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- [发明专利]光源和用于操作光源的方法-CN202180021273.2在审
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M·赫罗德;A·斯塔尔
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贺利氏特种光源有限公司
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2021-03-15
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2022-11-04
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B05D3/06
- 一种光源(1),所述光源包括:至少一个发光部件(11,13,15),特别是发射紫外光的部件和/或半导体部件;以及管路系统(103),冷却流体可以沿流动方向(F)流过所述管路系统,以用于控制所述至少一个发光部件的温度;以及第一冷却流体压力传感器和第二冷却流体压力传感器(21,22),所述第一冷却流体压力传感器和所述第二冷却流体压力传感器沿流动方向(F)一个接一个地布置在所述管路系统(103)中;以及电子单元(3),所述电子单元连接到所述第一冷却流体压力传感器和所述第二冷却流体压力传感器(21,22)并且被配置为基于由所述第一冷却流体压力传感器(21)和由所述第二冷却流体压力传感器(22)捕获的压力(p1,p2)来确定至少一个诊断
- 光源用于操作方法
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