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- [发明专利]具有接触探测器的装置-CN200880011693.7有效
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德志·赫约斯·佩特森
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卡普雷斯股份有限公司
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2008-03-12
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2010-02-24
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G01R1/067
- 本发明涉及一种用于探测测试样品表面区域电学性能的探针。所述探针位于与所述测试样品相应的特定方向内。所述探针包含确定第一表面的支撑体，可从与第一表面共面的支撑体延伸的多个悬臂(12)。所述多个悬臂(12)可基本上彼此平行地延伸，且所述多个悬臂(12)的每一个包含将相对于测试样品表面的所述探针移动到所述特定方向来接触所述测试样品区域的电导体端部。所述探针还包括从支撑体延伸的接触探测器(14)，使得在进行上述移动时，所述接触探测器(14)先于接触所述测试样品所述表面的多个悬臂(12)的任一个之前接触所述测试样品的所述表面。
- 具有接触探测器装置
- [实用新型]一种静电放电机台温控装置-CN202021818396.8有效
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严祥平
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上海芯愿集成电路技术有限公司
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2020-08-27
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2021-02-26
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G05D23/30
- 本实用新型涉及集成电路测试技术领域，且公开了一种静电放电机台温控装置。该静电放电机台温控装置，包括机台主体、罩体、加热部件和制冷部件，所述机台主体的外壁上表面中心位置处固定安装有测试平台，所述测试平台的外壁上表面中心位置处固定安装有测试夹具，所述测试夹具的表面设置有测试样品，所述罩体的外壁下表面中心位置处固定安装有温度检测部件。该装置，使用时罩体罩住测试样品，通过温度检测部件检测测试样品温度，控制部件根据测试样品温度控制加热部件和制冷部件实现升温或降温操作，因此，其能够模拟测试样品正常工作时的温度状况，能够结合静电放电机台模拟测试测试样品正常工作时的抗静电能力
- 一种静电放电机台温控装置
- [发明专利]光电测试装置-CN201410492234.2有效
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丹尼尔·吉多蒂;薛海韵;张文奇
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华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
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2014-09-23
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2017-05-24
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H01L21/66
- 本发明实施例提供一种光电测试装置。该装置包括支撑结构、样品承载台、光学显微镜和光电探头，其中，所述光学显微镜的数量为至少两个，与所述支撑结构连接，用于同时观测待测试样品表面的至少两点；所述光电探头的数量为至少两个，与所述支撑结构连接，用于同时对待测试样品表面的至少两点进行测试本发明实施例提供的光电测试装置，通过至少两个光学显微镜同时观测待测试样品表面的至少两点，并通过至少两个光电探头同时对观测到的点进行测试，能够得到待测试样品表面的多个测试点对应的器件的光学性能和/或电学性能，由于对待测试样品表面的多个测试点同时进行观测并测试，因此能够提高测试效率。
- 光电测试装置
- [发明专利]界面热导测试样品及其形成方法-CN202111618128.0在审
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刘悦;刘玉菲;王晶晶;杨昆明;范同祥
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上海交通大学
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2021-12-27
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2022-04-12
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G01N25/20
- 本申请公开一种对待检测材料进行预处理，得到片状样品，以所述片状样品垂直于厚度方向上的一侧表面作为目标表面，所述片状样品内具有增强相颗粒；选择所述目标表面内暴露的增强相颗粒作为目标颗粒，所述目标颗粒暴露的表面作为参考面；将所述片状样品置于镶样槽内，调整所述目标表面与槽底之间的夹角为预设倾斜角度；向所述镶样槽内注入镶样胶体并固化，得到包裹有所述片状样品的镶嵌试样；沿所述镶嵌试样的一侧表面向所述目标颗粒方向对所述镶嵌试样进行磨抛，直至磨抛至磨抛面与所述目标颗粒的参考面的边缘之间的距离小于等于预设距离，得到测试样品，所述磨抛面作为测试样品的被测表面。上述方法能够制备满足TDTR测试的测试样品。
- 界面测试样品及其形成方法
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