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[发明专利]一种基于侧铣加工的工件表面形貌的预测方法-CN201711353978.6有效
发明人：刘志兵;赵轲;赵文祥;王西彬;籍永建;黄涛;张路;陈掣;陈晖;王康佳 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： B23Q17/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于侧铣加工的工件表面形貌的预测方法，属于机械制造仿真技术领域；将测得的实时加工过程中工件的表面形貌数据与工件模型的表面形貌数据进行比对，并获取两者差值数据作为实验随机表面形貌数据；根据概率统计方法、皮尔逊分布簇及随机数对实验随机表面形貌数据进行处理，得到表面形貌预测随机模型；据工件模型的表面形貌预测随机模型，通过改变仿真模型中的加工参数，能够获得该加工参数对应的实际侧铣加工中工件的表面形貌数据，即对工件表面形貌进行预测；该方法结合了实验和统计学方法的优点，摆脱了实验的限制的同时简化了运算，相较于已有预测方法，提高了效率并提升了预测精度。
预测表面形貌数据工件表面形貌铣加工表面形貌工件模型加工参数随机表面随机模型形貌数据差值数据仿真技术仿真模型概率统计机械制造实时加工随机数统计学比对运算

[发明专利]数据驱动的切削加工表面形貌灰度图像生成方法-CN202310065585.4在审
发明人：何彦;李祖锐;李育锋;吴鹏程;李科;吴俊佑 -专利权人：重庆大学
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G06T11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种数据驱动的切削加工表面形貌灰度图像生成方法，相较于切削表面形貌离线采集流程和切削表面形貌运动学仿真流程，大大减少了切削表面形貌图像的采集时间和图像生成时间，通过使用生成对抗网络中的生成器，将加工信号频谱图和刀具刚度数据直接转换为切削表面形貌灰度图像数据，避免了耗时较长的表面形貌图像数据采集和仿真的流程，有利于生成对抗网络学习加工信号数据和刀具刚度信息之间的全局信息，从而提高切削表面形貌图像生成的准确性，能够在加工过程中直接获取加工工件的切削表面形貌图像，灰度图像能更好的反映加工表面留下痕迹的深浅、疏密、形状，特别是纹理特征，利于工人快速判断加工零件的产品质量。
数据驱动切削加工表面形貌灰度图像生成方法

[发明专利]一种管道焊缝漏磁检测中的表面形貌测量和扣除方法-CN202011039108.3在审
发明人：覃荣江;卢永雄;陈阮;吕敏;袁阳斌;刘洪昌;黄威;王康 -专利权人：广东省特种设备检测研究院茂名检测院;西红柿科技（武汉）有限公司
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G01N27/83 文献下载
摘要：本发明适用于无损检测技术领域，提供一种管道焊缝漏磁检测中的表面形貌测量和扣除方法，所述方法包括：通过背磁测量方式或者电容测量方式获取焊缝的表面形貌；将焊缝的表面形貌进行定量，得到定量的表面形貌深度数据；利用漏磁检测技术获取焊缝的漏磁数据，结合所述漏磁数据对表面形貌深度数据进行扣除，得到焊缝的真实缺陷深度数据。本发明在表面形貌定量的基础上，结合漏磁检测技术获取漏磁数据，能够有效地扣除因为焊缝表面形貌所引起的漏磁数据变化，能够获得比较纯净的焊缝真实缺陷深度数据，因而实现对焊缝的快速漏磁检测，提高焊缝漏磁检测的准确度和检测效率
一种管道焊缝检测中的表面形貌测量扣除方法

[发明专利]基于二维激光位移传感器的砂轮三维形貌测量方法-CN201210209812.8无效
发明人：李郝林;迟玉伦 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2012-06-25 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于二维激光位移传感器的砂轮三维形貌测量方法，包括：(1)机床砂轮表面三维形貌测量；(2)砂轮表面三维测量数据的处理；(3)砂轮表面三维形貌结果显示。该发明专利可有效方便测量出砂轮表面三维形貌数据，对数据处理后绘制出的砂轮三维图形非常有助于帮助工人了解磨削加工中砂轮的微观形貌结构组成变化，对定量分析砂轮表面三维形貌特征提供了依据。
基于二维激光位移传感器砂轮三维形貌测量方法

[发明专利]一种钛合金车削加工三维表面形貌分析方法-CN201910183777.9在审
发明人：刘二亮;蓝朝锐;徐国兴;王宁 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本发明提供一种钛合金车削加工三维表面形貌分析方法，对待测表面进行区域选择，并记录其车削表面三维数据f(x,y)。利用小波分析对三维数据f(x,y)进行小波分解、重构及频率信号分类，运用表征参数对车削表面形貌进行分析。本发明基于小波变换理论对钛合金表面形貌进行分析，并对小波变换分解的信号通过计算小波能量对频率信号进行分类及重构三维形貌图，通过计算理论数据与分析信号对比，满足对钛合金车削表面形貌的完整分析。本发明从小波分析出发，采用小波变换的方法使表面形貌分解为不同频率的信号，然后对频率进行分类，并重构信号与原始三维形貌图进行对比分析，利用表面形貌表征参数对各频段的三维形貌进行分析，能够完整的分析出钛合金车削表面形貌的特征，以及各频段表面形貌的特征。
钛合金表面形貌车削表面形貌小波变换分析三维表面形貌三维形貌图表征参数车削加工频率信号三维数据频段重构分类分解对比分析分析信号理论数据区域选择三维形貌完整分析小波分解小波分析小波能量信号通过重构信号记录

[发明专利]一种基于量测数据的半导体硅片表面形貌模型预测方法-CN202211049335.3在审
发明人：王磊 -专利权人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G06T17/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于量测数据的半导体硅片表面形貌模型预测方法，包括如下步骤：S1、获取一片直径为D的硅片在量测机台中按直线排列分布的原始量测数据；S2、将原始量测数据转换为二进制数据；S3、构造硅片极坐标参数模型；S4、构造硅片笛卡尔坐标参数模型；S5、构造硅片表面形貌的多维栅格结构模型；S6、构造量测参数信息模型；S7、建立硅片表面形貌预测算法模型；S8、计算硅片表面形貌参数；S9、生成硅片表面形貌图。本发明能对硅片的表面形貌进行预测，获得的表面形貌图精确度高，方便使用者进行可视化观察，有利依此对硅片进行整体表面形貌质量评估，针对生产制作过程中可能出现的问题提前加以修改，从而提高硅片良率。
一种基于数据半导体硅片表面形貌模型预测方法

[发明专利]半导体元件制造方法-CN201910572254.3在审
发明人：叶雅雯;沈育佃;黄世钧;张博钦;林纬良;严永松;吴伟豪;林立德;林斌彦;刘如淦 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：测量薄膜的表面形貌，并将表面形貌存储为形貌数据。使用方向性蚀刻执行局部蚀刻，并扫描基板，使得薄膜的整个表面承受方向性蚀刻。根据形貌数据调整方向性蚀刻的电浆束强度。
方向性蚀刻表面形貌底层结构形貌数据薄膜半导体元件制造测量薄膜局部蚀刻扫描基板整个表面电浆束基板存储

[发明专利]一种银线型触头烧蚀区域形貌三维粗糙度表征方法-CN202110730278.4有效
发明人：李文华;赵培董;王景芹 -专利权人：河北工业大学
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本申请提供一种银线型触头烧蚀区域形貌三维粗糙度表征方法，包括获取触头表面形貌图像以及表面形貌图像对应的原始点云数据集；提取触头表面形貌图像上的触头烧蚀区域轮廓；将触头烧蚀区域轮廓映射至原始点云数据集，得到与触头烧蚀区域对应的烧蚀区域点云数据集；拟合烧蚀区域点云数据集，得到触头表面形貌的基准面；计算烧蚀区域点云数据集与基准面上对应点处的高度偏差，得到校正后点云数据集；计算校正后点云数据集对应的触头烧蚀区域形貌三维粗糙度的表征参数。该方法可避免包含大量无关数据，结果准确，误差较小，得到的表征参数可精准表征银线型触头烧蚀区域形貌三维粗糙度，对于研究触头表面功能特性及继电器可靠性具有十分重要的意义。
一种线型触头烧蚀区域形貌三维粗糙表征方法

[发明专利]一种刻蚀图形的分析系统及方法-CN201910148632.5有效
发明人：郭奥;康晓旭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种刻蚀图形的分析方法，包括如下步骤：S01：形成截面预测模型；S02：将待分析晶圆的表面形貌图输入所述刻蚀图形分析系统中，采用图像提取算法分别对待分析晶圆的表面形貌图中的白边图形进行数据提取，得出待分析晶圆的白边图形数据；S03：将待分析晶圆的白边图形数据传输至所述截面预测模型进行预测，并输出待分析晶圆的预测截面形貌图。本发明提供的一种刻蚀图形的分析系统及方法，从刻蚀图形的表面形貌图中提取白边图形数据，并根据白边图形数据以及量测的实际截面形貌图建立截面预测模型，从而利用该模型以及刻蚀图形的表面形貌图实现对刻蚀图形的截面形貌图的预测
一种刻蚀图形分析系统方法

[发明专利]用于光刻表面形貌测量的系统和方法-CN202210156747.0在审
发明人：李永尧;汪业勤;朱延安;陈永祥;陈永镇 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例涉及用于光刻表面形貌测量的系统和方法。一种表面形貌测量的方法包含：提供工件至半导体设备，所述工件包括材料层，其中所述材料层包含沿着第一轴延伸的多个区域；沿着所述第一轴在第一方向上扫描所述工件以产生第一形貌测量数据；沿着所述第一轴在第二方向上扫描所述工件以产生第二形貌测量数据；及根据所述第一形貌测量数据与所述第二形貌测量数据对所述材料层执行曝光操作。
用于光刻表面形貌测量系统方法

[发明专利]一种基于3D视觉传感的焊件表面缺陷在线检测方法及装置-CN202210254059.8在审
发明人：吴路路;朱明生;王园;熊新炎;邹华伟;江本赤 -专利权人：安徽工程大学
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本说明书一个或多个实施例提供的一种基于3D视觉传感的焊件表面缺陷在线检测方法及装置，基于3D视觉检测技术，首先获取需要进行质量检测的焊件表面3D空间坐标数据，并将其转换为基于焊缝坐标系的标准3D空间坐标数据，再采用表面插值方法重构焊件表面3D形貌，将所述焊件表面3D形貌划分成焊缝表面形貌和组件表面形貌，并获取焊缝截面形貌和组件截面形貌，最终基于所述焊件表面3D形貌、焊缝截面形貌以及组件截面形貌，识别焊件表面缺陷
一种基于视觉传感表面缺陷在线检测方法装置

[发明专利]一种大平面工件的表面形貌测量装置及其方法-CN202211508935.1在审
发明人：胡烺;贺贤汉;叶国卿;冯博;黄家剑 -专利权人：上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种大平面工件的表面形貌测量装置及其方法。表面形貌测量方法，其包括：步骤1：在工件所需测量平面上选取若干特定直线路径作为测量路径，测量每个直线路径的平坦度曲线数据；步骤2：从所述若干测量路径的平坦度曲线数据中筛选出有效数据；步骤3：对所述有效数据依次进行以下处理：发现并填充离群值，删除缺失数据，从数据中去趋势，对含噪声的数据进行平滑处理，以及对数据进行填充与比例缩放；步骤4：在所述若干测量路径间，沿所述若干特定路径进行曲面插值拟合；步骤5：在三维直角坐标系中按照实际位置绘制全平面表面形貌本发明提供了一种高精度模拟大平面表面形貌的测量方法，从而得到整个平面精度较高的表面形貌。
一种平面工件表面形貌测量装置及其方法

[发明专利]一种带钢表面形貌分布均匀性的指标处理方法及系统-CN202211210265.5在审
发明人：王鑫鑫;于洋;任新意;王永强;于孟;文杰;王林;李宫胤;林海海;张亮亮;刘朋;王春海 -专利权人：首钢集团有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G01B21/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种带钢表面形貌分布均匀性的指标处理方法及系统，针对目前尚无用于评价带钢表面形貌分布均匀性的指标的问题，本实施例通过获取带钢表面在测量范围内的若干高度数据，并对若干高度数据进行插值、傅里叶变换处理得到幅值谱，再基于幅值谱得到数据的频率集中度，用以作为表征带钢表面形貌分布均匀性的指标，进而解决目前评价带钢表面形貌分布均匀性的指标缺失问题。
一种带钢表面形貌分布均匀指标处理方法系统

[发明专利]一种零部件表面几何形貌特征测量方法-CN202210976617.1在审
发明人：张亚龙;吴鲁纪;杨林杰;孙毅博;吕永鑫 -专利权人：郑州机械研究所有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种零部件表面几何形貌特征测量方法，首先，获取零部件表面的三维形貌特征图，再基于三维形貌特征图，在三维形貌特征表面划分线条，提取线条空间位置的二维轮廓曲线；其次，将二维轮廓曲线转化为三维空间，择取二维轮廓曲线中的最大值和最小值；然后，绘制最大值和最小值的数据轮廓曲线以及数据分布带，再基于数据分布带评价零部件的表面几何特征。本发明能够全面覆盖零部件表面几何形貌特征的所有数据点，具有更高的测量精度。
一种零部件表面几何形貌特征测量方法

[发明专利]零件表面形貌三维高密度点云数据转化为灰度图像的方法-CN201210046615.9有效
发明人：杜世昌;王猛;奚立峰;陈晓波;肯特 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2012-02-27 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：零件表面形貌三维高密度点云数据转化为灰度图像的方法。属于零件表面形貌检测和点云数据处理技术领域。本发明方法包括：首先，通过三维高分辨率表面形貌测量技术测量零件表面得到三维高密度点云数据。然后，利用MATLAB软件读入三维高密度点云数据，通过插值命令将点云数据的Z坐标值转换为栅格各点的值，存储为二维矩阵I，并剔除矩阵I中不属于零件表面的元素。最后将矩阵I转换为灰度图像。本发明生成的灰度图像，能够覆盖整个零件表面，有效的反映零件表面整体形貌和加工纹理，改进了传统图像采集系统需通过局部图像匹配、拼接获取零件表面全貌的缺点和三维高分辨率表面形貌测量技术反映加工纹理特征方面的不足
零件表面形貌三维高密度数据转化灰度图像方法

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