[发明专利]一种感应加热外延设备有效
| 申请号： | 202210271324.3 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114457424B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 蒋彪;朱佰喜;薛抗美;蒋旭霞;杨伟锋 | 申请（专利权）人： | 广州志橙半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B25/10;C30B25/14;C30B25/02 |
| 代理公司： | 北京中和立达知识产权代理有限公司 11756 | 代理人： | 张可 |
| 地址： | 510700 广东省广州市黄埔区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种感应加热外延设备，包括：主腔体，主腔体连接有工艺气体进气管组；上感应加热装置、下感应加热装置，上感应加热装置包括上加热板，下感应加热装置包括下加热板，上加热板、下加热板分别覆盖在主腔体上下两侧，上加热板、下加热板外侧均设置有电磁感应加热线圈；保温及冷却装置，包括：两个保温冷却板，保温冷却板连接有冷却气体进气管组，两个保温冷却板分别设置在上加热板、下加热板外侧。本申请通过直接电磁感应加热线圈平行布置，通过电磁感应加热线圈直接加热加热装置（上加热板和下加热板），大大提高了加热效率；同时在保温层增加有较大的进气口，在冷却过程中可以加大冷却气体的流量及流速，大大减少冷却所需时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 感应 加热 外延 设备 | ||
【主权项】：
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