[实用新型]一种光学膜厚监控系统有效
| 申请号： | 202222160564.4 | 申请日： | 2022-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN219223643U | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 徐波;张咏麟;吕启蒙;李卫涛;张新银;龙汝磊;展大伟 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 倪焱 |
| 地址： | 200436 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学膜厚监控系统。光学膜厚监控系统包括光源、集光模块、待测光学膜片、探测模块和处理模块；光源分别输出第一光信号和第二光信号，第一光信号依次经过集光模块、待测光学膜片、探测模块的调节后输出监测光信号被处理模块接收；第二光信号经过探测模块后输出参考光信号被处理模块接收，处理模块根据监测光信号和参考光信号计算待测光学膜片的膜层厚度，缩短探测路径，保证膜层监测的精准度，同时降低光学膜厚监控系统的整体体积，提高基板盘载片量和产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 监控 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光驰科技（上海）有限公司，未经光驰科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222160564.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种军用伤口止血注射器
- 下一篇：一种呼吸内科用雾化装置
