[实用新型]一种用于等离子清洗机的真空腔结构有效

专利信息
申请号: 202223174017.8 申请日: 2022-11-29
公开(公告)号: CN219151008U 公开(公告)日: 2023-06-09
发明(设计)人: 严庆峰;许赟;夏秋华 申请(专利权)人: 江苏雷博科学仪器有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00
代理公司: 东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙) 44777 代理人: 张静
地址: 214431 江苏省无锡市江阴市澄*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种用于等离子清洗机的真空腔结构,涉及真空腔结构技术领域,包括可视窗压盖、第一真空腔端盖、真空腔主体和第二真空腔端盖,所述真空腔主体的表面开设有管道接口,所述第一真空腔端盖与第二真空腔端盖分别安装与真空腔主体的两端,所述第一真空腔端盖与第二真空腔端盖之间固装有螺钉固定杆,所述第一真空腔端盖的外侧安装有铰链,所述铰链的外侧安装有密封门。本实用新型,通过设置该玻璃窗,工作人员可以在清洗过程中,通过密封门上的玻璃窗,观察清洗时的辉光状态和基片状态,以便工作人员判断清洗状态,且整个真空腔的结构更加简单,易于加工,同时拆装方便,能够达到较好的使用效果。
搜索关键词: 一种 用于 等离子 清洗 空腔 结构
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