[发明专利]一种铁酸铋纳米柱阵列及其制备方法在审
| 申请号： | 202310395496.6 | 申请日： | 2023-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN116477849A | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 宋睿烜;阮罗渊;陈焕坚;孙沐晨;唐燕如;白石根;杜瑀;林虹宇;单玉凤;邓惠勇;戴宁 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34;B82Y30/00;B82Y40/00;C03C17/25;C03C17/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 曹兆霞 |
| 地址： | 311121 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铁酸铋纳米柱阵列及其制备方法，包括：准备衬底和铁酸铋溶胶；在衬底上旋涂铁酸铋溶胶得到铁酸铋薄膜，对铁酸铋薄膜刻蚀得到铁酸铋纳米柱阵列模板；在铁酸铋纳米柱阵列模板的阵列面旋涂PVA溶液或PI溶液后经过真空保压和烘干，得到的薄膜作为纳米阵列子模板；在纳米阵列子模板的阵列面旋涂铁酸铋溶胶并经过真空保压处理，将得到样品以铁酸铋贴合的方式转移到铁酸铋薄膜后，经过真空条件退火处理、超声清洗后得到铁酸铋纳米柱阵列。该制备方法成本低，可行性较高，同时具有良好的重复性，所制备的铁酸铋纳米柱阵列可以应用于光电、铁电微纳器件中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铁酸铋 纳米 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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