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[发明专利]一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法-CN201210512814.4有效
发明人：孟丽娜;路文一;闫海;郭亚北;陈艳 -专利权人：北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司
申请日： 2012-11-30 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及石英微机械加工技术领域，具体是涉及一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法。清洗三维石英微机械结构的金属膜表面；在清洗后的金属膜表面上喷胶得到光刻胶层，然后对光刻胶层进行曝光、显影，最后进行光刻胶层的坚膜；采用光刻胶层作掩膜，用化学腐蚀的方法对金属膜进行腐蚀，然后去除光刻胶层，完成三维微机械结构表面电极的加工。可对不同尺寸和形状的晶片进行喷胶，同时也可对大深宽比的三维石英微机械结构侧壁进行均匀涂胶；通过超声喷雾式喷胶，改善了三维微机械结构上光刻胶层的均匀性。通过在显影步骤中增加超声清洗环节，降低了光刻胶层对三维石英微机械结构基底材料的粘附性，杜绝了电极加工时的短路情况。
一种三维石英微机结构表面电极加工方法

[发明专利]微型电磁式能量采集器及制备方法-CN200910080541.9有效
发明人：袁泉;方东明;张海霞 -专利权人：北京大学
申请日： 2009-03-20 - 公布日： 2009-08-26 - 主分类号： H02K35/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机电系统(MEMS)电磁式能量采集器及制备方法，它采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内电镀能量采集器的永磁体(阵列)，利用表面微机械加工技术的方法制备能量采集器的振动膜(“蟹脚”状悬臂梁和振动平板)和平面螺旋线圈。
微型电磁式能量采集制备方法

[发明专利]静电驱动导体薄膜的MEMS可调电感及制备方法-CN200910080540.4无效
发明人：方东明;袁泉;刘健;张海霞 -专利权人：北京大学
申请日： 2009-03-20 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： H01F29/00 文献下载
摘要：本发明采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内制作静电驱动的固定极板，利用表面微机械加工技术的方法制备可调电感的静电驱动的可动导体薄膜可调电感器件尺寸小、加工工艺与IC工艺相兼容，易于封装，适于大规模生产，在无线通讯领域有广泛应用价值。
静电驱动导体薄膜 mems 可调电感制备方法

[发明专利]粗糙化陶瓷表面的方法-CN02806155.1有效
发明人： E·C·韦尔登;Y·何;H·王;C·C·斯托 -专利权人：应用材料有限公司
申请日： 2002-11-20 - 公布日： 2004-05-12 - 主分类号： C04B41/91 文献下载
摘要：本发明揭示了一种通过在陶瓷表面形成机械联锁而使陶瓷表面粗糙化的方法，其中机械联锁是通过化学蚀刻、热蚀刻、或使用激光显微机械加工法形成的。本发明还揭示了在半导体处理室中使用的部件(尤其是在PVD室中使用的沉积环)，这些部件具有至少一个已经在其上通过化学蚀刻、热蚀刻、和激光显微机械加工形成机械联锁的陶瓷表面。按照本发明的化学蚀刻法、热蚀刻法、和激光显微机械加工法粗糙化的陶瓷表面，与使用传统喷砂技术粗糙化的陶瓷表面相比，脆性和损坏降低。本发明的方法产生了一种对上方牺牲层(例如铝)有良好粘合性的粗糙化的陶瓷表面。
粗糙陶瓷表面方法

[发明专利]一种加工三维石英微机械陀螺音叉侧电极的方法-CN201510142038.7有效
发明人：段亚飞;裴志强;张琳琳 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2015-03-27 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G01C19/5628 文献下载
摘要：本发明提供了一种加工三维石英微机械陀螺音叉侧电极的方法，包括：在石英晶片上依次形成多层金属层，采用光刻‑湿法腐蚀方法刻蚀多层金属层及石英晶片，形成三维石英微机械陀螺音叉结构和表面电极；以光刻胶为掩膜，对三维述石英微机械陀螺音叉基片进行溅射镀膜，形成侧面电极、减薄梁电极和表面电连接电极；剥离所述光刻胶，得到三维石英微机械陀螺音叉侧电极。本发明极大地简化了制备工艺流程，工艺兼容性好且易于加工，适用于大批量生产。
一种加工三维石英微机陀螺音叉电极方法

[发明专利]用于对机械构件上的部分进行微机械加工的加工方法和加工系统-CN201210479982.8有效
发明人：福岛武;山冈悦夫;太田光一;山口幸雄;大谷博幸 -专利权人：株式会社电装
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：当通过水导激光机械加工在机械构件(20)上形成微机械加工部分时，在移动激光头(7)侧和机械构件(20)侧的同时，用于形成微机械加工部分的点被加工，以获得希望形状的微机械加工部分。
用于机械构件部分进行微机加工方法系统

[发明专利]用于对机械构件上的部分进行微机械加工的加工方法和加工系统-CN200910266389.3无效
发明人：福岛武;山冈悦夫;太田光一;山口幸雄;大谷博幸 -专利权人：株式会社电装
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：当通过水导激光机械加工在机械构件(20)上形成微机械加工部分时，在移动激光头(7)侧和机械构件(20)侧的同时，用于形成微机械加工部分的点被加工，以获得希望形状的微机械加工部分。
用于机械构件部分进行微机加工方法系统

[发明专利]用于加工用于控制流体流的部件的方法以及按该方法加工的部件-CN200780032495.4有效
发明人： S·平特;T·皮尔克 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2007-07-10 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： F16K7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于加工控制流体流的微机械结构部件的方法以及按照这种方法加工的结构部件。用于加工控制流体流的微机械结构部件(1)的方法包括下列步骤：通过在载体层(2)的表面(2a)上构成位于薄膜下面的从相同表面开始的空穴(3，3a)来加工可振动薄膜(4，4a)，通过中间层(6)覆盖载体层(2)，形成中间层(6)结构并通过封闭微机械结构部件(1)的盖层(11)而覆盖中间层(6)。
用于加工控制流体部件方法以及

[发明专利]一种基于微机械锁合界面的金属-塑料混合薄壁结构-CN201610090040.9在审
发明人：孙凌玉;李立军;黄彬城;张胜强;申乐 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2016-02-17 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： B29C45/14 文献下载
摘要：一种基于微机械锁合界面的金属‑塑料混合薄壁结构，它包括塑料薄板、金属薄板、微机械锁合金属沟槽、微机械锁合塑料齿。微机械锁合金属槽是通过激光切割方式加工，均匀地分布于金属板表面。微机械锁合塑料齿是混合结构中的塑料熔融后流入到微机械锁合金属槽中后冷却形成，尺度为200微米以下。通过多个微机械锁合金属槽与微机械锁合塑料齿的机械锁合连接，把金属板与塑料板固连起来，从而制成金属‑塑料混合薄壁结构。
一种基于微机械锁合界面金属塑料混合薄壁结构

[发明专利]具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计-CN201911378596.8有效
发明人：陈方;李昕欣;周伟 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01R33/028 文献下载
摘要：本发明提供一种具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计，包括：双谐振结构的微机械洛伦兹力磁强计，包括第一微机械谐振结构及第二微机械谐振结构，所述第一微机械谐振结构与所述第二微机械谐振结构相同，二者间隔分布于同一磁场内，且所述第一微机械谐振结构的表面及所述第二微机械谐振结构的表面与所述磁场相垂直；检测电路，与所述第一微机械谐振结构及所述第二微机械谐振结构电连接，所述接口检测电路包括全差分开环检测电路或静电力平衡闭环检测电路
具有接口检测电路谐振结构微机械洛伦兹力磁强计

[发明专利]共振隧穿微机械力传感器及其制造方法-CN200410091549.2无效
发明人：郭琳瑞;叶雄英;周兆英;杨兴 -专利权人：清华大学
申请日： 2004-11-19 - 公布日： 2005-06-29 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：共振隧穿微机械力传感器及其制造方法，属于微机电系统和传感技术领域。为了增加隧穿间隙以降低制造和控制的难度、提高传感器灵敏度，本发明公开了一种共振隧穿微机械力传感器，主要结构由上、下两个硅片组成，上硅片下表面生长有隧穿阳极，下硅片上表面与隧穿阳极对应位置处生长有隧穿阴极，隧穿阴极表面生长具有多薄层结构的隧穿结，多薄层结构由绝缘体性材料和金属性材料交替结合而成，或由不同带隙的半导体材料交替结合而成。本发明还公开了制造所述微机械力传感器的方法。本发明所述微机械力传感器具有灵敏性高、功耗低、噪声低、温度系数小等优点，而且加工工艺简单，适合大批量生产，易于推广应用。
共振微机传感器及其制造方法

[发明专利]一种全解耦振动式微机械陀螺-CN200910243960.X有效
发明人：高宏;王庆 -专利权人：紫光股份有限公司
申请日： 2009-12-25 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种全解耦振动式微机械陀螺，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。驱动质量块弹性支撑梁通过立柱固定在基片上，驱动质量块为方框形，其四角通过弹性支撑梁与立柱相连。检测电容固定电极固定在微机械陀螺的基片上，检测电容可动电极固定在检测质量块下表面的绝缘层上，并通过导电柱与检测质量块导通。本发明的微机械陀螺，从结构设计上完全消除了驱动方向的振动对检测电容的干扰，提高了微机械陀螺灵敏度，而且不增加工艺难度和加工成本，易于批量生产。
一种全解耦振动式微机械陀螺

[实用新型]一种用于角速度测量的全解耦振动式微机械陀螺-CN200920278263.3无效
发明人：高宏;王庆 -专利权人：紫光股份有限公司
申请日： 2009-12-25 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及用于角速度测量的全解耦振动式微机械陀螺，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。驱动质量块弹性支撑梁通过立柱固定在基片上，驱动质量块为方框形，其四角通过弹性支撑梁与立柱相连。检测电容固定电极固定在微机械陀螺的基片上，检测电容可动电极固定在检测质量块下表面的绝缘层上，并通过导电柱与检测质量块导通。本实用新型的微机械陀螺，从结构设计上消除了驱动方向的振动对检测电容的干扰，提高了微机械陀螺灵敏度，且不增加工艺难度和加工成本，易于批量生产。
一种用于角速度测量全解耦振动式微机械陀螺

[发明专利]一种双面压电层的微机械结构及其加工工艺-CN202211488960.8在审
发明人：刘东旭;徐涛 -专利权人：合肥领航微系统集成有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种双面压电层的微机械结构及其加工工艺，所述微机械结构包括：具有第一振膜的结构层；具有第三金属层和第四金属层的第二振膜，设置于所述结构层上远离所述第一振膜的一侧；以及具有第五金属层和第六金属层的基底本发明提供一种双面压电层的微机械结构及其加工工艺，该微机械结构及其加工工艺可以解决双面压电层的微机械结构与基底键合的一面引线困难的问题，并且提高了该微机械结构的性能。
一种双面压电微机结构及其加工工艺

[发明专利]微机械太赫兹波导、太赫兹波导式谐振腔及制备方法-CN200910087333.1无效
发明人：缪旻;张杨飞;金玉丰 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2009-06-23 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： H01P3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机械太赫兹波导、太赫兹波导式谐振腔及制备方法，属于波谱技术领域。该微机械太赫兹波导为内嵌于封装基板中的管道结构，封装基板由上、下表面板和若干个中间基板堆叠而成，所述波导设置在中间基板内，其轴线平行于基板表面；该波导延伸到中间基板的侧向外表面，或该波导延伸至上、下表面板的外表面利用上述THz波导设计原理，还可以制备太赫兹波导式谐振腔，且制备方法基于RF MEMS的微机械技术，可进行大规模并行化、低成本的加工。
微机赫兹波导谐振腔制备方法

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