[发明专利]形变测量方法、装置、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202210308892.6 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114674240A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 李璟;丁敏侠;张清洋;杨光华;马会娟;折昌美 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G06F17/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本公开提供了一种形变测量方法，应用于光学精密位置测量技术领域，包括：确定待测样品在未发生形变的情况下的理想光信号S |
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| 搜索关键词： | 形变 测量方法 装置 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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