[实用新型]一种晶圆甩干机的模块化拼装式旋转架及晶圆甩干机有效
| 申请号： | 202222360231.6 | 申请日： | 2022-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN218565932U | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 泉芯半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B11/18;F26B25/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 无锡三合知识产权代理事务所(普通合伙) 32602 | 代理人： | 徐鹏飞 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆甩干机的模块化拼装式旋转架及晶圆甩干机，该旋转架包括圆形底盘、偶数个装配架和圆形盖板，圆形底盘与晶圆甩干机的甩干转轴连接，偶数个装配架对称固定于圆形底盘上，装配架均包括立板和两个侧板，立板和两个侧板的底端能拆装地固定于圆形底盘上，两个侧板的一端能拆装地垂直间隔固定于立板的内侧，另一端上均开设有用于装配片盒架的轴孔，立板和两个侧板的顶端能拆装地固定于圆形盖板上，圆形盖板的中心处开设有用于取放片盒架的第一避让孔。上述旋转架的装配架采用模块化拼装式的结构优化设计。不仅结构简单，设计巧妙；而且通用性好，便于加工，有利于设备后期的维护和维修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆甩干机 模块化 拼装 旋转 | ||
【主权项】：
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