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- [发明专利]激光干涉抛物面对称测量装置-CN201310417959.0有效
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薛黎明;刘伯昂
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中海阳能源集团股份有限公司
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2013-09-13
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2014-01-08
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G01B11/24
- 本发明公开了一种激光干涉抛物面对称测量装置,包括测试搭载部和检测部,其中,测试搭载部包括标准反射镜单元和用于接收干涉图样的截取屏,检测部包括光栅屏和固定于其上的激光柱状光源,激光柱状光源设置在光栅屏的中间对称面上,待测反射镜单元与标准反射镜单元也以中间对称面对称安装;以中间对称面为对称,光栅屏上设置有若干对相互平行且能够独立开闭的光栅,一对相互对称的光栅分别对应于待测反射镜单元、标准反射镜单元上相同的曲率片段,若干对相互对称的光栅分别依次对应于镜面上的不同曲率片段。本发明应用槽式抛物面反射镜、双缝干涉的光反射、衍射及干涉原理,以达到通过对称反射逐段检测曲面误差的目的。
- 激光干涉抛物面对称测量装置
- [实用新型]激光干涉抛物面对称测量装置-CN201320569558.2有效
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薛黎明;刘伯昂
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中海阳能源集团股份有限公司
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2013-09-13
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2014-06-25
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G01B11/24
- 本实用新型公开了一种激光干涉抛物面对称测量装置,包括测试搭载部和检测部,其中,测试搭载部包括标准反射镜单元和用于接收干涉图样的截取屏,检测部包括光栅屏和固定于其上的激光柱状光源,激光柱状光源设置在光栅屏的中间对称面上,待测反射镜单元与标准反射镜单元也以中间对称面对称安装;以中间对称面为对称,光栅屏上设置有若干对相互平行且能够独立开闭的光栅,一对相互对称的光栅分别对应于待测反射镜单元、标准反射镜单元上相同的曲率片段,若干对相互对称的光栅分别依次对应于镜面上的不同曲率片段。本实用新型应用槽式抛物面反射镜、双缝干涉的光反射、衍射及干涉原理,以达到通过对称反射逐段检测曲面误差的目的。
- 激光干涉抛物面对称测量装置
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