[发明专利]一种多方位四波剪切干涉的波前重建方法在审
申请号: | 202210976307.X | 申请日: | 2022-08-15 |
公开(公告)号: | CN115265811A | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 田爱玲;朱亚辉;王红军;刘丙才;王凯;任柯鑫;张郁文;王思淇;苏媛 | 申请(专利权)人: | 西安工业大学 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02;G06F17/14;G06F17/16;G06F17/18 |
代理公司: | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人: | 李凤鸣 |
地址: | 710032 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明属于光学测试技术领域,涉及一种多方位四波剪切干涉的波前重建方法,通过精密自动旋转平台,在CCD相机上采集到N幅多个方向的正交剪切的四波干涉图像,利用傅里叶变换法分别提取N个不同正交方向的N组四波剪切干涉的差分相位,再利用差分Zernike多项式拟合法和最小二乘法求解得到多组基函数系数,使用后处理的融合方法对多维数据进行求解得到最佳面形拟合系数,从而重建出高精度的完整的面形,有效减少依赖使用二维衍射器件实现四波横向剪切干涉情形下波前重建精度低的问题,提高四波多向剪切干涉的波前重建精度,实现多方向剪切弥补了其他正交方向的维度数据缺失的情况,有效增加了数据点个数,更有利于高空间分辨率的波前重建,具有强稳定性能和鲁棒性。 | ||
搜索关键词: | 一种 多方位 剪切 干涉 重建 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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