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[发明专利]二氧化硅膜应力监测方法以及半导体器件制造方法-CN201210208916.7无效
发明人：徐强 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种二氧化硅膜应力监测方法以及半导体器件制造方法。制备二氧化硅膜，并且测量所述二氧化硅膜的应力值，并记录从测量开始的时间点到制备完成时的时间点之间的制备时间间隔。在二氧化硅膜制备完成之后的多个离散时间点对所述二氧化硅膜的应力值进行多次测量，并记录所述多次测量的每一次测量的时间点和应力值。根据所述时间点和应力值进行作图，得到时间点和应力值相对应的绘制点。根据关系式对二氧化硅膜应力进行换算以得到二氧化硅膜应力的曲线拟合值，采用二氧化硅膜的相对应力对薄膜进行监测，其中，二氧化硅膜的相对应力为实测二氧化硅膜应力值与曲线拟合值之差。
二氧化硅应力监测方法以及半导体器件制造

[发明专利]一种利用气相二氧化硅制备疏水性二氧化硅的方法-CN201811548332.8有效
发明人：伊港;刘海龙;张停;张俊;石科飞;耿宁;张帅;周玲;周磊 -专利权人：山东东岳有机硅材料股份有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： C01B33/18 文献下载
摘要：发明提供一种利用气相二氧化硅制备疏水性二氧化硅的方法。该方法包括步骤：气相二氧化硅和乙烯基硅油反应制备表面含有乙烯基的二氧化硅；然后与甲基硅油和卡斯特催化剂的混合物进行混合处理；然后加入四甲基二硅氧烷进行反应，得改性二氧化硅；最后加入α烯烃反应制备得到疏水性二氧化硅本发明方法使气相二氧化硅表面的羟基处理的较为彻底，本发明将长链烷基接枝于气相二氧化硅的表面，接枝率高，所得到的长链烷基表面改性二氧化硅的疏水性好，疏水稳定性好，与有机物(包括碳链为主的材料)相容性好。
一种利用二氧化硅制备疏水方法

[发明专利]采用脲醛树脂作有机骨架制备氨基功能化介孔二氧化硅的方法-CN201611244551.8有效
发明人：王清良;韦克钢;胡鄂明;黄龙;许娜 -专利权人：南华大学
申请日： 2016-12-29 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： B01J20/26 文献下载
摘要：采用脲醛树脂作有机骨架制备氨基功能化介孔二氧化硅的方法，采用脲醛树脂作为有机物骨架，制备得到以脲醛树脂为骨架的二氧化硅复合材料，再对二氧化硅复合材料进行逐步加热，得到高纯度和高活性的介孔二氧化硅。然后采用氯化亚砜对介孔二氧化硅进行氯代，再采用乙二胺胺化，最后采用丙烯酰胺接枝得到胺基功能化介孔二氧化硅。本发明提供的胺基功能化介孔二氧化硅采用脲醛树脂作为有机物骨架，制备的胺基功能化介孔二氧化硅具有较大比表面积，具有合成成本低、产品产量大、产品质量稳定的特点，解决了现有氨基功能化介孔二氧化硅在生产中存在的关键问题
采用树脂有机骨架制备氨基功能化介孔二氧化硅方法

[发明专利]一种石墨烯-二氧化硅陶瓷复合粉体及其制备方法-CN201810397689.4在审
发明人：饶志远;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：宿迁南航新材料与装备制造研究院有限公司
申请日： 2018-04-20 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： C04B41/85 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨烯‑二氧化硅陶瓷复合粉体及其制备方法，所述石墨烯‑二氧化硅陶瓷复合粉体是由二氧化硅陶瓷粉末经过偶联剂改性处理，改性处理后的二氧化硅陶瓷粉末与氧化石墨烯反应烘干，热还原后得到呈片层状的石墨烯均匀分布于二氧化硅陶瓷粉末表面；石墨烯‑二氧化硅陶瓷复合粉体的制备方法为：将偶联剂溶液加入到二氧化硅陶瓷粉末中，将氧化石墨烯添加到蒸馏水中制备成悬浊液；将悬浊液添加到混合浆料中制备成复合溶液；将复合溶液真空烘干、热还原。本发明可以有效解决石墨烯团聚问题，保证石墨烯均匀分布，增强石墨烯与二氧化硅陶瓷粉体的结合，提高二氧化硅陶瓷复合材料的断裂韧性和强度。
二氧化硅陶瓷石墨烯制备复合粉体氧化石墨烯复合溶液热还原悬浊液蒸馏水偶联剂改性处理偶联剂溶液断裂韧性粉末表面复合材料改性处理混合浆料有效解决真空烘干烘干粉体团聚保证

[发明专利]具有高隔热性和高强度的二氧化硅气凝胶毡的制备方法-CN201880070154.4有效
发明人：姜泰京;李悌均;吴景实;田玹禹 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C01B33/158 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有高隔热性和高强度的二氧化硅气凝胶毡的制备方法，其中，在二氧化硅气凝胶毡的制备过程中，将针状金属‑二氧化硅复合物添加到二氧化硅前体溶液的制备步骤中，以便制备具有高隔热、高强度、高耐热性和低粉尘特性的二氧化硅气凝胶毡
具有隔热强度二氧化硅凝胶制备方法

[发明专利]玻璃纤维定向增强的纳米二氧化硅隔热材料及其制备方法-CN201510062165.6有效
发明人：梁森;罗民;任瑞博;赵亮;李进;高忙忙;李海波;何力军;李国龙 -专利权人：宁夏大学
申请日： 2015-02-06 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： C04B28/24 文献下载
摘要：一种玻璃纤维定向增强的纳米二氧化硅隔热材料，由纳米二氧化硅、玻璃纤维组成，其中，玻璃纤维定向增强的纳米二氧化硅隔热材料中的玻璃纤维沿冰晶方向定向的分布在纳米二氧化硅中间。本发明还提供一种玻璃纤维定向增强的纳米二氧化硅隔热材料制备方法。上述玻璃纤维定向增强的纳米二氧化硅隔热材料及玻璃纤维定向增强的纳米二氧化硅隔热材料制备方法，通过采用低温冷冻凝固实现玻璃纤维定向排列在纳米二氧化硅中，进而保证玻璃纤维定向增强的纳米二氧化硅隔热材料具有高强度和低导热率的特性
玻璃纤维定向增强纳米二氧化硅隔热材料及其制备方法

[发明专利]一种使用聚合物/二氧化硅负载的胺中空纤维吸附剂制备方法-CN202210643407.0在审
发明人：王志章;曾荣佳;柯明;樊燕芳;韩云;王瀚翔;韩秀梅;陈文浩 -专利权人：北京石大油源科技开发有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B01J20/26 文献下载
摘要：本发明涉及二氧化碳吸附净化，具体涉及一种使用聚合物/二氧化硅负载的胺中空纤维吸附剂制备方法。该方法包括：利用静电纺丝制备聚环氧乙烷/二氧化硅复合纤维，最后对其进行煅烧处理，得到二氧化硅纳米纤维，利用聚丙烯酸接枝二氧化硅纳米纤维表面，再将胺基基团引入，得到高胺基含量的聚丙烯酸/二氧化硅的多孔、中空的纳米纤维聚丙烯酸引入纳米二氧化硅后，可以在二氧化硅表面引入更多的官能团，从而引入更多的胺基。通过静电纺丝制备的纳米纤维又更好的比表面积，使得吸附剂的吸附效果更好。
一种使用聚合物二氧化硅负载中空纤维吸附剂制备方法

[发明专利]一种二氧化硅超疏水涂层制备及其性能测试方法-CN201810637233.0在审
发明人：杨波 -专利权人：杨波
申请日： 2018-06-20 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本发明提供了化学领域内的一种二氧化硅超疏水涂层制备及其性能测试方法，包括以下步骤，（1）制备纳米二氧化硅粒子；（2）获得低表面能纳米二氧化硅粒子；（3）利用APTES对低表面能纳米二氧化硅进行表面修饰；（4）对基材进行表面修饰；（5）在基底上形成改性纳米二氧化硅超疏水涂层；（6）测试改性纳米二氧化硅超疏水涂层憎水性能；（7）测试改性纳米二氧化硅超疏水涂层的稳定性；本发明简单，效率高。
超疏水涂层改性纳米二氧化硅纳米二氧化硅粒子表面修饰低表面能制备纳米二氧化硅测试二氧化硅化学领域性能测试憎水性能基材基底

[发明专利]二氧化硅膜包覆的二氧化硅-金刚石复合材料及制备方法-CN202010559875.0有效
发明人：高洁;周兵;于盛旺;郑可;王永胜;黑鸿君;吴艳霞 -专利权人：太原理工大学
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： C23C16/30 文献下载
摘要：本发明为一种二氧化硅膜包覆的二氧化硅‑金刚石复合材料及其制备方法，解决了金刚石和二氧化硅两种材料应用限制的问题。该复合材料由芯部和表层组成，芯部为多层膜结构，每层膜是由二氧化硅和金刚石组成的混合相，表层为二氧化硅膜。该复合材料制备时，首先采用微波等离子体化学气相沉积技术在石墨基体表面进行金刚石和碳化硅的共沉积，随后对碳化硅‑金刚石复合膜进行微波氧等离子体刻蚀，形成二氧化硅‑金刚石混合相膜，继续制备多层二氧化硅‑金刚石混合相膜，形成二氧化硅‑金刚石的多层膜结构，最后在二氧化硅‑金刚石的多层膜结构表层制备二氧化硅膜即可。本发明复合材料制备没有采用传统的涂层工艺，制备的复合材料具有良好的透过性、散热性和抗氧化性，适合作为窗口材料使用。
二氧化硅膜包覆金刚石复合材料制备方法

[发明专利]基于二氧化硅衬底的石墨烯透明导电薄膜的制备方法-CN201410053173.X有效
发明人：石岳 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2014-02-17 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于二氧化硅衬底的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，包括：在石墨烯透明导电薄膜上制备二氧化硅衬底，从而得到基于二氧化硅衬底的石墨烯透明导电薄膜。本发明实施例所述的基于二氧化硅衬底的石墨烯透明导电薄膜的制备方法，在石墨烯透明导电薄膜上制备二氧化硅衬底，避开了现有技术中的难以实现的石墨烯转移步骤，可以方便的制备基于二氧化硅衬底的石墨烯透明导电薄膜，
基于二氧化硅衬底石墨透明导电薄膜制备方法

[发明专利]多层二氧化硅玻璃体的制造方法-CN201980068085.8有效
发明人：森竜也;须釜明彦 -专利权人：信越石英株式会社;贺利氏石英玻璃有限两合公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明是一种多层二氧化硅玻璃体的制造方法，所述方法涉及制造在由硅质材料制成的硅质衬底的表面上提供透明二氧化硅玻璃层的多层二氧化硅玻璃体，其中所述多层二氧化硅玻璃体的制造方法包括制备所述硅质衬底的步骤；制备二氧化硅粒子分散在液体中的二氧化硅浆料的步骤；将所述二氧化硅浆料施用于所述硅质衬底的表面上的步骤；通过对所述硅质衬底施加振动而使施用于所述硅质衬底的表面上的所述二氧化硅浆料流平的步骤；将所述流平的二氧化硅浆料干燥的步骤；以及通过加热使所述干燥的二氧化硅浆料玻璃化，以形成透明二氧化硅玻璃层的步骤。由此，以优良的成品率获得厚度均匀的透明二氧化硅玻璃层，并提供了一种在短时间内容易地制造多层二氧化硅玻璃体的方法。
多层二氧化硅玻璃体制造方法

[发明专利]一种二氧化硅-二氧化钛-二氧化钒复合薄膜及其制备方法-CN201810250714.6有效
发明人：贺军辉;姚琳 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本发明公开一种二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒复合薄膜及其制备方法。本发明首先公开了二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒复合薄膜的制备方法，包括：制备含有二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒三层结构的空心球纳米粒子的溶胶液；将玻璃基板浸入到含有二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒三层结构的空心球纳米粒子的溶胶液中，提拉出玻璃基板，干燥后，再次将玻璃基板浸入到含有二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒三层结构的空心球纳米粒子的溶胶液中，提拉出玻璃基板后干燥，煅烧，即在玻璃基板上形成二氧化硅‑二氧化钛‑二氧化钒复合薄膜。本发明还公开了上述制备方法制备得到的复合薄膜。本发明复合薄膜可见光透光性能良好，兼具热致变色和自清洁功能。
一种二氧化硅氧化复合薄膜及其制备方法

[发明专利]一种传递活性成分的二氧化硅@ZIF-8纳米材料及制备方法-CN201810453708.0在审
发明人：欧阳小琨 -专利权人：浙江海洋大学
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： C01B39/02 文献下载
摘要：一种传递活性成分的二氧化硅@ZIF‑8纳米材料及制备方法，所述的二氧化硅@ZIF‑8纳米材料是由二氧化硅按照Stober方法二氧化硅粒子，而后将参杂活性成分的ZIF‑8包裹在二氧化硅粒子表面，制备出稳定性高的二氧化硅@ZIF‑8纳米载体；所述的制备方法包括：（a）二氧化硅粒子的制备：在圆底烧瓶中加入乙醇，在磁力搅拌下加入氢氧化铵溶液和去离子水，搅拌0.5‑1.5h后，加入正硅酸四乙酯，混合物在600~800rpm的速度下搅拌10~14h；通过离心机对混合物进行分离，并用乙醇对其冲洗至少三次，然后真空干燥，得到二氧化硅粒子；（b）将干燥后的二氧化硅粒子加入到Zn2+和2‑甲基咪唑及参杂活性物质的溶液中，在三乙胺的催化下，将Zn2+和2‑甲基咪唑及参杂活性物质包裹在二氧化硅表面，制成二氧化硅@ZIF‑8纳米载体，用于运输活性物质。
二氧化硅二氧化硅粒子制备活性物质纳米材料甲基咪唑纳米载体混合物乙醇二氧化硅表面氢氧化铵溶液正硅酸四乙酯磁力搅拌去离子水圆底烧瓶离心机传递三乙胺催化冲洗并用运输

[发明专利]一种二氧化硅/碳复合多孔电极及其制备方法-CN201410232290.2在审
发明人：王宁;杨娟玉;卢世刚;闫坤;余章龙;王晗;于冰 -专利权人：北京有色金属研究总院
申请日： 2014-05-28 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： H01M4/131 文献下载
摘要：本发明公开一种二氧化硅/碳复合多孔电极及其制备方法。该复合多孔电极由二氧化硅与石墨添加剂复合而成，当二氧化硅在该复合多孔电极中所占的质量百分比为30～60％时，其微观结构中石墨添加剂颗粒形成连续相，二氧化硅均匀分布在石墨添加剂颗粒间隙中；当二氧化硅在该复合多孔电极中所占的质量百分比为60～90％时，其微观结构中二氧化硅形成连续相，石墨添加剂颗粒均匀分布在二氧化硅基体中。其制备方法为：将二氧化硅与分散剂混合制备成均匀的二氧化硅溶胶；然后将二氧化硅溶胶与石墨添加剂混合均匀制成混合浆料；再将混合浆料干燥粉碎成粉体，并将粉体制成成型坯料。本发明的二氧化硅/碳复合多孔电极具有高孔隙率的特点，电解后用水浸泡即可粉化，无需破碎。
一种二氧化硅复合多孔电极及其制备方法

[发明专利]湿法研磨纳米级二氧化硅制备方法-CN201310446370.3有效
发明人：林峰;徐浩 -专利权人：上海冠旗电子新材料股份有限公司
申请日： 2013-09-27 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： C01B33/18 文献下载
摘要：一种湿法研磨纳米级二氧化硅制备方法，制备过程分成三个研磨阶段进行，每阶段研磨利用研磨机和循环桶进行循环研磨直到完成目标进入下一阶段研磨，具体包括以下步骤，二氧化硅粉体原料、水、分散剂混合后进行搅拌，混合均匀成为二氧化硅浆料；二氧化硅浆料由一阶段研磨机进行循环研磨直到其中二氧化硅颗粒的粒径达到1.5微米D50标准成为初级二氧化硅料；二阶段研磨机进行循环研磨直到其中二氧化硅颗粒的粒径达到500纳米D50标准成为次级二氧化硅料；三阶段研磨机进行循环研磨直到其中二氧化硅颗粒的粒径达到10纳米D90标准成为最终二氧化硅料。本发明通过三个阶段最终将二氧化硅粉体原料研磨成为纳米级二氧化硅，大大提高了最终成品的质量。
湿法研磨纳米二氧化硅制备方法