[发明专利]GC-AED关于高纯磷烷ppb含量锗烷杂质分析检测技术及方法在审
| 申请号： | 202210187167.8 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN114705798A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 朱颜;乔洋;陈化冰;王仕华;孙建;王陆平 | 申请（专利权）人： | 江苏南大光电材料股份有限公司;全椒南大光电材料有限公司;苏州南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/88 | 分类号： | G01N30/88;G01N30/74 |
| 代理公司： | 成都智涌知识产权代理事务所(普通合伙) 51313 | 代理人： | 张洪 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于高纯磷烷中杂质的分析检测领域，尤其是一种GC‑AED关于高纯磷烷ppb含量锗烷杂质分析检测技术及方法，包括以下步骤：S1、通过进样系统向气相色谱原子发射光谱检测仪器通入需要检测的高纯磷烷；S2、利用等离子体作激发光源，使进入气相色谱原子发射光谱检测仪器的高纯磷烷原子化；S3、然后原子被激发至激发态，再跃迁至基态，发射出原子光谱，本发明针对磷烷等剧毒气体中锗烷杂质及其它含碳类杂质均可进行分析检测，且针对锗烷杂质，检出限低至0.2ppb，同时，该检测系统对于高纯砷烷、高纯氦气及其它高纯电子气体亦可做到ppb级别杂质的准确检测。 | ||
| 搜索关键词： | gc aed 关于 高纯 ppb 含量 杂质 分析 检测 技术 方法 | ||
【主权项】：
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