专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]等离子放电装置-CN201910895153.X在审
  • 关银霞;唐诗雅;王世强;陶彬;刘全桢;孙立富;宫宏 - 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院
  • 2019-09-20 - 2021-03-23 - H05H1/24
  • 本发明实施例提供一种等离子放电装置,属于等离子技术领域。通过将对称格栅式等离子射流装置和介质阻挡放电装置进行耦合,其中,对称格栅式等离子射流装置包括等离子射流放电管,放电管外壁环绕贴覆有两个具有固定间距的第一金属箔电极;介质阻挡放电装置包括对置设置构成等离子交互区的两块绝缘介质平板,两个第二金属箔电极分别贴覆于所述两块绝缘介质平板外表面;使得对称格栅式等离子射流装置和介质阻挡放电装置在同时满足气体放电的条件下产生耦合效应,即在两个第一金属箔电极和两个第二金属箔电极同时获得能量驱动的条件下,等离子交互区的气体分子受到介质阻挡放电等离子射流的耦合激励作用而产生高密度等离子
  • 等离子体放电装置
  • [发明专利]等离子放电装置-CN201210566278.6有效
  • 贾少霞;张宸;杨景华;王守国 - 中国科学院微电子研究所
  • 2012-12-24 - 2014-06-25 - H05H1/46
  • 本发明公开一种等离子放电装置,包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳;所述射频电源与所述射频电极连接;放电装置在工作时,所述金属外壳接地;所述射频电极被介质阻挡层包覆;两个射频电极之间为等离子喷口;所述匀气板位于所述介质阻挡层上方;所述气源提供的工作气体通过由所述匀气板构成的收缩口,到达所述等离子喷口,并在常压下,电源接通后,在所述喷口处形成大面积的辉光等离子等离子在气流的携带下向外喷出本发明避免了散射性放电,提高了放电效率,提高了气流速率,增大等离子喷出喷口的长度,降低了装置对被处理材料的形状等要求。
  • 等离子体放电装置
  • [实用新型]等离子放电装置-CN201220720322.X有效
  • 贾少霞;张宸;杨景华;王守国 - 中国科学院微电子研究所
  • 2012-12-24 - 2013-06-05 - H05H1/46
  • 本实用新型公开一种等离子放电装置,包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳;所述射频电源与所述射频电极连接;放电装置在工作时,所述金属外壳接地;所述射频电极被介质阻挡层包覆;两个射频电极之间为等离子喷口;所述匀气板位于所述介质阻挡层上方;所述气源提供的工作气体通过由所述匀气板构成的收缩口,到达所述等离子喷口,并在常压下,电源接通后,在所述喷口处形成大面积的辉光等离子等离子在气流的携带下向外喷出本实用新型避免了散射性放电,提高了放电效率,提高了气流速率,增大等离子喷出喷口的长度,降低了装置对被处理材料的形状等要求。
  • 等离子体放电装置
  • [发明专利]等离子放电装置-CN201410443324.2有效
  • 黄邦斗;蒲以康 - 清华大学
  • 2014-09-02 - 2017-12-19 - H01J37/32
  • 本发明提出一种等离子放电装置,包括谐振电路,包括串联的电感装置和电容,电感装置包括磁芯和缠绕所述磁芯的线圈;交流电源;匹配网络,设置在交流电源和谐振电路相连之间,用于匹配交流电源和等离子放电功率;腔室,用于产生等离子;电介质层,位于腔室和电感装置之间。本发明的装置,工作稳定、均匀性好、可控性强。
  • 等离子体放电装置
  • [发明专利]等离子放电装置-CN201410164667.5有效
  • 张先徽;周仁武;杨周斌;李俊雄;刘东平;杨思泽;严晗 - 厦门大学
  • 2014-04-21 - 2014-07-16 - C02F1/72
  • 等离子放电装置,涉及放电装置。设有交流电源、水槽、等离子发生器、交流电源调节电路、地电极耦合电路和气源;所述水槽内注入水,等离子发生器浸在水槽内的水中,等离子发生器设有腔体、高压电极和地电极,腔体内设有两侧密封板和固定支架,两侧密封板内分别装有高压电极和地电极,交流电源调节电路的两端分别与高压电极和交流电源的正电极连接,地电极与地电极耦合电路的地相连,高压电极设在密封管内并从密封管引出,固定支架设在两侧密封板之间,等离子发生器的下方设有进气口,等离子发生器的上方设有出气口
  • 等离子体放电装置
  • [发明专利]等离子处理装置等离子处理方法-CN200880114295.8有效
  • 野野村胜;水上达弘 - 松下电器产业株式会社
  • 2008-11-27 - 2010-09-22 - H01L21/3065
  • 本发明提供一种等离子处理装置等离子处理方法。在将处理对象物收容在处理室内进行等离子处理的等离子处理中,在放电检测传感器接收根据等离子放电的变化而诱发的电位变化的信号,并作为表示电位变化的信号数据暂时记录在信号记录部中,参照记录的信号数据,由信号解析部抽取放电开始波的计数值、异常放电的计数值、微小电弧放电的计数值等表示等离子放电状态的指标数据,通过由装置控制部监视指标数据而判定等离子放电的状态,执行为了适当地进行等离子处理动作的重试处理、累积等离子处理、维修判定处理
  • 等离子体处理装置方法

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