[发明专利]一种基于LED的部分相干反射式离轴数字全息微纳测量系统有效
| 申请号： | 202210922470.8 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN115327876B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 王陈;孟宪昱 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G03H1/00 | 分类号： | G03H1/00;G03H1/04;G02B27/28;G02B27/42 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 郑海峰 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用LED部分相干光的反射式离轴数字全息微纳测量系统，属于光学显微测量技术领域。光源发生及准直模块用于发出部分LED光，并进行滤光与准直；偏振测量模块用于得到相互垂直的两个不同偏振方向的物光和参考光；光栅物参光光栅衍射分离模块用于将物光及参考光进行衍射，得到不同衍射级次的衍射光；空间偏振滤波模块用于将衍射光偏振滤波，得到偏振的零级物光及正一级参考光；偏振干涉模块用于将来自偏振空间滤波模块的物光及参考光进行干涉；图像采集模块用于采集干涉条纹，得到全息图。本系统可以很好地抑制传统高相干光源生成全息图的相干噪声等的影响，减小相位噪声，提高生成全息图的质量，增加测量结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 led 部分 相干 反射 式离轴 数字 全息 测量 系统 | ||
【主权项】：
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