[发明专利]芯片自动除尘设备有效
| 申请号： | 202210857974.6 | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN115069684B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 王汉波;郭军 | 申请（专利权）人： | 山东睿芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 重庆壹手知专利代理事务所(普通合伙) 50267 | 代理人： | 刘军 |
| 地址： | 276826 山东省日照*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片加工相关领域，具体是涉及芯片自动除尘设备，包括连接有两组驱动机构的长条固定架、两组导向组件、若干组送料件、四组包括两个条形磁铁的磁吸机构、两组包括两个水平齿条的翻转机构和除尘机构，每组导向组件均包括设有第一下沉导向段的第一导向件和设有第二下沉导向段的第二导向件；每组送料件均包括外框、载具、第一滑轮和第二滑轮；载具两端均固连有齿轮；除尘机构顶部设有除尘软胶。本发明中设有带有下沉槽的水平滑槽，又设有上挡板、下挡板和两个下沉部，从而确保外框仅在指定位置顺畅的下降和抬升；本发明中设有若干组送料件，能够保证若干个芯片持续除尘并下料，效率较高，且除尘软胶在除尘的同时不会伤害芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 自动 除尘 设备 | ||
【主权项】：
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