[发明专利]一种氟气及氟化物分析系统及方法在审
| 申请号： | 202210786273.8 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN115308321A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 王平 | 申请（专利权）人： | 浙江赛鹭鑫仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氟气及氟化物分析系统，包括：取样模块，所述取样模块用于提取待检测的样品；六通阀，所述六通阀的输出端通过混合三通连接有反应器，所述取样模块的中提取的样品通过六通阀输送至反应器，所述反应器的输出端连接有四通阀；所述四通阀的输出端连接有色谱柱一和色谱柱二，所述色谱柱一的输出端连接有分子筛柱，所述分子筛柱与色谱柱二的输出端连接有TCD检测模块。本发明提供的氟气及氟化物分析系统及方法，使用H2作为氟气的反应器，F2与氢气反应剧烈，生成HF，通过检测气路中氢气的减少量，即可推算得到F2的浓度，同时由于去除了F2，不会对后续的分析产生O2、CF4、C2F6等新的杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟气 氟化物 分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
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