[实用新型]一种真空镀膜设备部件检漏治具有效
| 申请号： | 202320138051.5 | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN219798615U | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 闫争明;李胜涛 | 申请（专利权）人： | 光驰半导体技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种真空镀膜设备部件检漏治具，包括一主腔体，所述主腔体上设置有若干接口，若干所述接口包括用于连接真空计的接口、用于连接检漏仪的接口、用于连接真空泵的接口、用于连接检漏零部件的接口以及用于连接放气阀门的接口，各接口均与所述主腔体的内部连通。本实用新型的优点是：配置简单，安装方便，可有效地减少因未能早期检测到的漏点所导致的安装返工，最大程度地节省不必要的人力浪费以及减小安全隐患和物料损坏；结构简单合理，实现安全生产，提高作业效率，节约时间及成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 部件 检漏 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光驰半导体技术（上海）有限公司，未经光驰半导体技术（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202320138051.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种耐用型接水盘
- 下一篇：一种包装盒生产加工用纸板裁剪装置
