[发明专利]一种基于纳米压印的反射光栅板的制备方法在审

专利信息
申请号: 202211263265.1 申请日: 2022-10-14
公开(公告)号: CN115657180A 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 朱元强;黄书惠;李书比 申请(专利权)人: 福建福特科光电股份有限公司
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;G03F7/00
代理公司: 福州市众韬专利代理事务所(普通合伙) 35220 代理人: 方金芝
地址: 350100 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及一种基于纳米压印的反射光栅板的制备方法,包括如下步骤:①制作结构及形状与目标光栅结构及形状相同的光栅母版;②在光栅母版镀制抗粘膜层;③在抗粘膜层上旋涂聚二甲基硅氧烷层;④紧接在聚二甲基硅氧烷层上覆盖塑料薄膜并压印和固化制备纳米压印工作模板;⑤取玻璃基板,在其表面旋涂纳米压印紫外胶层;⑥用纳米压印工作模板对纳米压印紫外胶层进行压印固化脱模得到具有初始光栅的光栅板;⑦最后在步骤⑥制得的光栅板镀制金属膜,即得。纳米压印后的胶水直接留在基板表面形成初始光栅结构,无需在基板表面做刻蚀等处理,而且不需要额外去除紫外纳米压印胶,直接将紫外纳米压印胶作为初始光栅在表面镀金属膜即可形成反射光栅板。
搜索关键词: 一种 基于 纳米 压印 反射光栅 制备 方法
【主权项】:
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