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[实用新型]籽晶杆-CN02285894.6无效
发明人： -专利权人：
申请日： 2002-11-21 - 公布日： 2003-10-08 - 主分类号： C30B15/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种籽晶杆，用于拉制半导体晶体时夹持籽晶。其包括一杆体，在所述杆体的上端设有与设备连接的连接结构，其特点为：所述杆体具有一纵向贯通的空腔，且位于所述杆体的下端的空腔二相对于其上方的空腔一呈收缩状。解决了现有籽晶杆装置结构复杂、不易于安装的问题，同时克服了现有技术中籽晶固定不牢固的问题，以及籽晶用定位销固定，出炉后不易取下籽晶的问题，同时防止了籽晶杆在晶体生长过程中摆动对晶体生长质量的影响。
籽晶

[发明专利]伸缩籽晶杆-CN201410490282.8在审
发明人：吕立强 -专利权人：上海朗兆机电设备有限公司
申请日： 2014-09-23 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： C30B15/34 文献下载
摘要：本发明伸缩籽晶杆，包括：籽晶杆套，籽晶杆套为中空设计；导向销，导向销设置在籽晶杆套内；籽晶杆，籽晶杆设置在籽晶杆套的内腔；籽晶杆的一端从下部与导向销连接；拉绳，拉绳设置在籽晶杆套的内腔；籽晶杆的一端从上部与导向销连接在籽晶杆套内设有导向槽，导向槽沿着籽晶杆套的轴向设置。拉绳为钨绳。本发明将晶体生长行程和晶体出炉行程分开，为此设计的籽晶杆套，可使籽晶杆可以在中间上下运动，部分运动精度不是很高，这种籽晶杆上下运动用在晶体出炉时；籽晶杆相对籽晶杆套停在一个适当的位置时，相对静止成为一体，籽晶杆和籽晶杆套一起做精度更高的上下运动，这段更高精度的运动可以应用于晶体生长阶段。
伸缩籽晶

[实用新型]一种大尺寸蓝宝石单晶炉的籽晶杆结构-CN201820595736.1有效
发明人：左洪波;杨鑫宏;李铁;袁帅 -专利权人：哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种大尺寸蓝宝石单晶炉的籽晶杆结构，该结构整体由籽晶杆、籽晶夹总成、籽晶杆内螺纹套筒和籽晶夹内螺纹套筒组成。籽晶夹总成由籽晶连杆和籽晶夹组成，籽晶夹总成的上端设有倒三角型镂空结构，籽晶杆的下端设有倒三角型结构。安装时，将籽晶杆的下端与籽晶夹总成的上端的结构进行插接，使用籽晶杆内螺纹套筒将两结构固定。安装籽晶时，籽晶与籽晶夹进行装配，使用籽晶夹内螺纹套筒将两结构固定。本实用新型籽晶杆结构可以提高籽晶杆与籽晶夹总成的连接强度，保证晶体的稳定生长，同时提高籽晶夹总成的寿命，从而降低综合成本。
籽晶夹籽晶杆内螺纹套筒籽晶大尺寸蓝宝石单晶本实用新型上端下端倒三角型结构降低综合成本倒三角型结构整体镂空结构晶体的插接装配生长保证

[发明专利]降低氧化镓晶体生长挥发物方法及籽晶提拉装置和应用-CN202211457952.7在审
发明人：胡开朋;吕进;吴忠亮 -专利权人：北京铭镓半导体有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请涉及氧化镓晶体技术领域，具体公开了一种降低氧化镓晶体生长挥发物方法及籽晶提拉装置和应用。降低氧化镓晶体生长挥发物方法，包括籽晶提拉装置，籽晶提拉装置包括籽晶内杆，籽晶内杆的底端用于固定籽晶，籽晶内杆的外周面套设有籽晶外杆，籽晶外杆呈顶端开口、底端封口且内部中空的圆柱状，籽晶外杆的内直径大于籽晶内杆的直径，籽晶外杆底端开设有与籽晶相适配的通孔，籽晶内杆沿籽晶外杆长度方向移动并带动籽晶于通孔内移动。在引晶前，利用籽晶外杆、籽晶内杆的相互配合，使籽晶外周面粘结的挥发物脱落，解决了籽晶外周面粘结挥发物影响成晶率的问题。同时，籽晶提拉装置还具有结构简单，成本低的优点，创造了较高的经济效益。
降低氧化晶体生长挥发物方法籽晶装置应用

[实用新型]籽晶杆装置-CN01219207.4无效
发明人：屠海令;王永鸿;钱嘉裕;宋萍;张峰燚 -专利权人：北京有色金属研究总院
申请日： 2001-04-06 - 公布日： 2002-02-13 - 主分类号： C30B15/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种籽晶杆装置,属于半导体晶体生长设备技术领域。籽晶杆装置由上籽晶杆和下籽晶杆组成,上籽晶杆是实心杆,下籽晶杆是空心管状杆,上籽晶杆的下端带有联接杆,联接杆与下籽晶杆的上端的联接孔配合联接,并用销子穿过联接杆和联接孔,下籽晶杆下端带有籽晶安装孔,其上带有定位销孔这种籽晶杆在使用时热变形小,密封性好,对中性强,转动平稳不摆动。
籽晶装置

[发明专利]一种抗抖动的籽晶杆装置-CN202310784337.5在审
发明人：刘荣荣;李海林;李金;武欢;佘建军 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗抖动的籽晶杆装置，包括竖直设置的籽晶杆以及竖直设于籽晶杆上端的籽晶，在籽晶杆上端设有导向套筒，所述导向套筒套设在籽晶杆上，便于在籽晶杆竖直方向移动过程中对籽晶杆进行导向，导向套筒顶端封闭且导向套筒顶端设有供籽晶通过的过孔该籽晶杆装置的结构稳定性高，能对籽晶杆和籽晶进行有效导向和扶持，减小抖动，从而能用于制备小直径、大尺寸且高质量的单晶光纤。
一种抖动籽晶装置

[发明专利]双螺旋籽晶杆设备及使用该设备的晶体生长炉-CN201310077974.5在审
发明人：丁雨憧;马兆远 -专利权人：北京志光伯元科技有限公司
申请日： 2013-03-12 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： C30B15/32 文献下载
摘要：双螺旋籽晶杆设备及使用该设备的晶体生长炉。一种能够避免晶体生长过程中籽晶杆断裂损坏生长炉坩埚的新型籽晶杆设备。它是在晶体生长炉保温盖上连接籽晶杆，将籽晶杆下端与籽晶夹头上端用同方向的螺旋套管固定起来，籽晶夹头与籽晶连接。使用双螺旋籽晶杆的晶体生长炉，在晶体生长过程中，籽晶杆，籽晶夹头，螺纹套管和籽晶共同以顺时针方向旋转，当停止工作时，用扳手向上旋转螺纹套管，将籽晶夹头及其所连接的大尺寸晶体脱离籽晶杆，实现晶体的安全简便脱离本发明专利的优势在于操作简单，移除方便，避免了生长炉籽晶杆的破坏，节约了生产成本。
双螺旋籽晶设备使用晶体生长

[实用新型]一种自调节的籽晶杆结构-CN201420592497.6有效
发明人：刘瑜;陈晓玲 -专利权人：杭州晶一智能科技有限公司
申请日： 2014-10-14 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种自调节的籽晶杆结构，设置上籽晶杆（1）和下籽晶杆（5），所述的上籽晶杆（1）的末端设置螺丝杆（2），所述的下籽晶杆（5）的顶端设置球头（4），所述的球头（4）上设置螺帽（3），所述的螺帽（3），通过所述的螺丝杆（2）安装在所述的上籽晶杆（1）上，因此所述的下籽晶杆（5）可以自由摆动。所述的上籽晶杆（1）为不锈钢材质，所述的下籽晶杆（5）为钼制。所述的下籽晶杆（5）为所述的上籽晶杆（1）长度的1/5，晶体生长时所述的下籽晶杆（5）在晶体炉内。所述的下籽晶杆（5）的末端设置螺丝杆（6），用于安装籽晶夹头。本实用新型使用了钼制的下籽晶杆既可以自由的进出炉体，又可以自动调节垂直，保证晶体生长方向的一致，减少水平调节的时间。
一种调节籽晶结构

[实用新型]一种长晶治具-CN201921744520.8有效
发明人：余剑云;杨胜裕;陈建明;林仲和;刘艺霖 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2019-10-17 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：一种长晶治具，用于熔体籽晶法单晶生长炉中固定籽晶，长晶治具包括用作冷却的籽晶杆、固定籽晶杆的夹套以及夹持籽晶的籽晶夹具；籽晶杆和夹具具有相对应的螺纹，夹套承接籽晶夹具和籽晶杆，夹套与籽晶杆包括螺纹连接和卡扣连接，用以提高工业化生产中治具的可靠性，避免长晶过程中，夹套和籽晶杆脱离造成的损失。
一种长晶治具

[发明专利]一种简易加固籽晶的方法-CN201610047119.3在审
发明人：王昌运;陈伟 -专利权人：福建福晶科技股份有限公司
申请日： 2016-01-25 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： C30B29/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种简易加固籽晶的方法，熔体温度高于晶体生长温度5~10℃，将固定好籽晶的籽晶杆下移，直到籽晶和籽晶杆接触面进入熔体，然后迅速提起籽晶杆直至籽晶脱离液面，利用高温熔体填充、包围籽晶和籽晶杆的接触面，遇冷凝固，使籽晶和籽晶杆牢牢结合，加固籽晶，有效防止大尺寸晶体毛坯拗断，该方法简单易行。
一种简易加固籽晶方法

[实用新型]蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆-CN201220180068.9有效
发明人：徐雳;石连升;肖飞 -专利权人：哈尔滨晶石光电技术有限公司
申请日： 2012-04-26 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆。在Al2O3单晶晶棒(蓝宝石)用生长炉中籽晶杆用来夹持籽晶，但是现有籽晶杆装置具有结构复杂，不易于安装的问题。一种蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆，其组成包括:实心上籽晶杆（7），所述的实心上籽晶杆连接联接杆(5),所述的联接杆插入空心下籽晶杆（1）内,所述的联接杆前端部与所述的空心下籽晶杆前端部之间装有弹簧(6),所述的联接杆连接下腔结构（4）,所述的联接杆尾部具有籽晶安装孔（2）。本实用新型用于拉制蓝宝石晶体时夹持籽晶。
蓝宝石单晶晶棒生长籽晶

[发明专利]一种籽晶夹结构-CN201210532876.1有效
发明人：左洪波;杨鑫宏 -专利权人：哈尔滨秋冠光电科技有限公司
申请日： 2012-12-11 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： C30B15/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种籽晶夹结构。它包括联接件、籽晶联接杆和籽晶夹头，联接件上部为带内螺纹圆柱，并与外界提拉机构相连，联接件下部为带内螺纹的倒锥形，与籽晶杆相连；籽晶联接杆为两端带外螺纹的圆柱形钼杆，圆柱形钼杆上端与联接件相连，下端与籽晶夹头相连；籽晶夹头包括两部分。本发明可以有效固定籽晶，防止籽晶脱落，籽晶与籽晶夹头、籽晶联接杆同轴生长大尺寸单晶，不会产生偏心问题。另外，其对称结构也有利于籽晶受热更均匀，减少应力集中。
一种籽晶结构

[实用新型]一种可实现称重自卸载的籽晶杆-CN201520011467.6有效
发明人：刘瑜;胡轩;杜慧江 -专利权人：杭州晶一智能科技有限公司
申请日： 2015-01-08 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：公开一种可实现称重自卸载的籽晶杆结构，包括容腔（1）、顶盖（2），吸合装置（3）、称重传感器（4）、籽晶杆支架（5），上籽晶杆（7）和下籽晶杆（11），所述的上籽晶杆（7）的头部设置第一螺丝杆（9），所述的螺丝杆（9）的下部设置支撑圆台（6），所述的上籽晶杆（7）和下籽晶杆（11）之间设置球头结构（10），所述的下籽晶杆（11）的下端设置第二螺纹杆（12），所述的籽晶杆支架（5）设置螺纹孔，所述的上籽晶杆（7）的第一螺丝杆（9）与所述的籽晶杆支架（5）的螺纹孔连接，所述的上籽晶杆（7）设置在所述的容腔（1）的底部开孔内，所述的上籽晶杆（7）的支撑圆台（6）的外径尺寸设置为大于所述的容腔（1）的底部开孔的内径。
一种实现称重卸载籽晶

[实用新型]一种籽晶夹持结构-CN201721765713.2有效
发明人：代丽;王路平;邵瑀;韩县博 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2017-12-18 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种籽晶夹持结构，用于夹持籽晶。所述籽晶夹持结构包括：籽晶杆（1）弹性垫片（2）螺孔（3）螺丝（4）籽晶（5）。在籽晶杆的内部沿轴向具有一上下贯通的用于容纳籽晶的方形空腔，所述籽晶杆的一端具有用于固定籽晶的螺孔，所述螺孔沿籽晶杆一周具有四个，间隔一定的距离具有上下两排螺孔，所述的弹性垫片将籽晶包围并置入所述的籽晶杆的方形空腔本实用新型籽晶夹持结构的结构简单，省去了铂金丝捆绑，有效的减少了籽晶夹头的变形，提高了籽晶的固定强度，能够防止籽晶的下滑、脱落、晃动；保证了籽晶与籽晶杆的同心且旋转均匀；操作简单，易于拆卸，有效的提高了工作效率
籽晶杆籽晶螺孔本实用新型弹性垫片方形空腔夹持结构籽晶夹种籽工作效率固定籽晶夹持籽晶上下贯通上下两排籽晶夹头铂金丝螺孔沿并置螺丝轴向拆卸晃动变形捆绑同心包围容纳保证

[实用新型]一种用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置-CN201220493985.2有效
发明人：闫杰;李辉;毛洪英;姜宏伟 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于蓝宝石单晶炉的籽晶装置，包括钨杆、籽晶夹头和籽晶，其中：钨杆与籽晶夹头设有对应的定位孔，钨杆下端通过螺纹与籽晶夹头连接后，通过贯穿钨杆和籽晶夹头定位孔的固定钨丝定位；籽晶夹头与籽晶装配区的一面为开口面，籽晶夹头内部为梯形燕尾槽，籽晶上端为梯形结构，籽晶上端由开口面嵌入籽晶夹头梯形燕尾槽中，并通过捆扎钨丝将它们固定连接。
一种用于蓝宝石单晶炉籽晶装置

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