[发明专利]芯片自动除尘设备在审

专利信息
申请号: 202210857974.6 申请日: 2022-07-21
公开(公告)号: CN115069684A 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 王汉波;郭军 申请(专利权)人: 山东睿芯半导体科技有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00;H01L21/02
代理公司: 重庆壹手知专利代理事务所(普通合伙) 50267 代理人: 刘军
地址: 276826 山东省日照*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及芯片加工相关领域,具体是涉及芯片自动除尘设备,包括连接有两组驱动机构的长条固定架、两组导向组件、若干组送料件、四组包括两个条形磁铁的磁吸机构、两组包括两个水平齿条的翻转机构和除尘机构,每组导向组件均包括设有第一下沉导向段的第一导向件和设有第二下沉导向段的第二导向件;每组送料件均包括外框、载具、第一滑轮和第二滑轮;载具两端均固连有齿轮;除尘机构顶部设有除尘软胶。本发明中设有带有下沉槽的水平滑槽,又设有上挡板、下挡板和两个下沉部,从而确保外框仅在指定位置顺畅的下降和抬升;本发明中设有若干组送料件,能够保证若干个芯片持续除尘并下料,效率较高,且除尘软胶在除尘的同时不会伤害芯片。
搜索关键词: 芯片 自动 除尘 设备
【主权项】:
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  • 一种薄膜高精度片式电阻前处理清洁装置-202221354385.8
  • 吴术爱;郑宇新;韩占康;廖冬梅;王建国;施如峯;赵武彦;杜勇;尚银龙;黄金玉 - 昆山厚声电子工业有限公司
  • 2022-06-01 - 2022-09-20 - B08B7/00
  • 本实用新型属于薄膜电阻生产加工清洁装置技术领域,具体为一种薄膜高精度片式电阻前处理清洁装置,包括机架、真空泵、等离子反应箱和吸气管道,所述真空泵安装在机架上方位置,所述真空泵的吸气端通过吸气管道和等离子反应箱导通连接;所述等离子反应箱内部底端设置有等离子阴极,所述等离子阴极上方位置安装等离子涡旋抽气孔板。真空泵可以通过自身气泵作用,使得等离子反应箱用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,分子发生碰撞而形成等离子体,同时发出辉光,等离子体在电磁场内空间运动,轰击产品托盘上方的被处理物体表面,从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。
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