[发明专利]超声换能器阵列及其制备方法

摘要

本申请提供一种超声换能器阵列及其制备方法，该制备方法包括提供一压电片，所述压电片具有相对设备的第一表面和第二表面；于所述压电片的第一表面形成电极阵列，作为第一电极层，所述电极阵列包括多个独立且以阵列方式间隔排布的电极单元；于所述压电片的第二表面形成第二电极层；于所述第二电极层上形成声阻抗匹配层。本申请制备方法，通过微纳加工工艺在整片压电片上形成阵列分布的相互独立的电极单元，以形成可单独控制的超声波阵元阵列，无需对压电片进行切割，不仅简化制作工艺，而且还能实现更高的阵列密度，提高超声换能器阵列的声场空间分辨率，提升高精度声学成像、高分辨率声场控制等应用效果，同时还适合大规模生产。