[发明专利]一种基于二氧化钒薄膜的热电协同调控的红外光开关有效
| 申请号： | 202210306843.9 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114665859B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 高敏;杨帆;林媛;路畅;徐晨曦 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03K17/94 | 分类号： | H03K17/94;H03K17/041;H03K17/14;C23C28/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 曾磊 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种基于二氧化钒薄膜的热电协同调控红外光开关，属于光开关技术领域。该光开关同时集成了热电调控，采用图案化金属结构作为加热电路，使得二氧化钒处于渗流阈值附近，形成孤立的金属畴，即二氧化钒薄膜始终处于相变温度附近；同时在二氧化钒薄膜上设置叉指电极，通过施加电场使得金属相的体积分数增加从而形成长程渗滤通道，驱动二氧化钒薄膜发生相变，从而实现低电场下光开关的快速响应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 氧化 薄膜 热电 协同 调控 红外光 开关 | ||
【主权项】：
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