[发明专利]铁电开关器件、制备方法、控制方法及三维存储器在审
| 申请号： | 202210999152.1 | 申请日： | 2022-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN115425143A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 罗强 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;G11C11/22 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 高翠花 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种铁电开关器件能够通过第一电极及第二电极在铁电层上施加电压，从而在铁电层内产生面内电场，通过改变电压方向而改变所述面内电场的方向，以控制所述第一裂纹及所述第二裂纹择一分离，通过第一裂纹的闭合及分离实现第一导电层的电连接与电绝缘，通过第二裂纹的闭合及开启实现第二导电层的电连接与电绝缘，从而实现铁电开关器件的功能。本公开铁电开关器件具有更高的速度、更低的能耗和更小的芯片面积，且制造工艺简单，与Fe‑NAND工艺兼容，成本低，经济效益大。 | ||
| 搜索关键词： | 开关 器件 制备 方法 控制 三维 存储器 | ||
【主权项】：
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