|
钻瓜专利网为您找到相关结果 1951196个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种传感器件、传感器及湿度传感器件-CN201310705023.8有效
-
史蒂芬·李
-
无锡康森斯克电子科技有限公司
-
2013-12-19
-
2014-04-02
-
G01N27/22
- 本发明涉及一种传感器件,所述传感器件包括设置在半导体衬底上的至少一个传感器区域,所述传感器区域包括设置在所述半导体衬底上的多晶硅垂直电极,所述多晶硅垂直电极形成传感电容,每个垂直电极作为所述传感电容的一个极板,所述垂直电极的极板之间有敏感膜片,所述敏感膜片与环境具有第一接触面,透过所述第一接触面吸收环境中待检测物质后,改变所述传感电容的电容值,所述传感电容根据所述介电常数变化生成变化的电容信号;至少一个传导器件,从所述第二表面朝向所述第一表面贯穿所述半导体衬底,并且与所述敏感器件具有至少一个第二接触面,所述第二接触面将传感电容生成的所述电容信号传导给设置在所述第二表面的金属焊盘。
- 一种传感器件传感器湿度
- [发明专利]柔性传感器及柔性信号检测装置-CN201810744439.3有效
-
冯雪;刘鑫;陈毅豪
-
清华大学
-
2018-07-09
-
2020-04-24
-
G01B7/16
- 本公开涉及一种柔性传感器及柔性信号检测装置。包括:应变传感器件,用于根据被检测对象的待测部位的形变得到第一信号;光学传感器件,用于根据被检测对象的待测部位的形变得到第二信号;柔性衬底,用于承载应变传感器件和光学传感器件,且能够与被检测对象的待测部位的表面贴合,以使柔性传感器贴合在被检测对象的待测部位的表面上,应变传感器件、光学传感器件和柔性衬底均由柔性材料制成。本公开的柔性传感器集成有应变传感器件和光学传感器件,可以实时、动态的采集被检测对象的待测部位在平面的应变数据以及正交方向的曲率变化数据,能更加精确的反应待测部位的形变信号。
- 柔性传感器信号检测装置
|