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[发明专利]一种基于游标效应的级连环形腔光波导传感器-CN200910153231.5有效
发明人：金磊;何建军;李明宇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2009-10-26 - 公布日： 2010-04-21 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于游标效应的级连环形腔光波导传感器。它包含输入波导、与输入波导相耦合的传感环形谐振腔、与传感环形谐振腔相耦合的连接波导，与连接波导相耦合的参照环形谐振腔，与参照谐振腔相耦合的输出波导，传感环形谐振腔与参照环形谐振腔的光学长度不同，传感环形谐振腔的一个谐振频率与参照环形谐振腔的一个谐振频率重合时其相邻的谐振峰不完全重合传感环形谐振腔中至少有一部分波导的上包层与被测物质接触，被测物质的变化会引起模式有效折射率变化，从而引起谐振谱的移动。通过双谐振腔的游标效应可将此移动放大，并将其转换为相邻两个谐振峰的功率比变化，从而更有效地检测包层被测物质的变化。
一种基于游标效应环形波导传感器

[发明专利]一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器-CN201010104762.8有效
发明人：何建军;金磊 -专利权人：浙江大学
申请日： 2010-01-29 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： G01D5/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器。它包含宽带光源、输入波导、与输入波导相耦合的传感环形谐振腔、与传感环形谐振腔相耦合的连接波导，与连接波导相耦合的参照环形谐振腔，与参照谐振腔相耦合的输出波导、两个光功率计。传感环形谐振腔与参照环形谐振腔的光学长度相同，传感环形谐振腔的所有谐振频率与参照环形谐振腔的所有谐振频率一一对应重合。传感环形谐振腔中至少有一部分波导受到被测变量影响作用或至少有一部分波导包层与被测物质接触。被测变量影响作用或被测物质变化引起谐振谱的移动，通过等长双谐振腔的级联滤波效应可将此移动转换为透射总输出功率的变化，从而简单有效地检测被测量。
一种基于宽带光源级连光波导滤波器传感器

[发明专利]一种级联傅里叶变换光谱仪的双环光学传感器-CN201811247258.6在审
发明人：李明宇;胡海洋;杨建;邵琼婵 -专利权人：苏州联讯仪器有限公司
申请日： 2018-10-24 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种级联傅里叶变换光谱仪的双环光学传感器，包括宽带光源、两个形环谐振腔和傅里叶变换光谱仪；宽带光源发出的光经过输入直波导与第一环形谐振腔耦合；第一环形谐振腔通过耦合直波导与第二环形谐振腔级联；傅里叶变换光谱仪与第二环形谐振腔下载端相连；第一环形谐振腔波导表面有上包层，不与被测液体接触，是参考环形谐振腔；第二环形谐振腔波导表面与被测液体接触，是传感环形谐振腔；由于被测液体的折射率发生变化，引起传感环形谐振腔的有效折射率变化，而参考环形谐振腔的有效折射率没有改变，从而导致两个环形谐振腔级联后的光谱包络产生变化，最终包络的变化由傅里叶变换光谱仪还原，进而获得被测液体折射率的变化信息。
环形谐振腔傅里叶变换光谱仪被测液体级联传感环形谐振腔光学传感器有效折射率波导表面宽带光源耦合折射率双环输入直波导变化信息光谱包络上包层谐振腔直波导参考包络下载形环还原

[实用新型]一种级联傅里叶变换光谱仪的双环光学传感器-CN201821732003.4有效
发明人：李明宇;胡海洋;杨建;邵琼婵 -专利权人：苏州联讯仪器有限公司
申请日： 2018-10-24 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种级联傅里叶变换光谱仪的双环光学传感器，包括宽带光源、两个形环谐振腔和傅里叶变换光谱仪；宽带光源发出的光经过输入直波导与第一环形谐振腔耦合；第一环形谐振腔通过耦合直波导与第二环形谐振腔级联；傅里叶变换光谱仪与第二环形谐振腔下载端相连；第一环形谐振腔波导表面有上包层，不与被测液体接触，是参考环形谐振腔；第二环形谐振腔波导表面与被测液体接触，是传感环形谐振腔；由于被测液体的折射率发生变化，引起传感环形谐振腔的有效折射率变化，而参考环形谐振腔的有效折射率没有改变，从而导致两个环形谐振腔级联后的光谱包络产生变化，最终包络的变化由傅里叶变换光谱仪还原，进而获得被测液体折射率的变化信息。
环形谐振腔傅里叶变换光谱仪被测液体级联传感环形谐振腔光学传感器有效折射率波导表面宽带光源耦合折射率双环本实用新型输入直波导变化信息光谱包络上包层谐振腔直波导参考包络下载形环还原

[发明专利]一种基于双环谐振腔直通端级联的光学传感器-CN201711343392.1在审
发明人：李明宇;胡海洋;杨建 -专利权人：苏州联讯仪器有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双环谐振腔直通端级联的光学传感器，包括宽带光源、两个环形谐振腔和一个探测器；两个环形谐振腔通过一根共用的直波导相互耦合；其中一个环形谐振腔的波导表面与被测液体接触，是传感环形谐振腔；另外一个环形谐振腔的波导表面有上包层，不与被测液体相接触，是参考环形谐振腔。参考环形谐振腔旁边有用于加热的金属电极。本发明利用由于被测液体的折射率发生变化，引起传感环形谐振腔的有效折射率变化，而参考环形谐振腔的有效折射率没有改变，从而导致两个环形波导谐振腔直通端级联后的光谱包络产生变化，最终使得输出的光强发生变化。
一种基于谐振腔直通级联光学传感器

[实用新型]一种基于双环谐振腔直通端级联的光学传感器-CN201721747857.5有效
发明人：李明宇;胡海洋;杨建 -专利权人：苏州联讯仪器有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于双环谐振腔直通端级联的光学传感器，包括宽带光源、两个环形谐振腔和一个探测器；两个环形谐振腔通过一根共用的直波导相互耦合；其中一个环形谐振腔的波导表面与被测液体接触，是传感环形谐振腔；另外一个环形谐振腔的波导表面有上包层，不与被测液体相接触，是参考环形谐振腔；参考环形谐振腔旁边有用于加热的金属电极。本实用新型利用由于被测液体的折射率发生变化，引起传感环形谐振腔的有效折射率变化，而参考环形谐振腔的有效折射率没有改变，从而导致两个环形谐振腔直通端级联后的光谱包络产生变化，最终使得输出的光强发生变化。
环形谐振腔被测液体直通端级联传感环形谐振腔本实用新型光学传感器有效折射率波导表面谐振腔折射率双环参考测量输出功率变化信息光谱包络金属电极宽带光源上包层直波导耦合探测器光强加热输出

[发明专利]一种双环耦合结构的生化传感器-CN202111242472.4在审
发明人：庄须叶;张洛璇;李平华;张佳宁;刘靖豪 -专利权人：山东理工大学
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公布了一种双环耦合结构的生化传感器，涉及光生化传感领域，包括2段波导、1个环形谐振腔和1个椭圆形谐振腔；波导与谐振腔均为以硅为基底，二氧化硅包裹氮化硅结构。该结构中由于波导与环形谐振腔的耦合以及环形谐振腔和椭圆形谐振腔的耦合，使得由波导输入的光波经由环形谐振腔被限制在椭圆形谐振腔内，增强了光与物质之间的相互作用，同时由两段波导代替一段波导，波导与环形谐振腔耦合效率提高，另外将椭圆形谐振腔内部区域用于检测外界溶液浓度变化，减小波导以及环形谐振腔由于溶液浓度变化导致出射波导光波变化，增加线性测量范围。
一种耦合结构生化传感器

[发明专利]基于宽带光源和级连光波导滤波器游标效应的光传感器-CN201010195899.9有效
发明人：金磊;何建军;李明宇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2010-06-08 - 公布日： 2010-10-27 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于宽带光源和级连光波导滤波器游标效应的光传感器。它包含宽带光源、输入波导、连接波导、输出波导、与输入波导及连接波导相耦合的参照环形谐振腔、与连接波导及输出波导相耦合的参照环形谐振腔、两个光功率计。传感环形谐振腔与参照环形谐振腔的光学长度不同，传感环形谐振腔的一个谐振频率与参照环形谐振腔的一个谐振频率重合时其相邻的谐振峰不完全重合。传感环形谐振腔中至少有一部分波导受到被测变量影响作用或至少有一部分波导包层与被测物质接触。被测变量影响作用或被测物质变化引起谐振谱的移动。通过双谐振腔的游标效应可将此移动放大为总透射谱包络的移动，并将其转换为透射总输出功率的变化，从而简单地检测被测量。
基于宽带光源级连光波导滤波器游标效应传感器

[发明专利]一种光栅微环互调结构的光波导生化传感器-CN201510331306.X在审
发明人：王卓然;袁国慧;陈昱任;孙文瀚;王军 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-06-16 - 公布日： 2015-10-21 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种光栅微环互调结构的光波导生化传感器，包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的SOI基体，所述SOI基体的单晶硅层包含第一直波导、第二直波导、外环形谐振腔和内环形光栅谐振腔本发明的光波导生化传感器由于内环形光栅谐振腔对外环形谐振腔的调制作用，可以使外环形谐振腔中某些谐振峰得到抑制，从而增大了自由光谱范围，同时由于内环形光栅谐振腔能够将光极大的限制在光栅区域，从而有效增强了光和物质之间的相互作用，另外内环形光栅谐振腔能够使光在谐振腔中来回震荡，增加光与物质相互作用的强度和有效长度，使检测灵敏度更高。
一种光栅微环互调结构波导生化传感器

[发明专利]基于级联光学谐振腔光学传感器-CN201610244324.9有效
发明人：刘勇;李明宇;岳永恒;李洋 -专利权人：浙江大学
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于级联光学谐振腔光学传感器，包括波长可调光源、输入光栅、Y分支分束器、连接波导、表面开窗的传感光学谐振腔、表面开窗的参考光学谐振腔、表面不开窗的参考光学谐振腔、输出光栅和探测器；所述波长可调光源与输入光栅连接；表面开窗的传感谐振腔和表面开窗的参考谐振腔均与被测物质接触。被测变量影响作用或被测物质变化引起传感环形谐振腔谐振谱的移动。通过双谐振腔的级联输出谱，可以探测传感光学谐振腔谐振谱移动的自由光谱范围的移动数量，从而在保证传感器高灵敏度的同时，大大增加了级联双光学谐振腔传感器的探测范围。
基于级联光学谐振腔传感器

[发明专利]一种基于表面等离激元的钠钾离子浓度检测传感器-CN202211347049.5在审
发明人：闫树斌;张晓宇;刘吉来;李挺松;陈辰;刘鹏伟;张怡;崔洋;黄碧漪;吴秀山 -专利权人：浙江水利水电学院
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01N21/552 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于表面等离激元的钠钾离子浓度检测传感器，包括基底层、金属层、MIM波导和谐振腔；MIM波导和谐振腔设置在金属层上，MIM波导和谐振腔为槽型结构；MIM波导为贯穿金属层的直槽型，金属层上开设有与MIM波导连通的两个方柱槽，方柱槽朝向谐振腔设置，且两个方柱槽关于金属层的中分面对称设置；谐振腔对应于MIM波导中间部分，谐振腔包括环形腔和矩形腔，矩形腔位于环形腔背离MIM波导的一端，且矩形腔贯穿环形腔，谐振腔关于金属层的中分面对称设置；MIM波导和谐振腔内填充待测溶液，入射光波从MIM波导的入射端口进入。本申请具有简单的结构和优异的传感性能，可以检测人体电解浓度，在生物传感方面具有较大的应用前景。
一种基于表面离激元离子浓度检测传感器

[实用新型]一种基于表面等离激元的钠钾离子浓度检测传感器-CN202222915773.5有效
发明人：闫树斌;张晓宇;刘吉来;李挺松;陈辰;刘鹏伟;张怡;崔洋;黄碧漪;吴秀山 -专利权人：浙江水利水电学院
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01N21/552 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于表面等离激元的钠钾离子浓度检测传感器，包括基底层、金属层、MIM波导和谐振腔；MIM波导和谐振腔设置在金属层上，MIM波导和谐振腔为槽型结构；MIM波导为贯穿金属层的直槽型，金属层上开设有与MIM波导连通的两个方柱槽，方柱槽朝向谐振腔设置，且两个方柱槽关于金属层的中分面对称设置；谐振腔对应于MIM波导中间部分，谐振腔包括环形腔和矩形腔，矩形腔位于环形腔背离MIM波导的一端，且矩形腔贯穿环形腔，谐振腔关于金属层的中分面对称设置；MIM波导和谐振腔内填充待测溶液，入射光波从MIM波导的入射端口进入。本申请具有简单的结构和优异的传感性能，可以检测人体电解浓度，在生物传感方面具有较大的应用前景。
一种基于表面离激元离子浓度检测传感器

[发明专利]一种光波导谐振腔型传感设备-CN201010581501.5无效
发明人：王帆;董宁宁;田玉冰;施燕博;武晓东 -专利权人：苏州生物医学工程技术研究所
申请日： 2010-12-09 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种光波导谐振腔型传感设备，由传感芯片和外围检测设备构成，所述传感芯片的衬底基片上制作有一输入光波导、一个或多个光波导环形谐振腔、一个或多个耦合区、一个或多个传感区、一个输出光波导和一作为光谱展开区的平面波导光栅，所述输入光波导与光波导环形谐振腔通过耦合区相连接，所述输出光波导与光波导环形谐振腔通过耦合区相连接，所述平面波导光栅与所述光波导环形谐振腔通过输出光波导相连接，所述光波导环形谐振腔表面全部或部分暴露在传感区里，传感区一端连接有进样口、另一端连接有出样口。
一种波导谐振腔传感设备

[实用新型]一种光波导谐振腔型传感设备-CN201020650750.0无效
发明人：王帆;董宁宁;田玉冰;施燕博;武晓东 -专利权人：苏州生物医学工程技术研究所
申请日： 2010-12-09 - 公布日： 2011-07-13 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光波导谐振腔型传感设备，由传感芯片和外围检测设备构成，所述传感芯片的衬底基片上制作有一输入光波导、一个或多个光波导环形谐振腔、一个或多个耦合区、一个或多个传感区、一个输出光波导和一作为光谱展开区的平面波导光栅，所述输入光波导与光波导环形谐振腔通过耦合区相连接，所述输出光波导与光波导环形谐振腔通过耦合区相连接，所述平面波导光栅与所述光波导环形谐振腔通过输出光波导相连接，所述光波导环形谐振腔表面全部或部分暴露在传感区里，传感区一端连接有进样口、另一端连接有出样口。
一种波导谐振腔传感设备

[实用新型]基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔的折射率传感器-CN201820500938.3有效
发明人：张雪伟;祁云平;龚韩韩;周培阳;胡兵兵 -专利权人：西北师范大学
申请日： 2018-04-10 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔的折射率传感器，包括并排设置的第一银膜和第四银膜，第一银膜的中部和第四银膜的中部通过连接膜相连接，第一银膜和第四银膜之间并排设置有第一直波导和第二直波导，连接膜上设有矩形谐振腔，第一直波导和第二直波导相对于矩形谐振腔对称设置；第一银膜上设有第一圆环形谐振腔，第一圆环形谐振腔内设有第二银膜，第四银膜上设有第二圆环形谐振腔，第二圆环形谐振腔内设有第三银膜；第一圆环形谐振腔和第二圆环形谐振腔相对于矩形谐振腔对称设置。该折射率传感器体积小、灵敏度高、易于集成，能够有效增强灵敏度，提高耦合效率，降低功耗，提高分辨率。
银膜谐振腔圆环形折射率传感器矩形谐振腔并排设置波导耦合对称设置双圆环形连接膜灵敏度直波导波导本实用新型降低功耗耦合效率分辨率体积小

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