专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]渗镀膜一体化设备及渗镀膜工件制备方法和应用-CN202310819771.2在审
  • 何永勇;李杨;张哲浩;房大振;卢金鹏 - 清华大学
  • 2023-07-05 - 2023-08-22 - C23C8/30
  • 本发明公开了一种渗镀膜一体化设备及渗镀膜工件制备方法和应用。该设备包括渗镀膜一体化设备本体、阴极罩、靶材挡板和工件架,渗镀膜一体化设备本体上部形成真空腔室,渗镀膜一体化设备本体下部形成渗溅射腔,渗溅射腔的内侧壁绝缘连接靶材;阴极罩间隔环绕渗溅射腔内壁设置,阴极罩上设有多个通孔,阴极罩上端连接升降杆,阴极罩的下端可绝缘设在渗溅射腔的底端;靶材挡板可旋转移动位于靶材与阴极罩之间;工件架位于阴极罩内,工件架与阴极罩内壁间隔,工件架下端绝缘连接渗溅射腔底端该设备实现了工件的渗和镀膜在同一设备中进行,使工件的渗镀膜一体化,大大提高了生产效率。
  • 氮碳共渗镀膜一体化设备工件制备方法应用

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