[发明专利]一种砷化镓衬底抛光液及其应用有效
| 申请号： | 202210982961.1 | 申请日： | 2022-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN115386299B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 马睿;蒋昌朋 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B29/02;B24B1/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄宗波 |
| 地址： | 404000 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： |
本发明涉及芯片制备技术领域，尤其涉及一种砷化镓衬底抛光液及其应用，所述抛光液由以下原料组成：二氯异氰尿酸钠、苯磺酸钠、SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 衬底 抛光 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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