[发明专利]单晶硅生长炉及其控制方法在审

专利信息
申请号: 202211341782.6 申请日: 2022-10-27
公开(公告)号: CN115506017A 公开(公告)日: 2022-12-23
发明(设计)人: 陈俊宏 申请(专利权)人: 徐州鑫晶半导体科技有限公司
主分类号: C30B27/02 分类号: C30B27/02;C30B29/06
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 雷玉龙
地址: 221004 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种单晶硅生长炉及其控制方法,单晶硅生长炉包括第一壳体、第二壳体、坩埚组件、加热组件、保温组件、第一驱动机构、晶体提拉机构和保护气连接管,第一壳体具有晶体生长室、拉晶室和隔离室,第二壳体罩设于第一壳体外,且与第一壳体之间形成安装腔,坩埚组件设于晶体生长室,加热组件设于安装腔,保温组件设于安装腔且罩设于加热组件外,第一驱动机构设在第一壳体的底部以支撑和驱动第一壳体相对第二壳体转动,晶体提拉机构固设于隔离室内且适于跟随第一壳体同步转动,保护气连接管穿设于隔离室且连通至拉晶室。根据本发明实施例的单晶硅生长炉,可以延长加热组件的使用寿命,且便于简化单晶硅生长炉顶部结构的复杂度。
搜索关键词: 单晶硅 生长 及其 控制 方法
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  • 一种直拉式单晶炉用防护效果好的安全防爆装置-202320776506.6
  • 张艺波 - 珠海金葳金属制品有限公司
  • 2023-04-10 - 2023-08-15 - C30B27/02
  • 本实用新型属于单晶炉使用技术领域,具体的说是一种直拉式单晶炉用防护效果好的安全防爆装置,包括罐体;所述罐体的外部设置有防护组件和固定单元,所述防护组件滑动连接在罐体的外部,所述固定单元通过防护组件固接在罐体的侧壁,所述防护组件包括活动板,所述活动板的外部设置有固定板,所述固定板的内壁固接在罐体的外部,所述活动板的内壁开设有凹槽,所述活动板通过凹槽滑动连接在固定板的内部,所述固定板的侧壁设置有伸缩杆,所述伸缩杆的侧壁固接在固定板的侧壁,所述活动板的侧壁设置有连杆,所述伸缩杆和连杆之间设置有限位座,这种装置使单晶炉使用时处于防护状态,避免对技术人员造成伤害。
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