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[发明专利]生成过程模型的模型生成系统-CN201510815836.1有效
发明人：威廉·K·沃伊斯尼斯;阿希什·梅赫塔;迪尔克·蒂勒 -专利权人：费舍－柔斯芒特系统股份有限公司
申请日： 2007-04-13 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：一种在包括一个或更多处理器及计算机可读存储器的过程环境条件中根据过程生成过程模型的模型生成系统：第一装置，用于从过程采集指示过程的至少一个部分的过程操作的过程数据；第二装置，用于将噪声添加到所述过程数据，从而生成条件过程数据；以及模型生成装置，用于根据所述条件过程数据确定过程模型。与现有消除噪声技术集中在生成过程模型之前清理非随机噪声不同，在许多时候，添加随机零均值噪声到过程数据使得能够在不能以其他方法获得过程模型参数收敛的情况下生成可接受的参数过程模型。此外，采用本技术创建的过程模型的置信区间一般较宽，因此在不需要人工或图形地改变模型的条件下，提供能在许多过程情况适当工作的模型。
过程模型过程数据模型生成系统计算机可读存储器过程模型参数模型生成装置参数过程第二装置第一装置多处理器过程操作过程环境生成条件数据确定随机噪声条件过程消除噪声噪声添加指示过程置信区间可接受噪声收敛采集创建

[发明专利]工业过程模型生成系统-CN202180038313.4在审
发明人：丹尼斯·詹卡;本杰明·克洛珀;蒙塞夫·希欧亚;巴勃罗·罗德里格斯;爱奥尼斯·林佩罗普洛斯;马塞洛·迪克斯 -专利权人： ABB瑞士股份有限公司
申请日： 2021-04-26 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G05B17/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种工业过程模型生成系统，包括：输入单元；以及处理单元。该输入单元被配置为接收多个输入值轨迹，输入值轨迹包括与工业过程相关的操作输入值轨迹和模拟输入值轨迹。处理单元被配置为实现工业过程的模拟器。处理单元被配置为生成多个工业过程行为数据，其中针对多个输入值轨迹中的至少一些输入值轨迹生成工业过程行为数据，并且其中针对多个输入值轨迹中的至少一些输入值轨迹的工业过程行为数据的生成包括模拟器的利用。处理单元被配置为实现对工业过程进行建模的机器学习算法。处理单元被配置为训练机器学习算法。处理单元被配置为处理第一行为数据。
工业过程模型生成系统

[发明专利]过程模型的建模优化-CN201880026085.7有效
发明人： M.库尔兹;M.米埃勒;A.泰卡勒 -专利权人：首要金属科技德国有限责任公司
申请日： 2018-04-10 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：模型（8）基于数学‑物理方程。所述模型基于原材料工业中的装置的操作（B）模拟由被分别供应给该装置的至少一个输入产品（2）到特定输出产品（1）的生产。在输出产品（1）的生产过程中，控制设备（5）控制该装置，使得该装置的特定实际操作（B）尽可能地对应该装置的特定期望操作（B*）。控制设备（5）使用该装置的模型（8）确定该期望操作（B*）。根据多个第一模型参数（P1）将模型（8）参数化以模拟该装置。在每次生产了多个输出产品（1）之后，将特定多个的输出产品（1）的实际尺寸（A）与该特定多个的输出产品（1）的预期尺寸（A'）相比较。基于该比较，最新确定第一模型参数（P1）并且根据第一模型参数（P1）的新值最新参数化控制设备（5）中的模型（8）。此后，由控制设备（5）使用原材料工业中的该装置的最新参数化的模型（8）确定期望操作（B*）。借助模型（8）确定预期尺寸（A'），其中预期尺寸(A')的确定是基于该装置的实际操作（B）。
过程模型建模优化

[发明专利]产生信息模型的过程-CN01122866.0无效
发明人：马丁·格劳斯哈特;拉尔夫·马特曼;英格·迈耶 -专利权人：阿尔卡塔尔公司
申请日： 2001-07-12 - 公布日： 2002-02-06 - 主分类号： G06F17/22 文献下载
摘要：本发明涉及产生信息模型的方法,并且还涉及实现过程的信息处理系统和软件产品。利用一个第一描述语言以编码形式产生一个第一主信息模型并且将其存储在一个数据库中。通过第一选择参数根据主信息模型产生一或多个第二特定于产品的信息模型并且总是将上述模型存储在一个数据库中。
产生信息模型过程

[发明专利]呼吸全过程模型-CN01106929.5无效
发明人：颜昌华 -专利权人：颜昌华
申请日： 2001-03-04 - 公布日： 2002-10-09 - 主分类号： G09B23/28 文献下载
摘要：呼吸全过程模型,是大学、中学的生物教学和各类医学院校、体校的人体生理教学急需、必备和理想的教具;具有重量轻、体积小、操作简便安全和教学直观、形象、科学、客观、实用的特点;能清楚显示肺通气时吸气、呼气与肺的运动、肺泡内和组织里的气体交换途经和结果、气体在血液中的运输途经;打破了至今为止的各类教材、模型和彩图上血液(特别是静脉血)颜色的不科学性和不客观性;填补了讲述呼吸全过程无教具的空白。
呼吸全过程模型

[发明专利]过程分析模型与实际过程运转的在线对齐-CN201110138939.0有效
发明人： W·K·沃杰茨尼斯;T·L·布勒文斯 -专利权人：费希尔-罗斯蒙特系统公司
申请日： 2011-05-23 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：过程分析模型与实际过程运转的在线对齐涉及一种批次建模与分析系统，使用简单且计算上花费较少的技术来将收集自进行中的，当前运行的或在线批次过程的数据与为该批次过程构建的批次模型对齐，以使得能够可靠地确定相对于批次模型的在线批次过程的当前运行状态反过来，这些分析向诸如批次操作员的用户提供有用信息，以便用户能够根据批次模型来确定当时批次的质量，以及在批次运行结束时能够达到所需批次输出质量度量的可能性。
过程分析模型实际运转在线对齐

[发明专利]过程控制系统中的过程模型识别-CN200610131873.1有效
发明人：约翰·卡德维尔;特瑞思·L·贝利文斯;彼得·沃琼斯尼斯;威廉·K·沃琼斯尼斯 -专利权人：费舍－柔斯芒特系统股份有限公司
申请日： 2006-10-08 - 公布日： 2007-07-25 - 主分类号： G05B13/02 文献下载
摘要：所公开的是一种控制和管理具有多个控制环路的过程控制系统的方法。该方法包括分别执行多个控制例程以控制所述多个控制环路的工作。所述多个控制例程可以包括至少一个非自适应控制例程。接着收集与所述多个控制环路中的各个控制环路的工作相关的工作状态数据，并且根据为所述多个控制环路中各个控制环路收集的相应工作状态数据，为所述多个控制环路中各个控制环路识别相应的过程模型。在某些实施例中，所述相应的过程模型的识别可以作为被检测的过程变化的结果而是自动的，或者作为注入的参数变化结果而是随需的。
过程控制系统中的模型识别

[实用新型]用于确定光刻过程的过程模型的装置-CN200920219220.8有效
发明人： J·黄;L·S·梅尔文三世 -专利权人：新思科技有限公司
申请日： 2009-10-10 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于确定光刻过程的过程模型的装置。光刻过程使用第一布局以对晶片进行第一曝光和显影过程，并且之后使用第二布局以对晶片进行第二曝光和显影过程。当对晶片进行第二曝光和显影过程时，晶片的表面包括至少部分地由于第一曝光和显影过程而产生的外形变化。该装置包括：接收装置，用于接收过程数据，其中过程数据包括在对所述晶片进行所述第二曝光和显影过程之后对图案的关键尺寸测量；第一确定装置，用于确定未校准的过程模型，其中未校准的过程模型包括对外形变化对于第二曝光和显影过程的影响进行建模的外形项；以及第二确定装置，通过将所述未校准的过程模型与所述过程数据进行校准来确定所述过程模型。
用于确定光刻过程模型装置

[发明专利]微调过程模型的方法-CN202210108239.5在审
发明人：冯牧;M·F·沙伊甘萨拉克;朱典文;郑雷武;拉斐尔·C·豪厄尔;王祯祥 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-01-24 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明中披露了构造过程模型的方法，该过程模型用于根据在不同处理条件下产生的图案模拟光刻术的产品的特性。所述方法使用该被模拟的特性的变化与被测量的特性的变化之间的偏差以调整该过程模型的参数。
微调过程模型方法

[发明专利]过程控制供水教学模型-CN202210110014.3在审
发明人：王振浩;蔡慧华;许美玲;林生佐;周林艳;彭森第 -专利权人：广东环境保护工程职业学院
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G09B25/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种过程控制供水教学模型，包括第一水箱，第一水箱设有第一进水口、第一出水口和第一通气口；第一水箱的外侧设有循环管路，循环管路的两端分别与第一进水口、第一出水口连接，循环管路设有水泵、水压传感器和第一阀门第一阀门的开度模拟用户的用水量，调节第一阀门的开度，循环管路中的压力随之变化，控制模块根据水压传感器的信号控制水泵的功率，随着水泵功率的变化循环管路中的压力趋近目标压力，学员能获得过程控制的直观体验。
过程控制供水教学模型

[发明专利]用于生成过程模型的方法-CN202180031848.9在审
发明人：贝内迪特·施密特;马塞洛·迪克斯;马丁·霍伦德;安德鲁·科恩;阿扎姆·穆扎法尔·科特里瓦拉;马克·盖特勒;西尔维亚·马克齐;本杰明·克洛珀 -专利权人： ABB瑞士股份有限公司
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：提出了一种用于生成对工厂过程的人工模式程序实例进行建模的过程模型的方法(100)，该程序实例包括操作动作的相关序列，即挖掘工厂历史日志以生成工作流程模型，包括以下步骤：提供工厂过程的多个操作动作(110根据单独工厂部分过滤人工模式操作动作的多个相关序列(S3)；从人工模式操作动作的经过滤的多个相关序列中识别相继次序(S4)；从人工模式操作动作的经过滤的多个相关序列中，确定对每个相继排序的人工模式操作动作的相关过程变量的值的统计属性和/或相关设定点变化的值的统计属性(S5)；通过用每个操作动作的相继次序排列相关的人工模式操作动作，来生成人工模式程序实例的过程模型(S6)，每个操作动作分配有相关过程变量的值的统计属性和/或分配有相关设定点变化的值的统计属性
用于生成过程模型方法

[发明专利]蚀刻系统、模型和制造过程-CN202210707850.X在审
发明人：黄郊;王进泽;严焱;范永发;刘亮;冯牧 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：所述蚀刻偏差被配置成被用于提高半导体图案化过程相对于先前的图案化过程的准确度。在一些实施例中，所述衬底图案的表示被接收，所述表示包括所述衬底图案中的所述轮廓。所述衬底图案的所述轮廓的曲率被确定并被输入至模拟模型。所述模拟模型包括蚀刻偏差与轮廓的曲率之间的相关性。所述衬底图案中的所述轮廓的所述蚀刻偏差通过基于所述曲率的所述模拟模型来输出。
蚀刻系统模型制造过程

[发明专利]快速过程模型识别和生成-CN201110051830.3有效
发明人： M·库格伦;G·K·麦克米伦 -专利权人：费希尔-罗斯蒙特系统公司
申请日： 2011-03-02 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：快速过程模型识别技术在相对短的时间段中通过根据过程输出对于过程输入的变化的最初响应得出积分增益和过程死区时间的估计，来识别在所述过程输入与所述过程输出之间的动态关系。随后，使用所述积分增益和死区时间值为多个不同类型的过程中的任一个生成完整的过程模型。所述过程模型能够用于非常迅速地施行过程仿真或能够用于控制目的，以便能够使得使用或依赖于在线的过程模型的过程控制系统比先前更加迅速。此外，所述快速建模技术能够在控制过程回路的控制器完成对于即使单个过程干扰或设定点的变化的响应之前，用于得出所述过程回路的仿真模型，从而使得该技术在施行慢过程的控制方面非常有用。
快速过程模型识别生成

[发明专利]快速过程模型识别和生成-CN201610539816.0有效
发明人： M·库格伦;G·K·麦克米伦 -专利权人：费希尔-罗斯蒙特系统公司
申请日： 2011-03-02 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：快速过程模型识别技术在相对短的时间段中通过根据过程输出对于过程输入的变化的最初响应得出积分增益和过程死区时间的估计，来识别在所述过程输入与所述过程输出之间的动态关系。随后，使用所述积分增益和死区时间值为多个不同类型的过程中的任一个生成完整的过程模型。所述过程模型能够用于非常迅速地施行过程仿真或能够用于控制目的，以便能够使得使用或依赖于在线的过程模型的过程控制系统比先前更加迅速。此外，所述快速建模技术能够在控制过程回路的控制器完成对于即使单个过程干扰或设定点的变化的响应之前，用于得出所述过程回路的仿真模型，从而使得该技术在施行慢过程的控制方面非常有用。
快速过程模型识别生成

[发明专利]微调过程模型的方法-CN201880008283.0有效
发明人：冯牧;M·F·沙伊甘萨拉克;朱典文;郑雷武;拉斐尔·C·豪厄尔;王祯祥 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-01-24 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明中披露了构造过程模型的方法，该过程模型用于根据在不同处理条件下产生的图案模拟光刻术的产品的特性。所述方法使用该被模拟的特性的变化与被测量的特性的变化之间的偏差以调整该过程模型的参数。
微调过程模型方法

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