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[实用新型]人造板制胶过程中产生的腐蚀性气体的处理系统-CN201820725703.4有效
发明人：练剑波;周海;范李 -专利权人：桂林汇东机械设备有限公司
申请日： 2018-05-15 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种人造板制胶过程中产生的腐蚀性气体的处理系统，包括：用于制胶的胶水釜、腐蚀性气体处理塔，所述胶水釜制胶过程中产生的腐蚀性气体通过腐蚀性气体进气管道输入至所述腐蚀性气体处理塔内，所述腐蚀性气体处理塔侧壁上设有废气进口，所述腐蚀性气体处理塔的底部侧壁上设有排水口，所述排水口设置在所述废气进口下方；所述腐蚀性气体处理塔内由下至上依次设有用于喷洒水的多个喷洒管、腐蚀性气体吸收填料区、活性炭吸附区，所述腐蚀性气体处理塔的侧壁上设有与所述的喷洒管连通的进水口，所述的喷洒管设置在所述废气进气口上方，所述腐蚀性气体处理塔的顶部设有出气口。
腐蚀性气体处理腐蚀性气体制胶喷洒管处理系统废气进口胶水排水口人造板活性炭吸附区本实用新型废气进气口底部侧壁进气管道出气口进水口塔侧壁填料区侧壁连通喷洒吸收

[发明专利]化学汽相淀积装置及其净化方法和半导体制造装置-CN00131310.X有效
发明人：长谷川博之;山冈智则;石原良夫;增崎宏;佐藤贵之;铃木克昌;德永裕树 -专利权人：三菱麻铁里亚尔硅材料株式会社;日本酸素株式会社
申请日： 2000-08-31 - 公布日： 2003-12-24 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：为了能高效率地进行保养后的净化处理，同时能可靠地知道净化处理的结束，缩短净化处理所需要的时间，进行CVD装置的恢复，在保养后的加热流通净化处理时，把混合了热传导系数高的气体和惰性气体的气体作为净化气体来使用在半导体膜形成前的净化处理中，多次重复进行抽真空和惰性气体的导入。此外，为了判断在反应室内进行腐蚀性气体处理的半导体制造装置的适当保养时期，按照重复进行腐蚀性气体处理时的水分浓度的变化来决定所述腐蚀性气体的保养时期。
化学汽相淀积装置及其净化方法半导体制造

[发明专利]化学汽相淀积装置的净化方法-CN200310102823.7有效
发明人：长谷川博之;山冈智则;石原良夫;增崎宏;佐藤贵之;铃木克昌;德永裕树 -专利权人：三菱住友硅晶株式会社;日本酸素株式会社
申请日： 2000-08-31 - 公布日： 2004-05-19 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：为了能高效率地进行保养后的净化处理，同时能可靠地知道净化处理的结束，缩短净化处理所需要的时间，进行CVD装置的恢复，在保养后的加热流通净化处理时，把混合了热传导系数高的气体和惰性气体的气体作为净化气体来使用在半导体膜形成前的净化处理中，多次重复进行抽真空和惰性气体的导入。此外，为了判断在反应室内进行腐蚀性气体处理的半导体制造装置的适当保养时期，按照重复进行腐蚀性气体处理时的水分浓度的变化来决定所述腐蚀性气体的保养时期。
化学汽相淀积装置净化方法

[发明专利]半导体制造装置的保养时期判断方法-CN200510084697.6有效
发明人：长谷川博之;山冈智则;石原良夫;增崎宏;佐藤贵之;铃木克昌;德永裕树 -专利权人：株式会社上睦可;大阳日酸株式会社
申请日： 2000-08-31 - 公布日： 2006-11-01 - 主分类号： G01N21/39 文献下载
摘要：为了能高效率地进行保养后的净化处理，同时能可靠地知道净化处理的结束，缩短净化处理所需要的时间，进行CVD装置的恢复，在保养后的加热流通净化处理时，把混合了热传导系数高的气体和惰性气体的气体作为净化气体来使用在半导体膜形成前的净化处理中，多次重复进行抽真空和惰性气体的导入。此外，为了判断在反应室内进行腐蚀性气体处理的半导体制造装置的适当保养时期，按照重复进行腐蚀性气体处理时的水分浓度的变化来决定所述腐蚀性气体的保养时期。
半导体制造装置保养时期判断方法

[实用新型]自动控制的气体腐蚀测试装置-CN200920105257.8有效
发明人：党建军 -专利权人：北京康泰丰源科技发展有限公司
申请日： 2009-01-19 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动控制的气体腐蚀测试装置，包括腐蚀性气体压力测量仪、腐蚀性气体自动调节阀和腐蚀性气体流量计，分别用于测量腐蚀性气体的压力，调节和测量腐蚀性气体的流量；氮气压力测量仪、氮气自动调节阀和氮气流量计，分别用于测量氮气的压力，调节和测量氮气的流量；还包括控制器，所述控制器根据氮气的流量值控制所述氮气自动调节阀的开度，根据腐蚀性气体的流量值控制所述腐蚀性气体自动调节阀的开度。本实用新型能使腐蚀性气体以及氮气稳定地输出到反应器，从而确保腐蚀性气体测试的试验数据精确、测试过程安全以及测试结果科学。
自动控制气体腐蚀测试装置

[发明专利]地热全流程腐蚀速率校正方法-CN202110340812.0有效
发明人：张亮;耿松鹤;杨林超;何川;温荣华 -专利权人：中国石油大学（华东）
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种地热全流程腐蚀速率校正方法，其步骤为：S1、根据地热开发系统的类型，确定关键节点的位置；S2、计算关键节点处的腐蚀性气体的腐蚀速率；S3、根据腐蚀性气体的腐蚀速率计算腐蚀性气体的消耗速率；S4、根据腐蚀性气体的消耗速率计算各个关键节点处剩余的腐蚀性气体的分压；S5、根据步骤S4中得到的腐蚀性气体的分压，重复步骤S2，更新各个关键节点处的腐蚀性气体的腐蚀速率，根据全流程内前后两次计算得到的腐蚀性气体的腐蚀速率计算腐蚀速率方差EV，若EV＜1％，完成校正，否则按照更新后的腐蚀性气体的腐蚀速率，重复步骤S3‑S5，迭代计算腐蚀性气体的腐蚀速率，本发明提高全流程内腐蚀风险预测的准确性。
地热流程腐蚀速率校正方法

[发明专利]一种具有保护功能的电子鼻气体检测系统-CN201610517175.9在审
发明人：魏善碧;石华云;赵中甲;白岩松;赵晓航;邓家林 -专利权人：重庆大学
申请日： 2016-07-04 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明完成了一种具有保护功能的电子鼻气体检测系统，通过相应的硬件，路由算法，协议栈的改进，实现高健壮性的物联网络，实现对气体的实时监测，并且在完成气体识别和浓度获得的前提下，设计了自我保护措施来应对腐蚀性气体对传感器的损害，具体步骤如下：在检测到有腐蚀性气体后，处理器控制关闭传感器节点电源，进气阀门与真空泵相协调，关闭进气阀门，阻挡腐蚀性气体的进入，控制加大真空泵的功率，让气室内的腐蚀性气体快速排出，减少传感器节点与腐蚀性气体的接触，通过抽风量对反应室内气体浓度估算，达到标准后恢复正常工作，以完成自保护功能。
一种具有保护功能电子气体检测系统

[实用新型]一种可净化腐蚀性气体的真空气阀总成-CN202120522185.8有效
发明人：徐伟刚;范辉 -专利权人：陕西兴盛新材料股份有限公司
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种可净化腐蚀性气体的真空气阀总成。所述可净化腐蚀性气体的真空气阀总成包括：阀体；所述阀体的正面设置有腐蚀性气体吸附净化装置，所述腐蚀性气体吸附净化装置包括外壳和多种滤料，所述多种滤料分级填充于所述外壳的内部，所述腐蚀性气体吸附净化装置的正面设置有筏片本实用新型提供的可净化腐蚀性气体的真空气阀总成，通过腐蚀性气体吸附净化装置的设置能够对排出气体进行分级过滤净化，降低对大气造成污染，而且多种滤料分级填充，可便于分级更换，而且可根据需求不同选择合适的滤料，真空气阀总成采用钛制，降低腐蚀性气体对阀体结构的腐蚀性破坏，使其更为经久耐用。
一种净化腐蚀性气体真空气阀总成

[发明专利]处理装置-CN201080012229.7有效
发明人：守谷修司;进藤丰彦;田村登 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-03-30 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供一种处理装置。其包括用于对被处理体进行处理的处理容器，其包括：气体供给流路，其至少一部分由金属构成，并且用于将含有卤素的腐蚀性气体向上述处理容器内供给；稳定化反应处理部，其具有能量产生器和障碍物中的至少一种，该能量产生器用于向在上述气体供给流路的金属部分中流过的上述腐蚀性气体供给光能或者热能，该障碍物被设置成通过使在上述气体供给流路的金属部分中流过的上述腐蚀性气体与该障碍物碰撞而产生作用于上述腐蚀性气体的碰撞能量，该稳定化反应处理部用于进行利用上述光能、热能以及碰撞能量之中的至少一种使包含上述腐蚀性气体所含有的卤素和上述金属的化合物稳定化的反应；捕捉部件，其用于对在上述稳定化反应处理部中被稳定化的化合物进行捕捉。
处理装置

[发明专利]腐蚀性气体浓度监测系统以及方法-CN202110281350.X在审
发明人：高志良;程千钉;苏新光;李高峰;曾国梁;熊国鸿;胡万照;张平平 -专利权人：北京航天河科技发展有限公司
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01N15/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种腐蚀性气体浓度监测系统以及方法，属于腐蚀性气体浓度监测技术领域。本申请提出一种腐蚀性气体浓度监测系统，包括：腐蚀性气体监测装置和室外颗粒物浓度监测装置；控制装置，当腐蚀性气体监测装置监测到室外的腐蚀性气体浓度超过室外腐蚀性气体浓度阈值和/或室外颗粒物浓度监测装置监测到室外的颗粒物浓度超过室外颗粒物浓度阈值时本申请还提出一种腐蚀性气体浓度监测方法。使用该腐蚀性气体浓度监测系统进行精密环境的大气环境监控，能够在室外空气超标后切断空调设备的新风入口，从而在第一时间防护室内环境。
腐蚀性气体浓度监测系统以及方法

[实用新型]一种采用多级吸收腐蚀性气体的化工装置-CN202122727948.5有效
发明人：赵颖 -专利权人：湖北腾辰科技股份有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了化工生产设备安全环保技术领域的一种采用多级吸收腐蚀性气体的化工装置，包括进气管和若干组连通管，所述进气管的底端连通有腐蚀性气体缓冲罐，所述腐蚀性气体缓冲罐的顶端通过连通管连通除雾罐的内腔，且除雾罐通过连通管连通一级吸收塔，所述一级吸收塔的出气口通过连通管连通二级吸收塔，所述二级吸收塔的出气口通过连通管连通腐蚀性液体缓冲罐，所述腐蚀性液体缓冲罐的出口通过连通管连通三级吸收塔，所述三级吸收塔的一侧设有风机，且风机通过水管连通三级吸收塔，本实用新型可多重吸收处理腐蚀性气体，提高了对腐蚀性气体的吸收效率，且缓冲罐对腐蚀性气体起到缓冲作用，避免气体直接进入吸收塔造成吸收不充分气体外溢。
一种采用多级吸收腐蚀性气体化工装置

[实用新型]一种能检测腐蚀性气体的FFU装置-CN202122861204.2有效
发明人：许业文 -专利权人：苏州英文净化科技有限公司
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种能检测腐蚀性气体的FFU装置，包括过滤箱、第一进气管、第二进气管、腐蚀气体检测仪、锥型罩、风机、过滤芯和中和雾化箱。本申请结构合理，通过将腐蚀气体检测仪的检测感应部位位于短管内部，同时在风机运行向锥型罩内部排风作用下，能够对进入的气流进行腐蚀性气体的检测，通过在内置智能控制系统作用下第一电磁阀关闭而第二电磁阀打开，能够将腐蚀性气体导入至中和雾化箱内，同时运行水泵并在中和雾化箱内分布的雾化喷管作用下，能够形成雾化分散的中和液，便于充分中和掉腐蚀性气体中的化学成分，实现对腐蚀性气体检测及分出处理的功能。
一种检测腐蚀性气体 ffu 装置

[发明专利]一种能够防气蚀的脱硫泵-CN202310613156.6有效
发明人：肖家杰;肖元飞;王道连 -专利权人：铁氟龙防腐科技（江苏）有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： F04D7/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种能够防气蚀的脱硫泵技术领域，具体为一种能够防气蚀的脱硫泵，所述分离气体组件上方设置有气体抽取增压组件，气体抽取增压组件可对腐蚀性气体进行抽取，并朝向上方对腐蚀性气体进行增压输送，在底部贴合盘带着顶动杆向上移动时，顶动杆会对抽取杆进行顶动，此时的处于中转圆筒内部的腐蚀性气体会被抽取一部分，这样即可增加每次腐蚀性气体所处理的量随着底部贴合盘的持续移动，底部贴合盘会对贯穿圆筒密封，并带着贯穿圆筒向上移动，此时的延伸圆筒内部的防腐蚀气体得到增压，便于推着防腐性气体向上移动，有效避免防腐性气体聚集在中转圆筒的内部，也避免了气体与液体的再次混合。
一种能够气蚀脱硫

[实用新型]热防护涂层抗热腐蚀性能的测试装置-CN201120239857.0有效
发明人：高彦峰;汤晓萍;罗宏杰;陈宏飞 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2011-07-08 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G01N17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种热防护涂层抗热腐蚀性能的测试装置，包括腐蚀性气体发生装置、样品检测区和样品分析装置，其中所述腐蚀性气体发生装置产生的腐蚀性气体通过腐蚀性气体输送通道输送至样品检测区，所述腐蚀性气体发生装置包括水蒸汽发生器和熔盐蒸汽发生器本实用新型的热防护涂层抗热腐蚀性能的测试装置可综合考虑到服役温度、水蒸汽和腐蚀性熔盐蒸汽等多种环境因素，可很好地模拟涂层的实际服役环境。
防护涂层抗热腐蚀性能测试装置

[发明专利]金属制构件的腐蚀降低方法-CN201680003826.0在审
发明人：丸田秀平;佐佐木唯;星野恭之 -专利权人：昭和电工株式会社
申请日： 2016-03-08 - 公布日： 2017-08-01 - 主分类号： C23F15/00 文献下载
摘要：提供一种低成本、充分且切实地使接触时被吸附在金属制构件表面的腐蚀性气体脱附，从而降低金属制构件的腐蚀的方法。使预先加热了的脱附用气体接触金属制构件的表面之中的接触过腐蚀性气体的接触面，使被吸附在接触面的腐蚀性气体脱附。由此降低由腐蚀性气体的接触导致的金属制构件的腐蚀。
金属构件腐蚀降低方法

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