[发明专利]一种氮化硅薄膜热退火方法和装置在审
| 申请号： | 202210899393.9 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN115418725A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 钟浩;盛况;任娜 | 申请（专利权）人： | 浙江大学杭州国际科创中心 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/38;H01L21/324 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 王榧 |
| 地址： | 311200 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及退火工艺技术领域中的一种氮化硅薄膜热退火方法和装置，包括以下步骤：阶段式加热氮化硅薄膜至保温温度，进入保温过冲阶段；调整保温过冲阶段进入保温阶段，并使保温阶段的温度与保温温度相同；冷却氮化硅薄膜至调控冷却温度，进入调控冷却阶段，且调控冷却阶段的温度与调控冷却温度相同；自然冷却氮化硅薄膜至取晶温度，解决了现有功率器件在氮化硅退火工艺中开裂率高，良品率底的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 薄膜 退火 方法 装置 | ||
【主权项】：
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