管芯曝光场，提升了有效管芯的布局数量，降低了平均每个管芯的成本。
半导体产品及其制作方法

[发明专利]一种适用于光学系统装调的空间坐标系对准装置-CN202211241618.8在审
发明人：曾爱军;朱玲琳;黄惠杰 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G02B27/30 文献下载
摘要：一种适用于光学系统装调的空间坐标系对准装置，用于光学系统中两个光学模块装调时的空间坐标系的对准，包括：XY对准器、角锥镜、RXY对准器、RZ对准器；XY对准器位于角锥镜的斜边的入射光束一侧，RXY对准器位于角锥镜的斜边的出射光束一侧；光束射入XY对准器以判定两个光学模块是否发生X方向偏移或/和Y方向偏移；经角锥镜反射后的出射光束射入RXY对准器以判定两个光学模块是否发生X方向旋转或/和Y方向旋转；该出射光束射入RZ对准器以判定两个光学模块是否发生空间坐标系对准装置结构精简、操作简单，能够对光学系统中两个光学模块装调时的空间坐标系从五个自由度进行对准，且空间坐标系在对准过程中的对准效果清晰直观。
一种适用于光学系统空间坐标系对准装置

[发明专利]用于对液晶层进行图案化的方法和系统-CN202080080827.1在审
发明人： R·K·科曼杜里;吴哲宇 -专利权人：奇跃公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：在一些实施方式中，通过使用纳米压印对准层来图案化液晶层来创建光学母版。纳米压印对准层和液晶层构成光学母版。光学母版位于光对准层上面。光学母版被照射并且传播通过纳米压印对准层和液晶层的光被衍射，并且随后撞击光对准层。入射的衍射光使液晶层中的图案被转移到光对准层。第二液晶层被沉积到图案化光对准层上，图案化光对准层随后用于对准第二液晶层的分子。在一些实施方式中，图案化光对准层中的第二液晶层可被用作复制光学母版或衍射光学元件，诸如用于引导光学装置中的光，诸如显示装置，包括增强现实显示装置。
用于液晶进行图案方法系统

[发明专利]具有融合区和对准侧壁的眼科装置和组装其的方法-CN201980081264.5有效
发明人： J.埃姆肯;S.肯尼迪;K.拉韦里 -专利权人：威里利生命科学有限责任公司
申请日： 2019-12-11 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G02B1/00 文献下载
摘要：描述了包括对准侧壁和穿过其设置的融合区的眼科装置和眼科系统。一种示例眼科装置可以包括具有成形为合作地联接的对准侧壁的第一和第二光学元件。对准侧壁可以包括设置在侧壁中的融合区，该融合区成形为将侧壁从脊过渡到光学元件的光学区的表面。当对准侧壁合作地联接时，对准侧壁可以限定设置在两个被联接的光学元件之间的腔室，液晶可以设置在该腔室中。一种示例方法可以包括使第一光学元件的融合区与第二光学元件的匹配融合区对准。该示例方法还可以包括将第一光学元件的对准侧壁和第二光学元件的对准侧壁合作地联接。
具有融合对准侧壁眼科装置组装方法

[发明专利]光学子组件与光电器件的光学对准-CN201780028528.1有效
发明人： R.R.瓦兰斯;G.L.克洛茨;R.D.丹嫩伯格 -专利权人：库多广达佛罗里达股份有限公司
申请日： 2017-03-15 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：使用外部源和外部接收器，使光信号经由设置在光学子组件上的对准反射表面特征部通过光电器件中的无源波导，实现了光学子组件和光电器件的光学对准。光学子组件设置有第一对准反射表面和第二对准反射表面，第一对准反射表面将来自光源的对准信号引导到波导的输入部处的光栅耦合器，在对准信号已通过波导从输入部传输到输出部之后，第二对准反射表面将来自波导的输出部处的光栅耦合器的对准信号引导到接收器通过调节光学子组件和光电器件之间的相对位置，并检测从第二对准反射表面反射的对准信号的最大光功率，可以确定光学子组件和光电器件的最佳光学对准的位置。
学子组件光电器件光学对准

[发明专利]具有温度独立机械对准的光子集成电路连接器-CN202080060643.9在审
发明人：迈克尔·A·哈斯;尼古拉斯·A·李 -专利权人： 3M创新有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G02B6/38 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学组件，该光学组件包括：光学套管，该光学套管被构造成接收来自光波导的光，并且包括至少四个套管对准特征结构；以及托架，该托架将光学套管固定在其中，并且被构造成将光学套管对准到光学部件，该托架包括至少四个托架对准特征结构，该至少四个托架对准特征结构被构造成与至少四个套管对准特征结构在至少四个对应的接触区域中以一一对应的关系形成接触或接近接触，使得随着托架和光学套管中的至少一者的温度充分改变，光学套管和托架的对应的对准特征结构相对于彼此滑动，从而致使光学套管和托架的对应的对准特征结构移动以限定对应的横穿区域，使得当延伸时，至少四个套管对准特征结构和至少四个托架对准特征结构的横穿区域在相同第一点的20微米内穿过。
具有温度独立机械对准光子集成电路连接器

[实用新型]姿态信息采集设备-CN202020173384.8有效
发明人：杨君;徐唐进;习先强;孙化龙 -专利权人：天津时空经纬测控技术有限公司
申请日： 2020-02-14 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： G01C21/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种姿态信息采集设备，包括：光学准直装置，用于检测与设置于被测物体的测量面之间的对准状态并生成对准信息，其中对准信息用于指示光学准直装置与测量面之间的对准状态，并且其中在光学准直装置与测量面对准的情况下，光学准直装置的轴线与测量面的法线平行；以及姿态测量装置，与光学准直装置连接，用于测量与光学准直装置的姿态相关的测量信息。
姿态信息采集设备

[发明专利]用于光学对准的系统和方法-CN202180090884.2在审
发明人： S·M·德拉普;V·巴克塔;H·崔;彭国林;胡迪 -专利权人：苹果公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：每个显示模块可包括安装到外壳的光学器件和机械地调整光学器件的光轴的位置的机械对准结构。对准结构可旋转整个外壳，可机械地平移光学器件，可调整模块内的空间光调制器的位置，和/或控制电路可改变由调制器使用的像素的子集以补偿第一适眼区和第二适眼区之间的光学未对准。设备可包括检测光学未对准的光学未对准传感器。控制电路可补偿如由光学未对准传感器检测的光学未对准。
用于光学对准系统方法

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