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- [发明专利]毛刷清洗装置及其使用方法-CN201010566164.2有效
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侯宪华
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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2010-11-30
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2011-04-27
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A46B13/04
- 本发明涉及掩模版清洗领域,具体为一种毛刷清洗装置,用于掩模版清洗生产中的毛刷清洗及其使用方法,解决在其工作中出现的造成掩模版表面划伤,清洗不干净等问题。该装置设有清洗液喷嘴、DI水喷嘴、毛刷,毛刷与掩模板表面相对应,在毛刷侧面设有清洗液喷嘴和DI水喷嘴。通过采用毛刷自旋转和掩模版旋转之间的摩擦实现清洗,在毛刷清洗过程中,通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液,通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水。在毛刷扫描和清洗过程中,通过清洗液喷嘴对毛刷喷洒清洗液,通过DI水喷嘴对毛刷喷洒DI水,实现对于0.5微米以上的污染物的去除率达到百分之九十七以上,同时避免了掩模版表面的划伤缺陷。
- 毛刷清洗装置及其使用方法
- [实用新型]刷洗组件-CN202120832942.1有效
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欧阳小云;韩大伟
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常州米捷科清洗科技有限公司
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2021-04-22
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2021-11-09
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B08B9/087
- 本实用新型公开了一种刷洗组件,包括毛刷、毛刷杆、安装法兰、水槽及水槽法兰,所述水槽法兰焊接在水槽上,所述安装法兰经螺钉安装在水槽法兰上,所述毛刷杆穿过安装法兰,所述毛刷固定在毛刷杆上,所述毛刷杆上安装有挡水套,所述挡水套尺寸大于所述安装法兰的尺寸。本实用新型新型结构简单,密封效果好,能够配合多种机构使用,巧妙地设计了多道密封的装置,通过毛刷头下部安装一个挡水套,在洗刷时,挡水套先行随着毛刷杆往上运动,当定位螺钉接触到工作台底端台面时,伞状的挡水套停止不动,但是毛刷杆还会继续往上运动,在此过程中,伞形的挡水套可以把喷淋水挡住从边上淌下。
- 刷洗组件
- [实用新型]一种槽式单多晶制绒机除水装置-CN202022481725.0有效
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孟少东;祁鹏景;李超
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上饶捷泰新能源科技有限公司
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2020-10-30
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2021-05-18
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H01L31/18
- 本实用新型公开了一种槽式单多晶制绒机除水装置,包括固定于制绒机预脱水槽和烘干槽之间的固定支架、用于除去下料花篮底部水珠的除水毛刷以及用于干燥除水毛刷的干燥装置,除水毛刷垂直连接于固定支架上端面,干燥装置安装于固定支架上工作时,控制机械手带动下料花篮运动,下料花篮底部与除水毛刷接触并发生相对运动,除水毛刷将下料花篮底部的水珠扫除。扫除完成后,干燥装置对除水毛刷进行干燥,以使除水毛刷干燥、准备进行下一次除水工作。因此除水毛刷可去除下料花篮底部的水珠,避免了下料花篮提升过程中底部积液掉落至硅片上,有效地保障了产品质量。同时,本装置结构简单,方便安装和拆卸,可定期更换清洗确保除水效果。
- 一种槽式单多晶制绒机装置
- [实用新型]料条牵引设备的除水结构-CN201520208828.6有效
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许纯权
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东莞市汇如涞电能科技有限公司
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2015-04-08
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2016-01-06
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B29C47/34
- 本实用新型公开一种料条牵引设备的除水结构,包括有用于输送料条的金属输送带,所述金属输送带上方还安装有除水毛刷,该除水毛刷下压于输送带的上表面。利用除水毛刷将被输送带运转过程中所携带出的水流去除,起到快速除水的作用,提升料条的加工效率和品质。所述除水毛刷为浮动式除水毛刷结构,包括有基座、摆臂和轴杆,摆臂的一端可转动地枢接于基座上,轴杆连接于摆臂的自由尾端,前述除水毛刷套装于该轴杆上随摆臂自由摆动。此种浮动式除水毛刷结构可以依不同料条直径大小而自动浮动调节下压高度,下压力度始终保持均恒,根本性避免卡产生料条变形或卡料条现象,有助于改善产品品质,并且这种浮动式除水毛刷结构无需停机调节位置,省功省时。
- 牵引设备结构
- [实用新型]一种硅胶扫头-CN201620519130.0有效
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黄福盖
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黄福盖
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2016-06-02
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2017-04-19
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A47L13/12
- 本实用新型公开了一种硅胶扫头,包括毛刷座和毛刷,所述毛刷固定连接在毛刷座的底部,所述毛刷座的左右两端呈圆弧状,所述毛刷座的上下两端呈直线形,所述毛刷座的顶部中间位置设有圆柱形凸起,所述圆柱形凸起的中部设有圆形通孔,所述圆形通孔的内壁上设有内螺纹,所述毛刷座上固定连接有刮水条,所述刮水条与毛刷之间形成一夹角。本实用新型中,毛刷座上固定连接有刮水条,如果遇到积水,将刮水条与地面相抵,然后推动扫头就可以有效的清理积水,毛刷采用硅胶材料制成,硅胶在使用过程中容易产生静电,能够起到吸尘的作用,结构简单、使用方便、易清洗
- 一种硅胶
- [发明专利]中央喷水式清洗机-CN201710202940.2在审
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刘涛;刘志强;丁晓晴;刘建芳;刘建儒
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刘涛
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2017-03-30
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2017-06-06
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B08B1/04
- 本发明提供一种中央喷水式清洗机,主要包括送水单元、喷淋毛刷组件和控制电路;控制电路用于给喷淋毛刷组件旋转提供电源;送水单元用于提供喷淋水;喷淋毛刷组件包括毛丝和具有内部空腔的毛刷盘;毛丝安装在毛刷盘的工作面;毛刷盘工作面的中央区域开设有多个喷水小孔;送水单元包括水泵和通水握杆;其改进之处是还包括用于同时提供旋转动力和喷淋水的一体式旋转供水装置以及水、电共管并且可伸缩的通水握杆,本发明不仅简化了结构,同时提高了减速的可靠性以及工作便捷性
- 中央喷水清洗
- [实用新型]中央喷水式清洗机-CN201720326594.4有效
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刘涛;刘志强;丁晓晴;刘建芳;刘建儒
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刘涛
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2017-03-30
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2018-01-09
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B08B1/04
- 本实用新型提供一种中央喷水式清洗机,主要包括送水单元、喷淋毛刷组件和控制电路;控制电路用于给喷淋毛刷组件旋转提供电源;送水单元用于提供喷淋水;喷淋毛刷组件包括毛丝和具有内部空腔的毛刷盘;毛丝安装在毛刷盘的工作面;毛刷盘工作面的中央区域开设有多个喷水小孔;送水单元包括水泵和通水握杆;其改进之处是还包括用于同时提供旋转动力和喷淋水的一体式旋转供水装置以及水、电共管并且可伸缩的通水握杆,本实用新型不仅简化了结构,同时提高了减速的可靠性以及工作便捷性
- 中央喷水清洗
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