[发明专利]一种薄片晶圆边缘抛光设备有效
| 申请号： | 202210618575.4 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN114683128B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 廖小明;王军涛;李果 | 申请（专利权）人： | 成都泰美克晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/00;B24B49/00;B24B29/00;B24B29/02;B24B55/06;B24B41/06;B24B47/12;B24B55/00 |
| 代理公司： | 成都博领众成知识产权代理事务所(普通合伙) 51340 | 代理人： | 李昆蔚 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄片晶圆边缘抛光设备，包括机架，仿形轮组件设置在机架上，抛光组件设置在机架上且与仿形轮组件配合，晶圆固定组件设置在往复调节组件上且与抛光组件配合，往复调节组件固定设置在机架上。抛光组件可对薄片晶圆的边缘进行抛光作业，晶圆固定组件的作用是用来安装薄片晶圆，在晶圆固定组件的作用下可以同时对多个薄片晶圆的边缘进行加工，实现批量生产，仿形轮组件中的仿形轮与薄片晶圆的直径相等，弦边的长度相等，仿形轮与薄片晶圆在加工过程中同步转动。在机架上设置有两个抛光组件，两个抛光组件上的毛刷同时对晶圆固定组件上的薄片晶圆进行加工。往复调节组件的作用是使得薄片晶圆在竖直方向上上下移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄片 边缘 抛光 设备 | ||
【主权项】：
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