[发明专利]一种超纯石英玻璃的环保制备工艺在审
| 申请号： | 202210439447.3 | 申请日： | 2022-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN114735925A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 万沂江 | 申请（专利权）人： | 新沂市东方石英玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C03B19/14 | 分类号： | C03B19/14;C03B20/00;B01D3/14 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 刘纯 |
| 地址： | 221400 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种超纯石英玻璃的环保制备工艺，包括如下步骤：（1）精馏提纯：通过精馏装置对八甲基环四硅氧烷原料依次进行第一次间歇精馏、第二次间歇精馏，得到高纯八甲基环四硅氧烷；（2）化学沉积：在立式沉积炉内放置靶料，然后以上述精馏制得的高纯八甲基环四硅氧烷为原料进入蒸发器气化，所述高纯八甲基环四硅氧烷经蒸发器气化的蒸气由净化后的氮气带出并且通至立式沉积炉的燃烧器火焰中，得到二氧化硅材料，然后经熔制成超纯石英玻璃。本发明所述的超纯石英玻璃的环保制备工艺，以高纯八甲基环四硅氧烷为原料，采用化学气相沉积工艺技术制备超纯石英玻璃，不使用任何有毒化学品，生产的尾气为二氧化碳和水蒸气，可直接排放，更环保，应用前景广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英玻璃 环保 制备 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新沂市东方石英玻璃有限公司，未经新沂市东方石英玻璃有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210439447.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种微波传感控制装置
- 下一篇：一种基于自动发电控制的氢电系统及其运检方法
