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- [发明专利]制作不同电阻值的轻掺杂漏极的方法-CN02124441.3无效
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陈锦扬
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联华电子股份有限公司
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2002-06-26
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2003-02-12
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H01L21/265
- 本发明为一种制作不同电阻值的轻掺杂漏极的方法,应用在SRAM上以增加单胞比;首先提供一包含有一第一主动区域以及一第二主动区域的半导体晶片,接着于该二主动区域上分别形成一第一栅极以及一第二栅极;随后进行一第一离子布植,对该第二主动区域的基底表面植入第一导电形式的掺质,然后进行一第二离子布植,对该第一以及第二主动区域的该基底表面同时植入第二导电形式的掺质;最后活化各该导电形式的掺质,以分别于该第一栅极以及该第二栅极周围形成一第一轻掺杂漏极以及一第二轻掺杂漏极,且该第一轻掺杂漏极以及该第二轻掺杂漏极分别具有不同的电阻值,进而增加单胞比;另,该两次离子布植可与其他PMOS晶体管共同进行,故本发明可确实避免习知技术需要额外制程费用或降低SRAM积极度的缺失。
- 制作不同阻值掺杂方法
- [发明专利]重质污油处理装置及方法-CN201210310899.8无效
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白志山;郝萌萌;徐艳;甘仁武
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华东理工大学
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2012-08-28
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2013-01-02
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B01D17/02
- 本发明涉及一种重质污油处理装置及方法,首先,将待处理的重质污油加热至50-90℃,并同破乳剂混合后输入离心萃取分离设备的轻相入口;将存储装置中的循环水加热至50-90℃后输至离心萃取分离设备的重相入口;然后,重质污油和循环水在离心萃取分离设备内发生混合、分离;最后,脱后污油、污水分别从离心萃取分离设备的轻相出口、重相出口输出,脱后污油回炼,污水循环利用。本发明可以将重质污油中的含水量降至5%以下,含盐量降到35mg/L以下,减少污染源和加工损失。本发明的方法和装置适应性强,油水分离时间短,脱水脱盐效果好,操作成本低。
- 重质污油处理装置方法
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