[发明专利]一种用于提高物质传输效率的坩埚装置及其应用在审

专利信息
申请号: 202210257423.6 申请日: 2022-03-16
公开(公告)号: CN114645318A 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 郝霄鹏;要笑刚;邵永亮;吴拥中 申请(专利权)人: 齐鲁工业大学
主分类号: C30B23/00 分类号: C30B23/00;C30B29/40
代理公司: 济南泉城专利商标事务所 37218 代理人: 李桂存
地址: 250399 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种用于提高物质传输效率的坩埚装置及其应用,该装置由坩埚和加热组件组成,坩埚由坩埚体和坩埚盖组成,坩埚体和坩埚盖之间形成坩埚空腔;所述的加热组件位于坩埚空腔内,由加热体和支撑板组成,加热体固定在支撑板上,支撑板与坩埚体下底面接触,使热量传输至加热体上。本发明所述的装置能够大幅度的提高坩埚装置中心的温度,无须额外的加热设备即可对坩埚体中的中心区域的氮化铝多晶料进行加热,使得坩埚装置内的氮化铝多晶料受热更加均匀,有效的提高物质传输效率,提高氮化铝多晶料的利用率,有利于大尺寸的氮化铝晶体的生长。
搜索关键词: 一种 用于 提高 物质 传输 效率 坩埚 装置 及其 应用
【主权项】:
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  • 本发明提供了一种碳化硅单晶生长装置及生长方法,包括坩埚主体,用于盛放及加热碳化硅原料,坩埚主体内设置有阻流元件,将坩埚主体的内腔分为由上至下的生长腔与原料腔,阻流元件开设有连通生长腔与原料腔的开口,生长腔用于生长碳化硅晶体,原料腔内填充碳化硅原料;原料腔内设置有Si源补充容器,Si源补充容器与阻流元件之间形成气体通道,Si源补充容器埋覆于所述碳化硅原料内,Si源补充容器内填充有含硅粉料,含硅粉料的Si组分与碳化硅原料在坩埚主体的加热下升华,经过气体通道并由开口上升至生长腔内。本发明解决了因碳化硅粉料碳化导致的晶体内碳包裹物数量超标的问题,极大提高了碳化硅晶体质量。
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  • 本申请的实施例提供了一种碳化硅晶体生长装置,涉及材料制备领域。本申请提供的碳化硅晶体生长装置包括坩埚和设置于坩埚内的支架组件以及第一滤网。支架组件包括支撑座和设置于支撑座的支撑板,坩埚腔体中部具有第一通道,第一通道与支架组件通过第一滤网隔开。在使用碳化硅晶体生长装置时,可以将碳化硅原料放置在坩埚底部以及支撑板上,令原料不会堆积过厚,相对分散,使得各个位置的原料能够良好地受热,提高原料的利用率。并且,第一通道形成于坩埚的中部,在第一滤网的阻拦作用下,仅供支撑板上的原料气化后进入。第一通道处于坩埚中部,热量相对来说难以到达,减少固态原料在此处的分布,也可以提高原料的利用率。
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  • 一种低碳包裹物密度的碳化硅单晶的生长方法,涉及碳化硅单晶制备技术领域。所述低碳包裹物密度的碳化硅单晶的生长方法中,首先,将钽、铌金属网在含碳气氛下进行碳化,以形成碳化钽或碳化铌网;其次,将碳化钽或碳化铌网置于物理气相传输方法的原料与籽晶间,并替代多孔石墨材料,使碳化钽或碳化铌网能够耐受高温下富硅组分的腐蚀,且在过滤原料碳化产生的碳颗粒的同时,不会由于自身被腐蚀产生新的碳颗粒,以能够有效降低碳化硅单晶内的包裹物密度。
  • 一种复合材料坩埚及其制备方法-202210973519.2
  • 请求不公布姓名 - 湖南泰坦未来科技有限公司
  • 2022-08-15 - 2023-09-19 - C30B23/00
  • 本发明公开了一种复合材料坩埚及其制备方法,复合材料坩埚包括碳‑碳复合材料基体和设置在碳‑碳复合材料基体表面的涂层;碳‑碳复合材料基体的密度从底部至顶部依次递减;涂层包括石墨化热解碳‑碳纤维层、石墨化热解碳层和高温热解石墨层。制备方法包括:(1)制作碳纤维预制体;(2)对碳纤维预制体进行增密和定型处理,得到中间体;(3)在中间体表面沉积石墨化热解碳‑碳纤维层和石墨化热解碳层;(4)纯化;(5)在中间体表面沉积高温热解石墨层,即得到复合材料坩埚。本发明的复合材料坩埚能促进坩埚提供梯度温度场,适合于采用PVT法制备SiC单晶的制备工艺。
  • 一种大尺寸碳化硅生长装置-202321370432.2
  • 陈志谋 - 扬州申威光电器材有限公司
  • 2023-06-01 - 2023-09-19 - C30B23/00
  • 本实用新型涉及碳化硅生长领域,具体公开了一种大尺寸碳化硅生长装置,包括箱体,所述箱体的内侧壁固定连接有横板,所述横板的底面开设有加热槽,所述横板的上表面放置有加热框,所述加热框的内底壁放置有多组相对称的反应框,所述箱体的内顶壁固定连接有两组相对称的电动伸缩杆,两组电动伸缩杆的底端共同固定连接有盖板,所述盖板的底面与加热框的顶端相接触,所述箱体的内底壁固定连接有加热机构。该装置通过加热框与反应框的配合,能够同时对多个材料进行加工处理,避免工人容易因该装置无法对其进行多个处理出现工作效率低下的问题,通过设置有盖板,能够对加工时的处理件进行密封处理,提高了加工物在反应时的安全性。
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