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- [发明专利]白光干涉信号的重建装置-CN202210467326.X在审
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张和君
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深圳市中图仪器股份有限公司
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2022-04-29
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2022-08-16
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G01B11/24
- 本公开描述了一种白光干涉信号的重建装置,包括发生模块、分光模块、干涉物镜、以及数据处理模块,发生模块用于产生包括第一光束和第二光束的目标光束,分光模块包括第一分光单元和第二分光单元,第一分光单元配置为接收目标光束且反射目标光束至干涉物镜,目标光束在干涉物镜形成目标反射光束,第二分光单元配置为接收经由第一分光单元透射的目标反射光束,并解耦目标反射光束为与第一光束相匹配的第一反射光束和与第二光束相匹配的第二反射光束;数据处理模块配置为基于第一反射光束获取目标点的初始高度,并基于第二反射光束对初始高度进行补偿。根据本公开,能够对目标点的测量高度进行补偿以提高目标点的测量精度。
- 白光干涉信号重建装置
- [发明专利]白光干涉信号的重建方法-CN202210467316.6在审
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张和君
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深圳市中图仪器股份有限公司
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2022-04-29
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2022-08-16
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G01B11/24
- 本公开描述了一种白光干涉信号的重建方法,包括:获得目标光束;令目标光束经由干涉物镜到达目标点,并在干涉物镜形成目标反射光束,目标反射光束包括与第一光束相匹配的第一反射光束和与第二光束相匹配的第二反射光束;基于第一反射光束获得白光干涉信号,基于第二反射光束获得补偿干涉信号;基于白光干涉信号获得目标点的初始高度,基于补偿干涉信号获得目标点的补偿信息;并且基于补偿信息对初始高度进行补偿以获得目标点的综合测量高度根据本公开,能够提供一种能够对目标点的测量高度进行补偿以提高目标点的测量精度的重建方法。
- 白光干涉信号重建方法
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