[发明专利]一种耐高温陶瓷涂层石墨托盘组件

摘要

本发明提供了一种耐高温陶瓷涂层石墨托盘组件，包括：承载大盘、若干支撑及固定装置、若干托盘、机械驱动机构；所述承载大盘上通过若干支撑及固定装置连接有若干托盘，所述机械驱动机构用于驱动所述承载大盘及所述托盘转动。本申请在MOCVD或高温CVD外延生长炉中，在承载大盘与托盘间使用滚珠和中间定位柱架开且使用齿轮驱动的机械方法代替现有的气流导向使得托盘悬浮起来的方法,克服旋转时因气流不稳不均匀导致托盘和承载大盘发生磨擦碰撞，导致产生裂缝，也可以规避涂层与运动部件直接接触磨损暴露石墨基底，从而被腐蚀性气体渗入，使石墨崩坏导致托盘组件报废的缺点，从而有效提高耐高温陶瓷涂层石墨托盘组件的寿命。