专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]采用多种压元件的复合传感器及其制造方法-CN201110445573.1无效
  • 张艳红;张挺 - 上海先进半导体制造股份有限公司
  • 2011-12-27 - 2012-06-13 - B81C1/00
  • 本发明提供一种采用多种压元件的复合传感器及其制造方法,传感器包括压力和温度传感器;压电路有PMOSFET和压敏电阻,位于压薄膜;电路有电阻,位于体;方法包括:提供基底;表面长阻挡层;背面开窗口并腐蚀成腔体,底部为压薄膜其余为体;去除阻挡层再长阻挡层;开源漏区和欧姆接触区窗口;压薄膜上作PMOSFET源漏和压敏电阻欧姆接触,体上作电阻欧姆接触;去除阻挡层再长阻挡层;开沟道区域和电阻条窗口;压薄膜上作PMOSFET沟道区域和压敏电阻电阻条,体上作电阻电阻条;刻接触;淀积导电层;接触上作连线,PMOSFET沟道区域上作金属栅;提供封闭基底,将腔体密闭。
  • 采用多种元件复合传感器及其制造方法

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